激光加工设备制造技术

提供了激光加工设备。激光加工设备包括处理腔室、布置在处理腔室的表面中的窗、布置在处理腔室内部并且面对窗的衬底载体、通过窗向衬底载体照射激光的激光照射器、布置在处理腔室的一侧上的保护器供给器、布置在处理腔室的与处理腔室的一侧相对的相对侧上的保护器回收器以及将保护器供给器与保护器回收器连接的保护器，其中，保护器的至少一部分在处理腔室中布置在衬底载体与窗之间。室中布置在衬底载体与窗之间。室中布置在衬底载体与窗之间。

【技术实现步骤摘要】
激光加工设备
[0001]相关申请的交叉引用
[0002]本申请要求于2021年6月1日提交的第10
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2021
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0070516号韩国专利申请的优先权以及从其获得的所有权益，该韩国专利申请的内容通过引用以其整体并入本文中。


[0003]本技术的实施方式涉及激光加工设备和激光加工方法。

技术介绍

[0004]随着多媒体技术的发展，显示装置变得越来越重要。相应地，目前使用多种类型的显示装置，诸如有机发光显示(“OLED”)装置和液晶显示(“LCD”)装置。
[0005]显示装置通过各种物理或化学工艺来制造。例如，在制造显示装置的工艺期间可进行使用激光的各种工艺。

