静电防护器件的仿真装置及仿真方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种静电防护器件的仿真装置及仿真方法，包括：建立静电防护器件模型；设定与参数对应的若干参数值，基于不同的参数值分别设定输入静电防护器件的若干电流脉冲信号，参数包括工作温度；将参数值输入静电防护器件模型，并将与参数值对应的若干不同的电流脉冲信号分别施加于静电防护器件模型上，分别对静电防护器件进行仿真，并分别输出电压脉冲信号；基于与参数值对应的若干电流脉冲信号和若干电压脉冲信号生成与参数值对应的I

【技术实现步骤摘要】
静电防护器件的仿真装置及仿真方法


[0001]本专利技术涉及静电防护领域，尤其涉及一种静电防护器件的仿真装置及仿真方法。

技术介绍

[0002]静电在我们的日常生活中可以说是无处不在，我们的身上和周围就带有很高的静电电压，这些静电对于一些电子器件，直接可以使其失去本身应有的正常性能，甚至完全丧失正常功能，这样静电防护就非常必要了。在静电防护器件的设计方面，一般采用流片测试的方式进行测试，但是集成电路的流片测试成本非常高，这对集成电路在静电防护方面的设计造成了非常不便的影响。

技术实现思路

[0003]本申请实施例通过提供一种静电防护器件的仿真装置及仿真方法，解决了现有技术中静电防护器件设计成本高的技术问题。
[0004]本专利技术提供一种静电防护器件的仿真方法，包括：建立静电防护器件模型；设定与参数对应的若干参数值，基于不同的所述参数值分别设定输入所述静电防护器件的若干电流脉冲信号，所述参数包括工作温度；将所述参数值输入所述静电防护器件模型，并将与所述参数值对应的若干不同的所述电流脉冲信号分别施加于所述静电防护器件模型上，分别对所述静电防护器件进行仿真，并分别输出电压脉冲信号；基于与所述参数值对应的若干所述电流脉冲信号和若干所述电压脉冲信号生成与所述参数值对应的I
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V特性曲线。
[0005]本申请通过本申请的一实施例提供如下技术方案：所述参数还包括触发电压。
[0006]本申请通过本申请的一实施例提供如下技术方案：在设定所述参数值和所述电流脉冲信号之后和在对所述静电防护器件进行仿真之前，还包括：对特征参数进行检测；所述将所述参数值输入所述静电防护器件模型，并将与所述参数值对应的若干不同的所述电流脉冲信号分别施加于所述静电防护器件模型上，分别对所述静电防护器件进行仿真，并分别输出所述电压脉冲信号，包括：在所述特征参数满足预设条件时，将所述参数值输入所述静电防护器件模型，并将与所述参数值对应的若干不同的所述电流脉冲信号分别施加于所述静电防护器件模型上，分别对所述静电防护器件进行仿真，并分别输出所述电压脉冲信号。
[0007]本申请通过本申请的一实施例提供如下技术方案：所述特征参数包括所述静电防护器件的最高温度。
[0008]本申请通过本申请的一实施例提供如下技术方案：所述预设条件包括所述静电防护器件的最高温度小于等于硅熔点。
[0009]本申请通过本申请的一实施例提供如下技术方案：输出所述电压脉冲信号包括输出电压波形。
[0010]本专利技术还提供一种静电防护器件的仿真装置，包括：建模模块，用于建立静电防护器件模型；参数设定模块，用于设定与参数对应的若干参数值，并用于基于不同的所述参数
值分别设定输入所述静电防护器件的若干电流脉冲信号，所述参数包括工作温度；仿真模块，用于将所述参数值输入所述静电防护器件模型，并将与所述参数值对应的若干不同的所述电流脉冲信号分别施加于所述静电防护器件模型上，分别对所述静电防护器件进行仿真，并分别输出电压脉冲信号；计算模块，用于基于与所述参数值对应的若干所述电流脉冲信号和若干所述电压脉冲信号生成与所述参数值对应的I
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V特性曲线。
[0011]本申请通过本申请的一实施例提供如下技术方案：还包括，检测模块，用于对特征参数进行检测；所述仿真模块用于在所述特征参数满足预设条件时将所述参数值输入所述静电防护器件模型，并将与所述参数值对应的若干不同的所述电流脉冲信号分别施加于所述静电防护器件模型上，分别对所述静电防护器件进行仿真，并分别输出所述电压脉冲信号。
[0012]本专利技术提供一种静电防护器件的仿真设备，包括：存储器，用于存储计算机程序；处理器，用于执行所述计算机程序以实现上述的静电防护器件的仿真方法的步骤。
[0013]本专利技术提供一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时以实现上述的静电防护器件的仿真方法的步骤。
[0014]本申请实施例中提供的一个或多个技术方案，至少具有如下技术效果或优点：
