本发明专利技术提供一种光刻机的晶片输送装置，属于半导体材料技术领域，该光刻机的晶片输送装置包括晶片外箱和送料装置，送料装置位于晶片外箱的一侧，晶片外箱的一侧端固定连接有放料斜板，送料装置上设置有送料盘，且送料盘与放料斜板相对应；本发明专利技术中，工作人员只需将多个晶片放入多个晶片分隔条上，驱动组件通过升降组件控制升降内箱升降，升降内箱每次向上移动的距离相同，使最上层的晶片被推料组件和滚动组件控制移动，从而使晶片进入送料盘内通过送料装置输送，根据光刻机对晶片的光刻时间，升降内箱每次只将一个晶片送出，送出的时间相同，不需要人为干涉，从而避免晶片在输送的过程中发生堆积影响光刻机的取用。程中发生堆积影响光刻机的取用。程中发生堆积影响光刻机的取用。
【技术实现步骤摘要】
一种光刻机的晶片输送装置
[0001]本专利技术属于半导体材料
，具体涉及一种光刻机的晶片输送装置。
技术介绍
[0002]元素硅是一种灰色、易碎、四价的非金属化学元素。地壳成分中27.8％是硅元素构成的，仅次于氧元素含量排行第二，硅是自然界中比较富的元素。在石英、玛瑙、燧石和普通的滩石中就可以发现硅元素。硅晶片又称晶圆片，是由硅锭加工而成的，通过专门的工艺可以在硅晶片上刻蚀出数以百万计的晶体管，被广泛应用于集成电路的制造，硅属于半导体材料，其自身的导电性并不是很好，然而，可以通过添加适当的掺杂剂来精确控制它的电阻率。制造半导体前，必须将硅转换为晶圆片，这要从硅锭的生长开始。单晶硅是原子以三维空间模式周期形成的固体，这种模式贯穿整个材料。多晶硅是很多具有不同晶向的小单晶体单独形成的，不能用来做半导体电路。多晶硅必须融化成单晶体，才能加工成半导体应用中使用的晶圆片，其中，硅晶片在制造过程中的光刻工艺，是利用光刻机进行光刻。
[0003]目前，硅晶片在通过光刻机进行光刻时，需要使用输送装置将晶片移动至光刻机内，常见的输送装置是采用皮带输送，需要工作人员将晶片放置在皮带上，由于光刻机的光刻过程会产生一定的时间，皮带输送无法确定晶片的送达时间，容易导致晶片堆积，影响光刻机对晶片的取用。
技术实现思路
[0004]本专利技术的目的在于提供一种光刻机的晶片输送装置，旨在解决现有技术中的常见的输送装置是采用皮带输送，需要工作人员将晶片放置在皮带上，由于光刻机的光刻过程会产生一定的时间，皮带输送无法确定晶片的送达时间，容易导致晶片堆积，影响光刻机对晶片的取用的问题。
[0005]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：
[0006]一种光刻机的晶片输送装置，包括晶片外箱和送料装置，所述送料装置位于晶片外箱的一侧，所述晶片外箱的一侧端固定连接有放料斜板，所述送料装置上设置有送料盘，且送料盘与放料斜板相对应，所述晶片外箱内滑动连接有升降内箱，所述晶片外箱的一侧端开凿有晶片放置口，且晶片放置口与升降内箱相对应，所述升降内箱内固定连接有多个晶片分隔条，所述升降内箱与晶片外箱之间设置有升降组件、驱动组件、推料组件和滚动组件，所述驱动组件通过升降组件控制升降内箱在晶片外箱内的升降，所述推料组件配合滚动组件用于控制晶片的移动。
[0007]作为本专利技术一种优选的方案，所述送料装置包括滑轨支撑架、电动滑轨和送料滑座，所述滑轨支撑架位于晶片外箱的一侧，所述电动滑轨固定连接于滑轨支撑架的上端，且电动滑轨与外部电源电性连接，所述送料滑座滑动连接于电动滑轨上，所述送料盘固定连接于送料滑座上。
[0008]作为本专利技术一种优选的方案，所述升降组件包括两个支撑块、两个滚珠丝杆和两
