本发明专利技术涉及一种晶片光刻机的干燥装置,包括：光刻机，光刻机上设有过滤筒，过滤筒内安装有对空气进行过滤的过滤组件，过滤筒的底部开设有圆孔，光刻机上固定安装有延伸至圆孔内的蓄水组件，通过蓄水组件对过滤组件产生的水进行储存，且过滤筒的一端开设有呈圆周分布的圆孔，过滤筒的另一端固定安装有抽气筒。本发明专利技术设计新颖，设置的空气进入过滤筒内，通过安装的吸附海绵对潮湿的空气进行第一步过滤，吸附海绵将空气中的大量水份吸取走，再通过安装的活性炭层对空气进行第二次过滤，出气管将热空气吹入烘干管内，进入烘干管内的热空气对光刻机进行烘干，通过过滤筒内的过滤组件大大降低了空气中的湿度，使得干燥装置的干燥效果得到了提升。了提升。了提升。
【技术实现步骤摘要】
一种晶片光刻机的干燥装置
[0001]本专利技术涉及光刻机生产领域，具体是一种晶片光刻机的干燥装置。
技术介绍
[0002]光刻是集成电路中最重要的工艺，光刻机是制造芯片的核心装备，在芯片的制作中，几乎每个工艺的实施，都需要用到光刻技术，可以说，光刻机是半导体界的一颗明珠；
[0003]用光刻机发出的光经过有图形的光罩对涂有光刻胶的薄片曝光，光刻胶遇见光后性质会发生变化，光罩上得图形复印到薄片上，之后薄片就会有电子线路图的作用，简单点就是光刻机如同一个单反，把光罩上的设计好集成电路图形通过光线的曝光印到光感材料上，变成了图形；
[0004]常用的光刻机干燥装置采用加热空气的方式进行烘干，而在不同环境和不同天气中空气中的湿度会有较大的幅度变化，如果对湿度较大的空气进行加热烘干时，湿度较高的热空气大大降低了干燥装置的干燥效果。
技术实现思路
[0005]本专利技术的目的在于提供一种晶片光刻机的干燥装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0006]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：
[0007]一种晶片光刻机的干燥装置，包括：
[0008]光刻机，光刻机上设有过滤筒，过滤筒内安装有对空气进行过滤的过滤组件，过滤筒的底部开设有圆孔，光刻机上固定安装有延伸至圆孔内的蓄水组件，通过蓄水组件对过滤组件产生的水进行储存，且过滤筒的一端开设有呈圆周分布的圆孔，过滤筒的另一端固定安装有抽气筒，抽气筒的底部固定安装有对其进行支撑的支撑块，支撑块固定安装在光刻机上，抽气筒内滑动连接有活塞块，光刻机上安装有与活塞块连接的驱动组件；
[0009]驱动组件与过滤组件连接，驱动组件驱动过滤组件进行挤压将水分导入蓄水组件中，抽气筒的一侧安装有与其连通的加热组件，通过加热组件将空气加热使光刻机内部更加干燥。
[0010]作为本专利技术进一步的方案：过滤组件包括设置在过滤筒内的两个过滤板，两个过滤板之间设置有与其中一个过滤板固定安装的吸附海绵，其中一个过滤板与过滤筒固定安装，而另一个过滤板滑动连接在过滤筒内，过滤筒内固定安装有活性炭层。
[0011]作为本专利技术再进一步的方案：蓄水组件包括固定安装在圆孔上的短管，短管远离过滤筒的一侧固定安装有与其连通的蓄水箱，且蓄水箱固定安装在上，蓄水箱的一侧固定安装有与其连通的出水管，且出水管上固定安装有控制其开合的电磁阀。
[0012]作为本专利技术再进一步的方案：驱动组件包括转动连接在上的圆盘，光刻机上设有驱动装置运转的伺服电机，伺服电机固定安装有对其进行支撑的支撑座，且支撑座固定安装在光刻机上，伺服电机的输出轴与圆盘转轴之间安装有用于传动的传动带。
[0013]作为本专利技术再进一步的方案：圆盘上开设有贯穿滑槽，贯穿滑槽内转动连接有螺纹杆，螺纹杆螺纹连接有滑动连接在贯穿滑槽内的移动滑块，活塞块的一侧固定安装有活塞杆，活塞杆远离活塞块的一侧延伸至抽气筒外并固定安装有铰接座，铰接座上铰接有推动杆，推动杆远离铰接座的一侧转动连接有与移动滑块固定安装的圆柱。
[0014]作为本专利技术再进一步的方案：活塞杆上固定安装有推动杆，推动杆远离活塞杆的一端延伸至过滤筒内，过滤筒上开设有供推动杆滑动的贯穿滑槽，延伸至过滤筒内的推动杆与滑动连接在过滤筒内的过滤板固定安装，过滤筒上滑动连接有与推动杆固定安装的移动板。
[0015]作为本专利技术再进一步的方案：加热组件包括固定安装在光刻机上加热筒，加热筒的一侧与抽气筒之间固定安装有圆管，抽气筒与过滤筒连接处和圆管上固定安装有单向阀，且两个单向阀的安装方向相反，光刻机上固定安装有对其内进行烘干的烘干管，加热筒的一端与烘干管之间固定安装有出气管，加热筒内安装有多个对加热筒内空气进行加热的加热件。
[0016]作为本专利技术再进一步的方案：加热件包括固定安装在加热筒内的多个安装板，两个安装板之间固定安装有对加热筒内空气进行加热的电热丝。
