平板显示器玻璃基板光阻固化用烘烤炉制造技术

本实用新型专利技术公开了一种平板显示器玻璃基板光阻固化用烘烤炉，包括炉体及门扇组件，在炉体的炉腔内安装有加热器和鼓风机，在炉体的炉腔内还安装有玻璃卡架；炉体的炉腔连通有余热回收管和预热补风管，该余热回收管和预热补风管的另一端通向换热室，余热回收管经换热室换热后依次通向冷凝室和滤清室，该滤清室还与排放风机相连通；玻璃卡架包括卡架立框，在卡架立框上安装有主托杆和辅助托杆，主托杆和辅助托杆上固定安装有托承钉。换热室中安装有换热管，余热回收管经换热室的换热管通向冷凝室和滤清室。该烘烤炉不仅能有效利用排放热能，减少炉腔温度波动，而且能大大降低有机挥发物外泄或排空对外都环境造成的污染。外泄或排空对外都环境造成的污染。外泄或排空对外都环境造成的污染。

【技术实现步骤摘要】
平板显示器玻璃基板光阻固化用烘烤炉


[0001]本技术涉及平板显示器所用的玻璃基板制作设备，尤其涉及一种用于玻璃基板表面涂布光阻剂固化用烘烤炉。

技术介绍

[0002]平板显示器具有体积小，重量轻、能耗低、图像精确、屏幕反应速度快等特点，被广泛应用于各种通讯设备、互联网、手机电视及电脑等诸多的电子产品上。随着平板显示面板向高清晰度，轻薄化方向发展，这就要求屏幕的像素密度越高，对于玻璃基板来说表面缺陷会要求越来越严格。
[0003]现有的玻璃基板烘烤设备主要由烘烤箱体和玻璃卡架组成，结构比较简单，直接影响玻璃基板性能指标的稳定和基板合格率。现有烘烤炉在烘烤过程中玻璃基板表面的光阻剂挥发大量的有机挥发性溶剂会导致炉腔污染附着颗粒物质，并进而造成热风循环不畅而加剧基板污染，并且随着挥发溶剂在炉腔中的积累加重，这种基板污染风险变得越来越大。同时，烘烤炉腔热空气的直接排空，以及炉门的打开关闭都不可避免地带来光阻固化挥发物的外泄，不仅造成烘烤热能的浪费，而且造成对外部环境的污染。