技术实现思路

[0006]在制造显示装置的工艺期间，颗粒可在使用激光的处理中从衬底剥离，并且可漂浮或落下。这种颗粒可降低激光处理的效率。
[0007]本技术的特征提供了可以高处理效率收集和去除颗粒的激光加工设备。
[0008]应注意的是，本技术的特征不限于以上提及的特征，并且通过以下描述，本技术的其它特征将对于本领域技术人员而言为显而易见的。
[0009]通过本技术的实施方式，可容易实现激光加工设备，激光加工设备可具有高操作率，并且可增加激光处理设施的可靠性。
[0010]应注意的是，本技术的效果不限于上述的那些，并且通过以下描述，本技术的其它效果将对于本领域技术人员为显而易见的。
[0011]在本技术的实施方式中，激光加工设备包括处理腔室、布置在处理腔室的表面中的窗、布置在处理腔室内部并且面对窗的衬底载体、通过窗向衬底载体照射激光(例如，激光束)的激光照射器、布置在处理腔室的一侧上的保护器供给器、布置在处理腔室的与处理腔室的一侧相对的相对侧上的保护器回收器以及将保护器供给器与保护器回收器连接的保护器，其中，保护器的至少一部分在处理腔室中布置在衬底载体与窗之间。
[0012]在实施方式中，保护器供给器和保护器回收器可在第一模式中将保护器从保护器供给器朝向保护器回收器移动。
[0013]在实施方式中，保护器供给器和保护器回收器可在第二模式中将保护器从保护器回收器朝向保护器供给器移动。
[0014]在实施方式中，激光加工设备还可包括布置在保护器上并且保持保护器的张力的张力装置。
[0015]在实施方式中，保护器可包括具有柔性和激光透射率的膜。
[0016]在实施方式中，保护器可包括聚对苯二甲酸乙二醇酯(“PET”)、聚氯乙烯(“PVC”)、
聚丙烯(“PP”)和聚乙烯(“PE”)中的至少一种。
[0017]在实施方式中，激光加工设备还可包括清洁在保护器回收器中回收的保护器的清洁装置。
[0018]在实施方式中，保护器供给器可包括进给辊，并且保护器回收器可包括收取辊，并且其中，保护器可绕进给辊和收取辊缠绕。
[0019]在实施方式中，进给辊可在保护器解开的方向上旋转，并且收取辊在与进给辊的旋转方向相同的旋转方向上旋转并且以与进给辊的旋转速度相同的旋转速度旋转。
[0020]在实施方式中，保护器可在进给辊与收取辊之间限定闭合回路。
[0021]在实施方式中，激光加工设备还可包括清洁在保护器回收器中回收的保护器的清洁装置。
[0022]在实施方式中，保护器可包括与进给辊的下端和收取辊的下端啮合并从保护器供给器向保护器回收器延伸的保护器供给部分、与进给辊的上端和收取辊的上端啮合并从保护器回收器向保护器供给器延伸的保护器回收部分以及在保护器与进给辊啮合以及与收取辊啮合的区域中连接保护器供给部分与保护器回收部分的保护器连接部分。
[0023]在实施方式中，衬底载体可布置在保护器供给部分与保护器回收部分之间。
[0024]在本技术的实施方式中，激光加工设备包括包含处理目标衬底的处理区域的处理腔室、通过其将目标衬底在第一方向上装载到处理区域中的第一闸门、在与第一方向相交的第二方向上向处理区域照射激光的激光照射器以及在与第一方向和第二方向相交的第三方向上将保护器提供到处理腔室中的保护器驱动器。
[0025]在实施方式中，第一方向、第二方向和第三方向可彼此垂直。
[0026]在实施方式中，激光加工设备还可包括通过其卸载目标衬底的第二闸门，其中，在处理腔室在第一闸门与第二闸门之间的情况下，第二闸门与第一闸门相对布置。
[0027]在实施方式中，保护器驱动器可包括供给保护器的保护器供给器以及回收保护器的保护器回收器。
[0028]在实施方式中，激光加工设备还可包括布置成与处理腔室的一个侧相邻的第一腔室以及布置成与处理腔室的相对侧相邻的第二腔室，其中，保护器供给器布置在第一腔室内部，并且保护器回收器布置在第二腔室内部。
[0029]在实施方式中，激光加工设备还可包括分别布置在第一腔室与处理腔室之间以及第二腔室和处理腔室之间的闸阀。
[0030]在实施方式中，保护器供给器和保护器回收器可布置在处理腔室内部。
附图说明
[0031]通过参照附图详细描述本技术的实施方式，本技术的以上和其它的优点和特征将变得更加显而易见。
[0032]图1是以母衬底的形式的显示装置的平面视图。
[0033]图2是示出在母衬底中形成激光孔的工艺的视图。
[0034]图3是示出用激光对母衬底划线的工艺的视图。
[0035]图4是示出用于母衬底上的导电图案的工艺的视图。
[0036]图5和图6是示出在目标衬底上在激光处理期间如何形成颗粒的视图。
[0037]图7是根据本技术的激光加工设备的实施方式的透视图。
[0038]图8是当在第三方向DR3上观察时根据本技术的激光加工设备的实施方式的平面视图。
[0039]图9是当在第一方向DR1上观察时根据本技术的激光加工设备的实施方式的剖面视图。
[0040]图10至图14是示出由保护器收集在激光处理期间从衬底剥离的颗粒的工艺的视图。
[0041]图15至图17是示出保护器将经收集的颗粒堆移出处理区域的工艺的视图。
[0042]图18A至图18C是根据本技术的激光加工设备的另一实施方式的剖面视图。
[0043]图19是根据本技术的激光加工设备的另一实施方式的剖面视图。
[0044]图20是根据本技术的激光加工设备的另一实施方式的剖面视图。
[0045]图21至图26是示出图20的实施方式中的保护器在第一模式和第二模式中驱动以使得其在保护器供给器与保护器回收器之间往复运动的视图。
[0046]图27是示出图7的实施方式中的颗粒堆的剖面视图。
[0047]图28是示出图20的实施方式中的颗粒堆的剖面视图。
[0048]图29至图31是激光加工设备的另一实施方式的透视图。
[0049]图32是根据本技术的激光加工本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种激光加工设备，其特征在于，包括：处理腔室；窗，所述窗布置在所述处理腔室的表面中；衬底载体，所述衬底载体布置在所述处理腔室内部并且面对所述窗；激光照射器，所述激光照射器通过所述窗向所述衬底载体照射激光；保护器供给器，所述保护器供给器布置在所述处理腔室的一侧上；保护器回收器，所述保护器回收器布置在所述处理腔室的与所述处理腔室的所述一侧相对的相对侧上；以及保护器，所述保护器将所述保护器供给器与所述保护器回收器连接，其中，所述保护器的至少一部分在所述处理腔室中布置在所述衬底载体与所述窗之间。2.如权利要求1所述的激光加工设备，其特征在于，所述保护器供给器和所述保护器回收器在第一模式中将所述保护器从所述保护器供给器朝向所述保护器回收器移动。3.如权利要求2所述的激光加工设备，其特征在于，所述保护器供给器和所述保护器回收器在第二模式中将所述保护器从所述保护器回收器朝向所述保护器供给器移动。4.如权利要求1所述的激光加工设备，其特征在于，所述保护器供给器包括进给辊，并且所述保护器回收器包括收取辊，并且其中，所述保护器绕所述进给辊和所述收取辊缠绕。5.如权利要求4所述的激光加工设备，其特征在于，所述保护器在所述进给辊与所述收取辊之间限定闭合回路。6.一种激光加工设备，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：罗兴烈，金泰宪，崔庭瑀，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：新型
国别省市：