个行程螺母，两个所述支撑块分别固定连接于晶片放置口的两侧壁，两个所述滚珠丝杆分别转动连接于两个支撑块上，两个所述行程螺母分别固定连接于升降内箱的两侧端，且两个行程螺母分别螺纹连接于两个滚珠丝杆的外表面。
[0009]作为本专利技术一种优选的方案，所述驱动组件包括驱动电机、主动转杆、两个主动锥形齿轮和两个从动锥形齿轮，所述驱动电机固定连接于晶片外箱的一侧端，且驱动电机与外部电源电性连接，所述主动转杆转动连接于晶片外箱内，且主动转杆的一端活动贯穿晶片外箱固定连接于驱动电机的输出端，两个所述主动锥形齿轮均固定连接于主动转杆的外表面，两个所述从动锥形齿轮分别固定连接于两个滚珠丝杆的底端，且两个从动锥形齿轮贯穿至两个支撑块的下侧分别与两个主动锥形齿轮相啮合。
[0010]作为本专利技术一种优选的方案，所述推料组件包括两个蜗杆，两个固定板、两个蜗轮、两个偏心转动杆、固定块、往复推拉架、推料板和两个偏心连杆，两个所述蜗杆分别固定连接于两个滚珠丝杆的顶端，两个所述固定板均固定连接于晶片外箱的上端，两个所述蜗轮分别转动连接于两个固定板相靠近的一端，且两个蜗轮分别与两个蜗杆相啮合，两个所述偏心转动杆分别固定连接于两个蜗轮相靠近的一端，所述固定块固定连接于晶片外箱的一侧端，所述往复推拉架活动贯穿于固定块上，所述推料板固定连接于往复推拉架上，且推料板与多个晶片分隔条相对应，两个所述偏心连杆分别通过铰轴活动铰接于两个偏心转动杆和往复推拉架之间。
[0011]作为本专利技术一种优选的方案，所述滚动组件包括两个固定齿条、多个移料转动辊和多组转动齿轮，两个所述固定齿条均固定连接于晶片外箱的一侧壁，多个所述移料转动辊均转动连接于升降内箱内，且多个移料转动辊分别与多个晶片分隔条相对应，多组所述转动齿轮分别固定连接于多个移料转动辊的两端，且多组转动齿轮活动贯穿至升降内箱的两侧与两个固定齿条相对应。
[0012]作为本专利技术一种优选的方案，所述升降内箱的两侧端均开凿有多个稳固滑槽，所述晶片外箱的底壁固定连接有多个稳固条，且多个稳固滑槽分别与多个稳固条滑动连接。
[0013]作为本专利技术一种优选的方案，所述晶片外箱的两侧壁均固定连接有辅助稳固块，且两个蜗杆分别转动连接于两个辅助稳固块内。
[0014]作为本专利技术一种优选的方案，所述放料斜板上开凿有转辊安装槽，所述转辊安装槽内转动连接有多个滑料转辊。
[0015]作为本专利技术一种优选的方案，所述送料盘的上端固定连接有送料防护框，所述送料防护框的开口与放料斜板相对应。
[0016]与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：
[0017]1、本方案中，光刻机放置在送料装置远离晶片外箱的一侧，通过晶片放置口将晶片放入升降内箱内，利用多个晶片分隔条将晶片分层摆放，然后通过驱动组件控制升降组件启动，升降组件使升降内箱向上移动一定的距离，升降内箱通过多个晶片分隔条带动多个晶片向上移动，同时推料组件和滚动组件在升降内箱移动的过程中会进行启动，位于最上层的晶片被推料组件推动，滚动组件使最上层的晶片移动，推料组件配合滚动组件使最上层的晶片移动至放料斜板内，放料斜板具有一定的倾斜角度，使晶片滑落至送料盘内，然后送料装置控制送料盘向光刻机移动，光刻机接收送料盘内的晶片进行光刻，当晶片光刻即将完成时，送料装置使送料盘复位与放料斜板接触，再次重复上述步骤，使升降内箱内最
上层的晶片再次进入送料盘内，持续的将晶片输送至光刻机。