技术实现思路

[0004]针对现有技术所存在的上述不足，本技术所要解决的技术问题是提供一种平板显示器玻璃基板光阻固化用烘烤炉，不仅能有效利用排放热能，减少炉腔温度波动，而且能大大降低有机挥发物外泄或排空对外都环境造成的污染。
[0005]为了解决上述技术问题，本技术的平板显示器玻璃基板光阻固化用烘烤炉，包括炉体及门扇组件，在炉体的炉腔内安装有加热器和鼓风机，在炉体的炉腔内还安装有玻璃卡架；所述炉体的炉腔连通有余热回收管和预热补风管，该余热回收管和预热补风管的另一端通向换热室，余热回收管经换热室换热后依次通向冷凝室和滤清室，该滤清室还与排放风机相连通；所述玻璃卡架包括卡架立框，在卡架立框上安装有主托杆和辅助托杆，主托杆和辅助托杆上固定安装有托承钉。
[0006]本技术的进一步实施方式，所述换热室中安装有换热管，余热回收管经换热室的换热管通向冷凝室和滤清室。所述冷凝室安装有水冷式或空冷式冷凝器，所述滤清室中安装有滤芯。所述余热回收管包括门扇余热回收管和炉腔余热回收管，所述炉腔余热回收管的一端通向炉体的炉腔，炉腔余热回收管的另一端通向换热室中的换热管，门扇余热回收管的一端通向炉体的门楣余热回收管，门扇余热回收管的另一端也通向换热室中的换热管。所述预热补风管经换热室的换热腔室通向空气吸入口。
[0007]本技术的优选实施方式，所述卡架立框上固定安装有若干层主托杆和辅助托杆，位于相邻层面上的主托杆和辅助托杆相互平行设置。所述托承钉的钉端圆球冠半径R=2mm—4mm。
[0008]本技术的优选实施方式，所述加热器为电加热器，所述鼓风机和排放风机为
离心风机，所述滤清室的滤芯为熔喷滤芯或折叠式微孔滤芯。
[0009]采用上述技术方案后，由于烘烤腔的加热升温进风并不是直接引至炉外环境常温空气，而是经预热补风管进入到加热腔进行加热升温后，利用预加热的炉外新鲜空气进行再加热升温至预定烘烤温度，充分利用排放废气热能，有效地降低了加热能耗，稳定了烘烤腔中的烘烤温度，有效平抑了烘烤腔中温度波动，避免温度波动对玻璃基板形成的不良影响；烘烤腔中的部分烘烤热风又经炉腔热风管外排，而带走烘烤所产生的有机挥发物，有效地控制着烘烤气氛中的有机挥发物和微尘颗粒，避免有机挥发物和微尘颗粒累积，实现对烘烤热风洁净度的管控。又由于余热回收管经换热室换热后依次通向冷凝室和滤清室，该滤清室还与排放风机相连通，排放废气的余热先经过换热室换热冷凝，将排放废气中的气态有机挥发物冷凝成液态物质，以便实现净化无污染处理；然后再通过冷凝室和滤清室对外排废气进行进一步后处理，从而实现零污染排放。
附图说明
[0010]下面结合附图和具体实施方式对本技术平板显示器玻璃基板光阻固化用烘烤炉作进一步说明。
[0011]图1是本技术平板显示基板高洁净低能耗烘烤设备一种具体实施方式的立体结构示意图；
[0012]图2是图1所示实施方式中玻璃卡架的立体结构示意图；
[0013]图3是图2的正面结构示意图；
[0014]图4是图2中主托杆的立体结构示意图；
[0015]图5是图2中辅助托杆的立体结构示意图；
[0016]图6是图2中托承钉的结构示意图。
[0017]图中，1—炉体；2—门扇余热回收管；3—门扇组件；4—炉腔热风排放管；5—玻璃卡架；6—滤清布风组件；7—鼓风机；8—加热器；9—预热补风管；10—换热室；11—空气吸入口；12—积液盒；13—冷凝室；14—滤清室；15—排放风机；16—卡架立框；17—主托杆；18—辅助托杆；19—托承钉；20—玻璃基板。
具体实施方式
[0018]如图1所示的平板显示器玻璃基板光阻固化用烘烤炉，该烘烤炉的炉体1外形为立方体箱柜式结构，在炉体1的前侧面安装有门扇组件3，该门扇组件3包括有若干相互水平设置的门扇单元，每一门扇单元均铰支于炉体1的框架体上，并且每一门扇单元的两侧均连接有一门扇驱动装置，该门扇驱动装置包括驱动气缸和驱动摆动臂；在每一门扇单元的启闭侧（即门扇的打开或关闭缝口位置侧）均水平地设置有一门楣吸管，门楣吸管则经其两侧的气路阀通向对应侧边的废气收集侧管，气路阀采用常见气阀；两侧的废气收集侧管在下方并接后连通至门扇余热回收管2。在门扇余热回收管2的管路上还串接有门扇废气排放风机，以在门楣吸管形成稳定的负压吸力，门扇废气排放风机为涡轮风机。
[0019]在炉体1的炉腔内还安装有玻璃卡架5和滤清布风组件6，滤清布风组件6包括固定安装于布风滤清支架上的滤清器，滤清器由多个并列的滤芯构成。炉体1的炉腔中还设置有鼓风机7和加热器8，在炉体1的右侧面上留有鼓风机7和加热器8的安装孔座，故鼓风机7的
风扇部分位于炉腔内，其电机则位于炉体侧面外，同样加热器8的加热头位于炉腔内，而加热器连接座则位于炉体侧壁上。上述的加热器8为电加热器，鼓风机7为离心风机。
[0020]炉体1的炉腔上连通有预热补风管9，为了保证进补风的均匀性，预热补风管9上并接有若干个通向炉腔的进风口。在炉体1的炉腔上还连通有炉腔热风排放管4，同样为保证炉腔各层面上均匀排风，炉腔热风排放管4上也并接有若干与炉腔连通的排风口，在炉腔热风排放管4上串接有炉腔热风排放风机，以有效控制排放风速和排放风量，炉腔热风排放见机为涡轮风机。
[0021]炉腔热风排放管4经炉腔热风排放风机通向换热室10，同样门扇余热回收管2经过门扇废气排放风机也通向换热室10；换热室10又经积液盒12连通至冷凝室13，经冷凝室13冷凝降温后的废气再通向滤清室14，最后经冷凝和滤清的净化气体经排放风机15排空。炉腔热风排放管4和门扇余热回收管2中热风流经换热室10换热管后，其热风中的有机挥发物等有害气体被部分冷凝成液态而收集于积液盒12，以便集中进行无害化处理，避免对环境的污染。
[0022]在换热室10的腔室中安装有管式的换热管，换热器采用常见的换热结构，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种平板显示器玻璃基板光阻固化用烘烤炉，包括炉体（1）及门扇组件（3），其特征在于：在炉体（1）的炉腔内安装有加热器（8）和鼓风机（7），在炉体（1）的炉腔内还安装有玻璃卡架（5）；所述炉体（1）的炉腔连通有余热回收管和预热补风管（9），该余热回收管和预热补风管（9）的另一端通向换热室（10），余热回收管经换热室（10）换热后依次通向冷凝室（13）和滤清室（14），该滤清室（14）还与排放风机（15）相连通；所述玻璃卡架（5）包括卡架立框（16），在卡架立框（16）上安装有主托杆（17）和辅助托杆（18），主托杆（17）和辅助托杆（18）上固定安装有托承钉（19）。2.根据权利要求1所述的平板显示器玻璃基板光阻固化用烘烤炉，其特征在于：所述换热室（10）中安装有换热管，余热回收管经换热室（10）的换热管通向冷凝室（13）和滤清室（14）。3.根据权利要求2所述的平板显示器玻璃基板光阻固化用烘烤炉，其特征在于：所述冷凝室（13）安装有水冷式或空冷式冷凝器，所述滤清室（14）中安装有滤芯。4.根据权利要求1、2或3所述的平板显示器玻璃基板光阻固化用烘烤炉，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：潘明华，万堃鋆，
申请(专利权)人：江苏美客鼎嵘智能装备制造有限公司，
类型：新型
国别省市：