【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及液晶平板显示器玻璃基板的生产设备,尤其涉及对烘烤后玻璃基板进行冷却降温的制冷设备。
技术介绍
1、液晶显示器玻璃基板是构成平板显示器件的重要组成部分。液晶显示器的生产加工工艺极其复杂,工序要求十分严格。图形刻蚀是显示器玻璃基板制作的关键工序,它是在导电玻璃上刻蚀出显示器电极图形,该工序阶段主要是在清洁干燥的导电玻璃基板上均匀涂布光阻剂,再在一定温度下将涂布有光阻剂的玻璃基板烘烤一段时间,以使光阻剂中溶剂挥发,增加与玻璃表面粘附性。由于经烘烤后的玻璃基板带有较高烘烤温度,必须降至常温(如23℃)后,才能进行后续的曝光显影、坚膜、刻蚀、去膜及清洁干燥等工艺而完成电极图形的刻蚀。然而由于玻璃基板是大板面的薄型玻璃平板,对其急速制冷很容易形成降温不均匀,而这种制冷的不均匀会在基板上因温度梯度引起热应力,导致基板玻璃的开裂和玻碎,降低烘烤成品良率;而采用空冷等缓慢降温又会成为整个基板生产流水线上的卡脖工序,严重制约着整个流水线生产效率的提高。
2、故而,现有生产流水线大都采用制冷装置对玻璃基板进行降温,以提高流水线生产效
...【技术保护点】
1.一种显示器玻璃基板双源快速冷却设备,包括机架(1),以及安装于机架(1)上的制冷单元(4),其特征在于:所述制冷单元(4)包括可移动地支承于机架(1)上的制冷板座(9),在制冷板座(9)上固定支承有制冷板(8);所述制冷板(8)的板内设置有冷水孔道(12),该制冷板(8)的板面覆有冷板护层(26);所述制冷板(8)的上板面安装有玻板托钉(7),制冷板(8)的下板面密封地安装有送风罩(22);在所述制冷板(8)上沿板厚方向设置有送风孔(25),送风机(17)经冷风器(20)的冷风通道(31)通向所述送风罩(22)的送风腔,所述送风孔(25)与送风罩(22)的送风腔相
...【技术特征摘要】
1.一种显示器玻璃基板双源快速冷却设备,包括机架(1),以及安装于机架(1)上的制冷单元(4),其特征在于:所述制冷单元(4)包括可移动地支承于机架(1)上的制冷板座(9),在制冷板座(9)上固定支承有制冷板(8);所述制冷板(8)的板内设置有冷水孔道(12),该制冷板(8)的板面覆有冷板护层(26);所述制冷板(8)的上板面安装有玻板托钉(7),制冷板(8)的下板面密封地安装有送风罩(22);在所述制冷板(8)上沿板厚方向设置有送风孔(25),送风机(17)经冷风器(20)的冷风通道(31)通向所述送风罩(22)的送风腔,所述送风孔(25)与送风罩(22)的送风腔相连通;所述冷风器(20)上还设有冷水通道(29),冷水通道(29)的两端分别连向冷水机(16)的出水口和回水口。
2.根据权利要求1所述的显示器玻璃基板双源快速冷却设备,其特征在于:所述制冷板(8)的上板面和/或下板面涂覆有冷板护层(26)。
3.根据权利要求2所述的显示器玻璃基板双源快速冷却设备,其特征在于:所述冷板护层(26)为防静电涂料涂层或石墨烯导电薄膜或石墨烯基防静电料涂层。
4.根据权利要求1所述的显示器玻璃基板双源快速冷却设备,其特征在于:所述制冷板(8)上的冷水孔道(12)包括有5-15道相互独立的水道,每一水道均包括有一进水端口和一出水端口。
5.根据权利要求4所述的显示器玻璃基板双源快速冷却设备,其特征在于:所述制冷板(8)为带有若干道冷水孔道(12)的金属板;所述冷水孔道(12)通过水路回转块(11)曲折回转地设置于制...
【专利技术属性】
技术研发人员:万堃鋆,林殷圣,闵京赵,
申请(专利权)人:江苏美客鼎嵘智能装备制造有限公司,
类型:发明
国别省市:
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