[0017]与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：本专利技术设计新颖，设置的空气进入过滤筒内，通过安装的吸附海绵对潮湿的空气进行第一步过滤，吸附海绵将空气中的大量水份吸取走，再通过安装的活性炭层对空气进行第二次过滤，通过活性炭层将空气中的水分彻底过滤干净，抽气筒将空气推入加热筒内，进入加热筒内的空气被加热件进行加热，最后通过出气管将热空气吹入烘干管内，进入烘干管内的热空气对光刻机进行烘干，通过过滤筒内的过滤组件大大降低了空气中的湿度，使得干燥装置的干燥效果得到了提升。
附图说明
[0018]图1为晶片光刻机的干燥装置一种实施例的立体结构示意图。
[0019]图2为晶片光刻机的干燥装置一种实施例中抽气筒的放大结构示意图。
[0020]图3为晶片光刻机的干燥装置一种实施例中过滤筒的内部结构示意图。
[0021]图4为晶片光刻机的干燥装置一种实施例中圆盘的放大结构示意图。
[0022]图5为晶片光刻机的干燥装置一种实施例中加热筒的放大结构示意图。
[0023]图6为晶片光刻机的干燥装置一种实施例中加热筒的内部结构示意图。
[0024]图7为晶片光刻机的干燥装置一种实施例中支撑座的底部结构示意图。
[0025]图中：1、光刻机；2、烘干管；3、过滤筒；4、抽气筒；5、加热筒；6、伺服电机；7、蓄水箱；8、出水管；9、推动杆；10、移动板；11、支撑块；12、活塞杆；13、圆盘；14、支撑座；15、出气管；16、传动带；17、过滤板；18、吸附海绵；19、活性炭层；20、单向阀；21、铰接座；22、推动杆；23、螺纹杆；24、移动滑块；25、安装板；26、电热丝。
具体实施方式
[0026]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他
实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0027]另外，本专利技术中的元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。
[0028]请参阅图1、图2、图3，本专利技术实施例中，一种晶片光刻机的干燥装置，包括：
[0029]光刻机1，所述光刻机1上设有过滤筒3，所述过滤筒3内安装有对所述空气进行过滤的过滤组件。
[0030]所述过滤组件包括设置在所述过滤筒3内的两个过滤板17，两个所述过滤板17之间设置有与其中一个所述过滤板17固定安装的吸附海绵18，其中一个所述过滤板17与所述过滤筒3固定安装，而另一个所述过滤板17滑动连接在所述过滤筒3内，所述过滤筒3内固定安装有活性炭层19。
[0031]设置的空气进入过滤筒3内，通过安本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种晶片光刻机的干燥装置，其特征在于，包括光刻机(1)，所述光刻机(1)上设有过滤筒(3)，所述过滤筒(3)内安装有对所述空气进行过滤的过滤组件，所述过滤筒(3)的底部开设有圆孔，所述光刻机(1)上固定安装有延伸至所述圆孔内的蓄水组件，通过所述蓄水组件对过滤组件产生的水进行储存，且所述过滤筒(3)的一端开设有呈圆周分布的圆孔，所述过滤筒(3)的另一端固定安装有抽气筒(4)，所述抽气筒(4)的底部固定安装有对其进行支撑的支撑块(11)，所述支撑块(11)固定安装在所述光刻机(1)上，所述抽气筒(4)内滑动连接有活塞块，所述光刻机(1)上安装有与所述活塞块连接的驱动组件；所述驱动组件与所述过滤组件连接，所述驱动组件驱动所述过滤组件进行挤压将水分导入蓄水组件中，所述抽气筒(4)的一侧安装有与其连通的加热组件，通过所述加热组件将空气加热使光刻机内部更加干燥。2.根据权利要求1所述的一种晶片光刻机的干燥装置，其特征在于，所述过滤组件包括设置在所述过滤筒(3)内的两个过滤板(17)，两个所述过滤板(17)之间设置有与其中一个所述过滤板(17)固定安装的吸附海绵(18)，其中一个所述过滤板(17)与所述过滤筒(3)固定安装，而另一个所述过滤板(17)滑动连接在所述过滤筒(3)内，所述过滤筒(3)内固定安装有活性炭层(19)。3.根据权利要求1所述的一种晶片光刻机的干燥装置，其特征在于，所述蓄水组件包括固定安装在所述圆孔上的短管，所述短管远离所述过滤筒(3)的一侧固定安装有与其连通的蓄水箱(7)，且所述蓄水箱(7)固定安装在所述上，所述蓄水箱(7)的一侧固定安装有与其连通的出水管(8)，且所述出水管(8)上固定安装有控制其开合的电磁阀。4.根据权利要求1所述的一种晶片光刻机的干燥装置，其特征在于，所述驱动组件包括转动连接在所述上的圆盘(13)，所述光刻机(1)上设有驱动装置运转的伺服电机(6)，所述伺服电机(6)固定安装有对其进行支撑的支撑座(14)，且所述支撑座(14)固定安装在所述光刻机(...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈炳寺，
申请(专利权)人：江苏晶杰光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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