硅片生产系统技术方案

本申请实施例提供一种硅片生产系统，包括：切片机，用于将硅棒切割成硅片，并将硅片及晶托组件放置工装篮内；运输小车，用于将工装篮运送至脱胶装置；脱胶装置，内部设有用于容纳运输小车的停留空间；所述脱胶装置用于对硅片进行脱胶处理和分片处理；插洗装置，用于将经过分片处理后的硅片进行插片；工装篮包括：工装篮框架和侧支撑组件；工装篮框架内形成有用于容纳硅片的容纳空间，工装篮框架的顶部设有供硅片进出容纳空间的开口；侧支撑组件用于从两侧夹紧硅片，分别连接在工装篮框架的两侧；侧支撑组件内设有磁吸件。本申请实施例提供的硅片生产系统能实现对硅片进行自动脱胶、擦胶和分片作业，提高生产效率。提高生产效率。提高生产效率。

【技术实现步骤摘要】
硅片生产系统
[0001]本申请是申请日为2022年4月14日、申请号为202210387322.0，专利技术创 造名称为《硅片生产系统》的专利申请的分案申请。


[0002]本申请涉及硅片生产技术，尤其涉及一种硅片生产系统。

技术介绍

[0003]传统方案中，小片的单晶硅电池通常是先将单晶硅棒切割成大片硅片，再 采用激光技术上对大片硅片进行划片切割形成小片硅片。
[0004]切片机是一种将硬脆材料棒切割成薄片的设备，切片机通常采用两根平行 的主辊水平布置，单根金刚线绕设在两根主辊上形成至少2000根线锯。硅棒 自上向下移动从两根主辊之间穿过，主辊转动，带动金刚线高速移动将硅棒切 成薄片状。
[0005]对一根硅棒进行切割形成的一组硅片放入一种工装篮中，人工将工装篮搬 运至入脱胶装置内，依次进入清洗槽进行预清洗、进入脱胶槽进行脱胶。硅片 从脱胶槽完成脱胶之后，人工用肉眼检查硅片上是否有残胶，且配合人工擦除。 然后将硅片转运至另一种工装篮中，搬运至插洗装置进行插片清洗。
[0006]由上可知：传统的方案中人工参与工作较多，极大地影响了生产效率及产 品质量。