[0018]2、本方案中，工作人员只需将多个晶片放入多个晶片分隔条上，驱动组件通过升降组件控制升降内箱升降，升降内箱每次向上移动的距离相同，使最上层的晶片被推料组件和滚动组件控制移动，从而使晶片进入送料盘内通过送料装置输送，根据光刻机对晶片的光刻时间，升降内箱每次只将一个晶片送出，送出的时间相同，不需要人为干涉，从而避免晶片在输送的过程中发生堆积影响光刻机的取用。
[0019]3、本方案中，升降内箱4在上下移动的过程中通过多个稳固滑槽31在多个稳固条25上移动，多个稳固滑槽31和多个35使升降内箱4的移动保持良好的稳定性，两个辅助稳固块26用于对两个蜗杆17支撑，使两个蜗杆17的转动保持稳定，由于两个蜗杆17与两个滚珠丝杆8固定连接，同时能够使两个滚珠丝杆8的转动保持良好的稳定性，转辊本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种光刻机的晶片输送装置，包括晶片外箱(1)和送料装置(2)，其特征在于：所述送料装置(2)位于晶片外箱(1)的一侧，所述晶片外箱(1)的一侧端固定连接有放料斜板(3)，所述送料装置(2)上设置有送料盘(29)，且送料盘(29)与放料斜板(3)相对应，所述晶片外箱(1)内滑动连接有升降内箱(4)，所述晶片外箱(1)的一侧端开凿有晶片放置口(5)，且晶片放置口(5)与升降内箱(4)相对应，所述升降内箱(4)内固定连接有多个晶片分隔条(6)，所述升降内箱(4)与晶片外箱(1)之间设置有升降组件、驱动组件、推料组件和滚动组件，所述驱动组件通过升降组件控制升降内箱(4)在晶片外箱(1)内的升降，所述推料组件配合滚动组件用于控制晶片的移动。2.根据权利要求1所述的一种光刻机的晶片输送装置，其特征在于：所述送料装置(2)包括滑轨支撑架(201)、电动滑轨(202)和送料滑座(203)，所述滑轨支撑架(201)位于晶片外箱(1)的一侧，所述电动滑轨(202)固定连接于滑轨支撑架(201)的上端，且电动滑轨(202)与外部电源电性连接，所述送料滑座(203)滑动连接于电动滑轨(202)上，所述送料盘(29)固定连接于送料滑座(203)上。3.根据权利要求2所述的一种光刻机的晶片输送装置，其特征在于：所述升降组件包括两个支撑块(7)、两个滚珠丝杆(8)和两个行程螺母(9)，两个所述支撑块(7)分别固定连接于晶片放置口(5)的两侧壁，两个所述滚珠丝杆(8)分别转动连接于两个支撑块(7)上，两个所述行程螺母(9)分别固定连接于升降内箱(4)的两侧端，且两个行程螺母(9)分别螺纹连接于两个滚珠丝杆(8)的外表面。4.根据权利要求3所述的一种光刻机的晶片输送装置，其特征在于：所述驱动组件包括驱动电机(10)、主动转杆(11)、两个主动锥形齿轮(12)和两个从动锥形齿轮(13)，所述驱动电机(10)固定连接于晶片外箱(1)的一侧端，且驱动电机(10)与外部电源电性连接，所述主动转杆(11)转动连接于晶片外箱(1)内，且主动转杆(11)的一端活动贯穿晶片外箱(1)固定连接于驱动电机(10)的输出端，两个所述主动锥形齿轮(12)均固定连接于主动转杆(11)的外表面，两个所述从动锥形齿轮(13)分别固定连接于两个滚珠丝杆(8)的底端，且两个从动锥形齿轮(13)贯穿至两个支撑块(7)的下侧分别与两个主动锥形齿轮(12)相啮合。5.根据权利要求...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈炳寺，
申请(专利权)人：江苏晶杰光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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