泄漏检测系统及其制造和使用方法技术方案

一种监测至少一个泄漏检测传感器的方法，所述方法包括以下步骤：经由通信集线器确定传感器的第一状态，所述第一状态包括当所述传感器干燥时的第一条件和当所述传感器润湿时的第二条件；经由所述通信集线器确定表示所述传感器的可操作性的第二状态；经由所述通信集线器将所述传感器的所述状态中的每种状态传递到图形用户界面(GUI)；并且经由所述GUI显示所述传感器的所述第一状态和所述第二状态的表示。示。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】泄漏检测系统及其制造和使用方法


[0001]本公开涉及泄漏检测系统及其制造和使用方法。

技术介绍

[0002]许多工业应用和商业应用涉及流体的使用，这些流体可用于例如加工步骤、制造功能(诸如掩蔽或蚀刻)或温度控制中。鉴于一些流体具有不利的环境影响或生物效应，它们可能特别有害或需要特别关注。其他流体可能非常有价值，诸如半导体制备材料。
[0003]许多行业持续要求以更可持续和经济的方式，准确有效地监测有害流体或有价值的流体的泄漏的方法。
附图说明
[0004]实施例以实例的方式示出，并非旨在受到附图的限制。
[0005]图1包括根据一个实施例的示例性泄漏检测系统的透视图。
[0006]图2包括根据多个实施例的多个示例性泄漏检测系统的侧正视图，所述多个示例性泄漏检测系统设置在接合流体部件之间的流体界面上。
[0007]图3包括根据一个实施例的包括感测元件的传感器的示意图。
[0008]图4包括根据一个实施例的包括感测元件的传感器的横截面正视图。
[0009]图5包括根据另一个实施例的包括感测元件的传感器的横截面正视图。
[0010]图6包括根据另一个实施例的包括感测元件的传感器的横截面正视图。
[0011]图7包括根据另一个实施例的包括感测元件的传感器的示意图。
[0012]图8包括根据一个实施例的包括感测元件的传感器的横截面正视图。
[0013]图9包括根据一个实施例的包括在干燥条件下的感测元件的另一个传感器的示意图。/>[0014]图10包括根据一个实施例的在润湿条件下的图9的传感器的示意图。
[0015]图11包括根据一个实施例的包括具有电路的感测元件的另一个传感器的示意图。
[0016]图12包括根据一个实施例的包括具有电路的感测元件的另一个传感器的示意图。
[0017]图13包括根据一个实施例的包括具有两个检测元件的感测元件的传感器的横截面正视图。
[0018]图14包括根据一个实施例的流体导管的透视图，该流体导管具有多个耦接至其上的传感器，每个传感器各自具有不同的附接元件。
[0019]图15包括根据一个实施例的泄漏检测系统的透视图。
[0020]图16包括根据一个实施例的附接元件的透视图。
[0021]图17包括根据一个实施例的泄漏检测阵列的透视图。
[0022]图18A包括根据本文公开的泄漏检测系统的实施例的示例性图形用户界面(GUI)的多个可变显示的示意图。
[0023]图18B包括根据本文公开的泄漏检测系统的实施例的示例性图形用户界面(GUI)
的多个可变显示的示意图。
[0024]图18C包括根据本文公开的泄漏检测系统的实施例的示例性图形用户界面(GUI)的多个可变显示的示意图。
[0025]图18D包括根据本文公开的泄漏检测系统的实施例的示例性图形用户界面(GUI)的多个可变显示的示意图。
[0026]图19包括根据本专利技术原理的用于定位和纠正流体泄漏的示例性过程的流程图。
具体实施方式
[0027]提供结合附图的以下描述以帮助理解本文所公开的教导内容。以下论述将集中于本教导内容的具体实施方式和实施例。提供该重点是为了帮助描述教导内容，并且不应该被解释为是对本教导内容的范围或适用性的限制。然而，可基于本专利技术所公开的教导内容使用其他实施例。
[0028]术语
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由...构成
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包含
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包括
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含有
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具有
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有
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或它们的任何其他变型旨在涵盖非排他性的包含之意。例如，包含特征列表的方法、制品或装置不一定仅限于那些特征，而是可以包括未明确列出的或这种方法、制品或装置固有的其他特征。另外，除非另有明确说明，否则
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或
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是指包括性的
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或