技术实现思路

[0007]为了解决上述技术缺陷之一，本申请实施例中提供了一种硅片生产系统。
[0008]根据本申请实施例的第一个方面，提供了一种硅片生产系统，包括：
[0009]切片机，用于将硅棒切割成硅片，并将硅片及晶托组件放置工装篮内；
[0010]运输小车，用于将工装篮运送至脱胶装置；/>[0011]脱胶装置，内部设有用于容纳运输小车的停留空间；所述脱胶装置用于对 硅片进行脱胶处理和分片处理；
[0012]插洗装置，用于将经过分片处理后的硅片进行插片；
[0013]所述工装篮包括：
[0014]工装篮框架；所述工装篮框架内形成有用于容纳硅片的容纳空间，工装篮 框架的顶部设有供硅片进出容纳空间的开口；
[0015]用于从两侧夹紧硅片的侧支撑组件，设置于容纳空间内，分别连接在工装 篮框架的两侧；侧支撑组件沿工装篮框架的长度方向延伸；侧支撑组件内设有 磁吸件。
[0016]本申请实施例提供的技术方案，切片机切割得到的硅片和晶托组件放置工 装篮内，通过运输小车将工装篮转运至脱胶装置。在脱胶装置内进行脱胶处理， 使硅片与晶托组件分离，并通过工装篮中的磁吸件进行分片处理。之后，硅片 进入插洗装置进行插片，实现了硅片生产过程的自动化运行，提高生产效率， 减少人工参与，也能够减少硅片损伤，提
高成品率。
附图说明
[0017]图1为本申请实施例提供的硅片生产系统的结构示意图；
[0018]图2为本申请实施例提供的脱胶装置的结构示意图；
[0019]图3为本申请实施例提供的硅片放置于工装篮的结构示意图；
[0020]图4为本申请实施例提供的硅片脱胶处理方法应用于脱胶装置的结构示意 图；
[0021]图5为本申请实施例提供的晶托组件与硅片的结构示意图；
[0022]图6为图4中A区域的放大视图；
[0023]图7为本申请实施例提供的脱胶装置中图像采集组件的结构示意图；
[0024]图8为本申请实施例提供的脱胶装置中输送机械手机构的结构示意图；
[0025]图9为本申请实施例提供的硅片放置于工装篮的另一结构示意图；
[0026]图10为图2中的局部放大示意图；
[0027]图11为本申请实施例提供的脱胶装置中擦胶机械手机构的结构示意图；
[0028]图12为本申请实施例提供的脱胶装置中擦胶机构的结构示意图；
[0029]图13为本申请实施例提供的脱胶装置中擦胶机械手机构进行擦胶的结构 示意图；
[0030]图14为图2的局部放大视图；
[0031]图15为本申请实施例提供的厚片位于晶托组件上的结构示意图；
[0032]图16为本申请实施例提供的脱胶装置中除厚片机械手机构的结构示意图；
[0033]图17为本申请实施例提供的脱胶装置中厚片夹爪组件的结构示意图；
[0034]图18为本申请实施例提供的脱胶装置中厚片夹爪组件夹持厚片的结构示 意图；
[0035]图19为本申请实施例提供的工装篮的立体图；
[0036]图20为本申请实施例提供的工装篮的侧视图；
[0037]图21为本申请实施例提供的工装篮的俯视图；
[0038]图22为图21中B区域的放大视图；
[0039]图23为本申请实施例提供的工装篮进入分片工位的结构示意图；
[0040]图24为本申请实施例提供的工装篮的立体图；
[0041]图25为本申请实施例提供的工装篮上装有硅片的立体图；
[0042]图26为本申请实施例提供的工装篮的侧视图；
[0043]图27为本申请实施例提供的工装篮与触发板配合的立体图；
[0044]图28为本申请实施例提供的工装篮与触发板配合的俯视图；
[0045]图29为图24中C区域的放大视图；
[0046]图30为图26中D
‑
D向的截面视图；
[0047]图31为图30中E区域的放大视图；
[0048]图32为挡板的结构示意图；
[0049]图33为本申请实施例提供的另一种工装篮应用于分片工位的俯视图。
[0050]附图标记：
[0051]1‑
切片机；
[0052]2‑
脱胶装置；21
‑
硅片作业线；211
‑
脱胶槽；212
‑
中转槽；22
‑
晶托回收线； 23
‑
厚片收集筐；24
‑
输送机械手机构；241
‑
纵向导轨；242
‑
横向导轨；243
‑
竖向 导轨；2441
‑
工装顶板；2442
‑
工装篮夹爪；2443
‑
晶托夹爪；25
‑
除厚片机械手 机构；251
‑
除厚片机械手底座；252
‑
除厚片机械臂；253
‑
厚片夹爪组件；2531
‑ꢀ
夹爪支架；2532
‑
夹板；2533
‑
夹爪驱动器；254
‑
厚片采集摄像头；255
‑
厚片光 源；26
‑
擦胶机械手机构；261
‑
擦胶机械手底座；262
‑
擦胶机械臂；263
‑
擦胶机 构；2631
‑
滚筒支架；2632
‑
擦胶滚筒；264
‑
残胶采集摄像头；265
‑
擦胶光源； 271
‑
滑轨；272...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片生产系统，其特征在于，包括：切片机，用于将硅棒切割成硅片，并将硅片及晶托组件放置工装篮内；运输小车，用于将工装篮运送至脱胶装置；脱胶装置，内部设有用于容纳运输小车的停留空间；所述脱胶装置用于对硅片进行脱胶处理和分片处理；插洗装置，用于将经过分片处理后的硅片进行插片；所述工装篮包括：工装篮框架；所述工装篮框架内形成有用于容纳硅片的容纳空间，工装篮框架的顶部设有供硅片进出容纳空间的开口；用于从两侧夹紧硅片的侧支撑组件，设置于容纳空间内，分别连接在工装篮框架的两侧；侧支撑组件沿工装篮框架的长度方向延伸；侧支撑组件内设有磁吸件。2.根据权利要求1所述的硅片生产系统，其特征在于，所述工装篮框架包括：框架前板、框架后板和框架底板；所述框架前板和框架后板平行且相对设置，框架前板和框架后板分别垂直连接在框架底板长度方向的两端；所述侧支撑组件连接于框架前板和框架后板之间；底部支撑组件连接于框架前板和框架后板之间。3.根据权利要求2所述的硅片生产系统，其特征在于，所述侧支撑组件包括：弹性绳，沿工装篮框架的长度方向延伸，连接于框架前板和框架后板之间；磁性环，作为所述磁吸件，套设于所述弹性绳上；多个磁性环间隔设置；缓冲套筒，套设于多个磁性环外侧，与磁性环压紧配合。4.根据权利要求3所述的硅片生产系统，其特征在于，所述工装篮还包括：螺纹套；所述框架前板设有前板通孔；螺纹套的一端与弹性绳相连，另一端穿设于前板通孔内；螺纹套内设有与螺纹紧固件配合的螺纹孔。5.根据权利要求4所述的硅片生产系统，其特征在于，所述螺纹套的螺纹孔与螺纹套的中心线垂直；所述框架前板的侧面设有中心线与前板通孔垂直的供螺纹紧固件穿过的前板连接孔；螺纹紧固件穿过前板连接孔后旋入螺纹套的螺纹孔内固定；所述前板通孔为长圆孔，沿工装篮框架的宽度方向延伸。6.根据权利要求2所述的硅片生产系统，其特征在于，所述工装篮还包括：...

【专利技术属性】
技术研发人员：丁海军，邢旭，兰勇刚，
申请(专利权)人：乐山高测新能源科技有限公司，
类型：发明
国别省市：