一种柔性薄膜湿法刻蚀装置，包括放卷辊、收卷辊、刻蚀腔体、清洗腔体、薄膜基材和薄膜监控模块；刻蚀腔体中设有第一悬浮辊，第一悬浮辊上设有刻蚀液喷淋孔，该第一悬浮辊连通一刻蚀液供液机构；清洗腔体中设有第二悬浮辊，第二悬浮辊上设有清洗液喷淋孔，该第二悬浮辊连通一清洗液供液机构；所述薄膜基材通过所述放卷辊放料，依次绕经所述第一悬浮辊、所述第二悬浮辊，并收卷于所述收卷辊；薄膜监控模块包括采集单元和运算控制单元，采集单元对应第一悬浮辊设置，该采集单元工作时将采集得到的数据传输至运算控制单元处进行处理。本装置能够避免柔性薄膜的刻蚀表面受到损伤，保证湿法刻蚀的均匀性，提高产品良率。提高产品良率。提高产品良率。
【技术实现步骤摘要】
一种柔性薄膜湿法刻蚀装置
[0001]本技术涉及薄膜刻蚀
，特别地，涉及一种柔性薄膜湿法刻蚀装置。
技术介绍
[0002]在柔性基材表面处理及功能涂层制备过程中，主要涉及到成膜、刻蚀、清洗三大工艺，通过刻蚀工艺，便可以将有机薄膜材料表面的功能膜层去除或者改变微观结构和形貌，得到最终需要的图形。
[0003]刻蚀工艺主要包括湿法刻蚀工艺和干法刻蚀工艺，其中湿法刻蚀工艺主要是通过薄膜材料(多为金属化合物薄膜)与刻蚀液之间发生化学反应进行刻蚀。
[0004]而当采用湿法刻蚀工艺时，由于湿法刻蚀容易受到外力、表面摩擦破坏、刻蚀液浓度、刻蚀时间、以及刻蚀液在薄膜表面的分布均匀性等因素的影响，可能导致刻蚀不均(线宽不均或坡度角不均)的现象，引起后续制程的不良；同时还可能造成不同阶段衬底之间的刻蚀均一性较差，从而影响产品的稳定性。
[0005]针对上述问题，就需要提供一种能够避免刻蚀不均的现象发生的柔性薄膜湿法刻蚀装置。
技术实现思路
[0006]本技术的目的在于提供一种柔性薄膜湿法刻蚀装置。
[0007]本技术采用的技术方案是：一种柔性薄膜湿法刻蚀装置，包括放卷辊、收卷辊、刻蚀腔体、清洗腔体、薄膜基材和薄膜监控模块；
[0008]所述刻蚀腔体中设有第一悬浮辊，所述第一悬浮辊上设有刻蚀液喷淋孔，该第一悬浮辊连通一刻蚀液供液机构；所述清洗腔体中设有第二悬浮辊，所述第二悬浮辊上设有清洗液喷淋孔，该第二悬浮辊连通一清洗液供液机构；
[0009]所述薄膜基材通过所述放卷辊放料，依次绕经所述第一悬浮辊、所述第二悬浮辊，并收卷于所述收卷辊；
[0010]所述薄膜监控模块包括采集单元和运算控制单元，所述采集单元对应所述第一悬浮辊设置，包括光学采集单元或/和溶液采集单元，所述采集单元的信号输出端电性连接所述运算控制单元的信号输入端。
[0011]上述技术方案中的有关内容解释如下：
[0012]1.上述方案中，所述运算控制单元的输出端电性连接所述放卷辊和所述收卷辊，并控制所述放卷辊和所述收卷辊的运转速度。
[0013]2.上述方案中，所述第一悬浮辊和所述刻蚀液供液机构之间设有压力调节阀，所述运算控制单元电性连接所述压力调节阀，并通过所述压力调节阀控制刻蚀液的喷淋压力。
[0014]3.上述方案中，所述光学采集单元包括发光光源和光学采集元件，所述发光光源发出的光经所述薄膜基材后，照射至所述光学采集元件。
[0015]4.上述方案中，所述发光光源包括底光源和顶光源，所述底光源设在所述第一悬浮辊的下方，所述顶光源和所述光学采集元件设在在所述第一悬浮辊的上方。
[0016]5.上述方案中，所述底光源的发射光和所述顶光源的发射光为不同波长。
[0017]6.上述方案中，所述溶液采集单元包括溶液收集器和溶液分析器，工作时采集刻蚀液的成分浓度。
[0018]7.上述方案中，所述刻蚀腔体通过一回液机构连通所述刻蚀液供液机构，所述回液机构包括回液管道以及设在该回液管道上的回液泵。
[0019]8.上述方案中，还包括张力测量辊，所述薄膜基材依次绕经所述第一悬浮辊、所述张力测量辊和所述第二悬浮辊。
[0020]本技术的有益效果在于：本柔性薄膜湿法刻蚀装置在刻蚀过程中，通过薄膜监控模块对柔性薄膜的刻蚀状态进行实时监控，其中，通过采集单元在第一悬浮辊处进行采集得到相应的数据信息，如柔性薄膜的光透过率、光反射率和刻蚀液的酸液浓度信息，接着将数据信息传输至运算控制单元处进行处理，运算控制单元根据其处理结果对设备进行控制；
[0021]本装置根据柔性薄膜的特性变化或者刻蚀液的浓度变化来确定柔性薄膜的当前刻蚀状态，在此基础上，通过运算控制单元便可以根据柔性薄膜的当前刻蚀状态对设备的预定参数（包括刻蚀液的喷淋量和柔性薄膜的运动速度）实现动态调节，从而避免柔性薄膜的刻蚀表面受到损伤，保证湿法刻蚀的均匀性，提高产品良率。
附图说明
[0022]附图1为本技术实施例的示意图；