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而非排他性的
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或
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。例如，以下任何一项均可满足条件A或B：A为真(或存在的)而B为假(或不存在的)、A为假(或不存在的)而B为真(或存在的)，以及A和B两者都为真(或存在的)。
[0029]而且，使用
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一个
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或
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一种
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来描述本文所述的元件和部件。这样做仅是为了方便并且给出本专利技术范围的一般性意义。除非很明显地另指他意，否则这种描述应被理解为包括一个、至少一个，或单数也包括复数，或反之亦然。例如，当在本文描述单个项时，可使用多于一个项来代替单个项。类似地，在本文描述了多于一个项的情况下，单个项可以取代多于一个项。
[0030]除非另有定义，否则本文使用的所有技术术语和科技术语都与本专利技术所属领域的普通技术人员通常理解的含义相同。材料、方法和实例仅是说明性的而非限制性的。关于本文未述的方面，有关特定材料和加工方法的许多细节是常规的，并能在流体输送领域内的教科书和其他来源中找到。
[0031]根据本文所述的一个或多个实施例的泄漏检测系统通常可包括至少一个传感器、耦接至传感器的通信设备和附接元件，该附接元件适于将泄漏检测系统可操作地耦接至待监测流体泄漏的区域。在一个实施例中，泄漏检测系统可设置为与流体部件上的流体界面相邻。根据某些实施例，流体部件可包括接合处，由此流体可从流体界面诸如管道接头、管道耦合件、管道、弯管、歧管、管肘、阀、泵、调节器、接缝或焊接线、喷嘴或喷雾器、螺纹端口、取样阀、排放管线、流体入口或出口或者任何其他类似的接合处泄漏。在另一个实施例中，传感器可具有第一状态，该第一状态具有干燥时的第一条件和润湿时的第二条件。在一个实施例中，传感器可具有适于监测传感器的可操作性的第二状态。在一个实施例中，传感器可具有适于监测传感器的电池寿命的测量的第三状态。在一个实施例中，传感器可具有适于监测传感器的信号强度的第四状态。通信设备可通过无线通信协议或有线连接将条件(第一、第二、第三或第四条件)传输至通信集线器或接收设备，该通信集线器或接收设备适于将所监测区域的条件传递至可对泄漏产生响应的用户或系统。在一个特定实施例中，附
接元件可移除、可重复使用或两者。即，附接元件可与流体部件或者所监测的流体部件的区域或表面选择性接合并且从其上选择性脱离。
[0032]根据某些实施例，如本文所述的泄漏检测系统可定位成监测包括若干不同技术特性的流体部件上的泄漏。例如，根据本文所述的一个或多个实施例的泄漏检测系统可用于以下行业中：电子设备制造，诸如半导体行业和超导体行业；医疗器械，诸如输液管路和输液泵；管道联接件，诸如存在于石油天然气行业以及饮用水系统和下水道系统中的那些管道联接件；航空航天行业的制造、维护和设计；餐饮行业；以及汽车行业。在特定的实施例中，泄漏检测系统可附接至容纳半导体流体的流体部件，该半导体流体可包括HF、H2SO4、H本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种监测至少一个泄漏检测传感器的方法，所述方法包括以下步骤：经由通信集线器确定传感器的第一状态，所述第一状态包括当所述传感器干燥时的第一条件和当所述传感器润湿时的第二条件；经由所述通信集线器确定表示所述传感器的可操作性的第二状态；经由所述通信集线器将所述传感器的所述第一状态和所述第二状态中的每一者传递到图形用户界面(GUI)；并且经由所述GUI显示所述传感器的所述第一状态和所述第二状态的表示。2.根据权利要求1所述的方法，所述方法进一步包括经由所述通信集线器确定所述传感器的第三状态，所述第三状态包括对所述传感器的电池寿命的测量，并且其中所述显示进一步包括经由所述GUI显示所述传感器的所述第三状态的表示。3.根据权利要求2所述的方法，所述方法进一步包括经由所述通信集线器确定所述传感器的第四状态，所述第四状态包括对所述传感器到所述通信集线器的信号强度的测量，并且其中所述显示进一步包括经由所述GUI显示所述传感器的所述第四状态的表示。4.根据权利要求3所述的方法，其中确定所述第三状态和确定所述第四状态中的至少一者进一步包括：从所述传感器接收传感器数据，以及经由所述通信集线器确定所述传感器的所述第一状态、所述第二状态、所述第三状态和所述第四状态中的至少一者。5.根据权利要求1所述的方法，其中所述传递包括经由通信集线器进行的传递，所述通信集线器被配置为用于经由无线通信协议传递到所述传感器。6.根据权利要求5所述的方法，其中所述无线通信协议包括LoRa网络协议。7.根据权利要求1所述的方法，其中所述GUI包括可操作触摸屏，...

【专利技术属性】
技术研发人员：查尔斯，
申请(专利权)人：美国圣戈班性能塑料公司，
类型：发明
国别省市：