[0015]1、本专利技术的静电防护器件仿真方法和仿真装置，可以实现在芯片制造前进行静电防护效果验证，而且仿真精度高，效率高，大大减少了静电防护器件的设计成本，电流脉冲瞬态仿真能达到更好的收敛性和与实测数据的拟合度；而且可以完成静电防护器件的高温瞬态仿真，能够获得工作温度对静电防护器件的影响效应，从而可以得到静电防护器件的最佳工作温度。
[0016]2、对静电防护器件的最高温度进行检测，在静电防护器件的最高温度满足预设条件时，对静电防护器件进行仿真，能实时检测失效点的出现并中断计算，节约了计算成本和时间成本。
[0017]3、采用包含在有形介质中的计算机程序实现基于与参数值对应的若干电流脉冲信号和若干电压脉冲信号生成与参数值对应的I
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V特性曲线，可以实现仿真之后直接查看I
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V特性曲线和参数的影响效应，可保证除仿真计算时间外不花费额外时间。
[0018]4、参数还包括触发电压，能够获得触发电压对静电防护器件的影响效应，从而可以得到静电防护器件的最佳触发电压。
附图说明
[0019]为了更清楚地说明本专利技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0020]图1为本专利技术的静电防护器件的仿真方法的流程图。
[0021]图2为本专利技术的静电防护器件的仿真装置的结构示意图。
[0022]图3为本专利技术的静电防护器件的仿真方法步骤S101所呈现的结构示意图。
[0023]图4为本专利技术的静电防护器件的仿真方法步骤S102所呈现的结构示意图。
[0024]图5为本专利技术的静电防护器件的仿真装置及仿真方法中电流脉冲信号示意图。
[0025]图6为本专利技术的静电防护器件的仿真装置及仿真方法中电压脉冲信号示意图。
[0026]图7为本专利技术的静电防护器件的仿真装置及仿真方法中I
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V特性曲线图。
[0027]图中：10、建模模块；20、参数设定模块；30、检测模块；40、仿真模块；50、计算模块；
具体实施方式
[0028]以下，将参照附图来描述本公开的实施例。但是应该理解，这些描述只是示例性的，而并非要限制本公开的范围。此外，在以下说明中，省略了对公知结构和技术的描述，以避免不必要地混淆本公开的概念。
[0029]在附图中示出了根据本公开实施例的各种结构示意图。这些图并非是按比例绘制的，其中为了清楚表达的目的，放大了某些细节，并且可能省略了某些细节。图中所示出的各种区域、层的形状以及它们之间的相对大小、位置关系仅是示例性的，实际中可能由于制造公差或技术限制而有所偏差，并且本领域技术人员根据实际所需可以另外设计具有不同形状、大小、相对位置的区域/本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种静电防护器件的仿真方法，其特征在于，包括：建立静电防护器件模型；设定与参数对应的若干参数值，基于不同的所述参数值分别设定输入所述静电防护器件的若干电流脉冲信号，所述参数包括工作温度；将所述参数值输入所述静电防护器件模型，并将与所述参数值对应的若干不同的所述电流脉冲信号分别施加于所述静电防护器件模型上，分别对所述静电防护器件进行仿真，并分别输出电压脉冲信号；基于与所述参数值对应的若干所述电流脉冲信号和若干所述电压脉冲信号生成与所述参数值对应的I
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V特性曲线。2.如权利要求1所述的静电防护器件的仿真方法，其特征在于，所述参数还包括触发电压。3.如权利要求1所述的静电防护器件的仿真方法，其特征在于，在设定所述参数值和所述电流脉冲信号之后和在对所述静电防护器件进行仿真之前，还包括：对特征参数进行检测；所述将所述参数值输入所述静电防护器件模型，并将与所述参数值对应的若干不同的所述电流脉冲信号分别施加于所述静电防护器件模型上，分别对所述静电防护器件进行仿真，并分别输出所述电压脉冲信号，包括：在所述特征参数满足预设条件时，将所述参数值输入所述静电防护器件模型，并将与所述参数值对应的若干不同的所述电流脉冲信号分别施加于所述静电防护器件模型上，分别对所述静电防护器件进行仿真，并分别输出所述电压脉冲信号。4.如权利要求3所述的静电防护器件的仿真方法，其特征在于，所述特征参数包括所述静电防护器件的最高温度。5.如权利要求4所述的静电防护器件的仿真方法，其特征在于，所述预设条件包括所述静电防护器...

【专利技术属性】
技术研发人员：王加鑫，罗家俊，李晓静，赵发展，曾传滨，高林春，倪涛，李多力，韩郑生，
申请(专利权)人：中国科学院微电子研究所，
类型：发明
国别省市：