[0023]附图2为本技术实施例中第一悬浮辊的示意图（仰视视角）；
[0024]附图3为本技术实施例的工作流程图。
[0025]以上附图中：1．放卷辊；2．收卷辊；3．刻蚀腔体；31．第一悬浮辊；310．刻蚀液喷淋孔；32．刻蚀液供液机构；33．压力调节阀；34．回液机构；4．清洗腔体；41．第二悬浮辊；42．清洗液供液机构；5．薄膜基材；6．光学采集单元；7．溶液采集单元；8．运算控制单元；91．第一风刀；92．第二风刀；93．烘干箱体；94．张力测量辊；95．传动辊轮。
具体实施方式
[0026]下面结合附图及实施例对本技术作进一步描述：
[0027]以下将以图式及详细叙述对本案进行清楚说明，任何本领域技术人员在了解本案的实施例后，当可由本案所教示的技术，加以改变及修饰，其并不脱离本案的精神与范围。
[0028]本文的用语只为描述特定实施例，而无意为本案的限制。单数形式如“一”、“这”、“此”、“本”以及“该”，如本文所用，同样也包含复数形式。
[0029]关于本文中所使用的“第一”、“第二”等，并非特别指称次序或顺位的意思，亦非用以限定本案，其仅为了区别以相同技术用语描述的组件或操作。
[0030]关于本文中所使用的“连接”或“定位”，均可指二或多个组件或装置相互直接作实体接触，或是相互间接作实体接触，亦可指二或多个组件或装置相互操作或动作。
[0031]关于本文中所使用的“包含”、“包括”、“具有”等，均为开放性的用语，即意指包含
但不限于。
[0032]关于本文中所使用的用词（terms），除有特别注明外，通常具有每个用词使用在此领域中、在本案内容中与特殊内容中的平常意义。某些用以描述本案的用词将于下或在此说明书的别处讨论，以提供本领域技术人员在有关本案之描述上额外的引导。
[0033]关于本文中所使用的“前”、“后”、“上”、“下”、“左”、“右”等，均为方向性用词，在本案中仅为说明各结构之间位置关系，并非用以限定本案保护范围及实际实施时的具体方向。
[0034]如图1至图3所示的实施例，提供一种柔性薄膜湿法刻蚀装置，包括放卷辊1、收卷辊2、刻蚀腔体3、清洗腔体4、薄膜基材5和薄膜监控模块。
[0035]所述刻蚀腔体3中设有第一悬浮辊31，所述第一悬浮辊31上设有多个刻蚀液喷淋孔310，该第一悬浮辊31连通一刻蚀液供液机构32，所述刻蚀液供液机构32向第一悬浮辊31提供用于刻蚀柔性薄膜的刻蚀液，该刻蚀液在第一悬浮辊31中通过刻蚀液喷淋孔310对外喷淋。
[0036]所述清洗腔体4中设有第二悬浮辊41，所述第二悬浮辊41上设有多个清洗液喷淋孔，该第二悬浮辊41连通一清洗液供液机构42，所述清洗液供液机构42向第二悬浮辊41提供用于清洗柔性薄膜的清洗液，该清洗液在第二悬浮辊41中通过清洗液喷淋孔对外喷淋。本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种柔性薄膜湿法刻蚀装置，其特征在于：包括放卷辊（1）、收卷辊（2）、刻蚀腔体（3）、清洗腔体（4）、薄膜基材（5）和薄膜监控模块；所述刻蚀腔体（3）中设有第一悬浮辊（31），所述第一悬浮辊（31）上设有刻蚀液喷淋孔（310），该第一悬浮辊（31）连通一刻蚀液供液机构（32）；所述清洗腔体（4）中设有第二悬浮辊（41），所述第二悬浮辊（41）上设有清洗液喷淋孔，该第二悬浮辊（41）连通一清洗液供液机构（42）；所述薄膜基材（5）通过所述放卷辊（1）放料，依次绕经所述第一悬浮辊（31）、所述第二悬浮辊（41），并收卷于所述收卷辊（2）；所述薄膜监控模块包括采集单元和运算控制单元（8），所述采集单元对应所述第一悬浮辊（31）设置，包括光学采集单元（6）或/和溶液采集单元（7），所述采集单元的信号输出端电性连接所述运算控制单元（8）的信号输入端。2.根据权利要求1所述的一种柔性薄膜湿法刻蚀装置，其特征在于：所述运算控制单元（8）的输出端电性连接所述放卷辊（1）和所述收卷辊（2），并控制所述放卷辊（1）和所述收卷辊（2）的运转速度。3.根据权利要求1所述的一种柔性薄膜湿法刻蚀装置，其特征在于：所述第一悬浮辊（31）和所述刻蚀液供液机构（32）之间设有压力调节阀（33），所述运算控制单元（8）电...
【专利技术属性】
技术研发人员：金闯，蒋晓明，周兴宝，孙腾，张礼勋，
申请(专利权)人：江苏斯迪克新材料科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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