一种针刺式固晶机制造技术

本实用新型专利技术涉及一种针刺式固晶机，其包括：载台，所述载台上安装有机架；针刺装置和晶圆盘机台，所述针刺装置和所述晶圆盘机台安装于同一所述机架，且所述针刺装置具有固晶针；驱动机构，其连接所述针刺装置和所述晶圆盘机台，所述驱动机构用于驱动所述针刺装置和所述晶圆盘机台沿竖直方向或者在水平面内移动。本实用新型专利技术涉及的一种针刺式固晶机，由于针刺装置和晶圆盘机台安装于同一机架上，可以减少载台上机架的设置数量，进而减少空间的占用，为其他硬件机构的拓展提供了空间，也能够降低硬件成本。件成本。件成本。

【技术实现步骤摘要】
一种针刺式固晶机


[0001]本技术涉及半导体
，特别涉及一种针刺式固晶机。

技术介绍

[0002]发光二极管(light emitting diode，led)是一种能将电能转换为光能的可发光元件。随着发光二极管(led)技术的发展，使得发光二极管广泛应用于照明，讯号显示等日常生活领域上，而led制造技术也随之不断发展。
[0003]相关技术中，led晶片通常是由供应厂商集中粘在蓝膜上以构成晶圆，在进行后续的固晶过程时，一般使用固晶机将晶圆中的led晶片与蓝膜分离，使led晶片固定至基板上。但是，目前的固晶机结构复杂，设备硬件成本较高，且占用大量空间，限制了固晶机的功能拓展。
[0004]因此，有必要设计一种新的针刺式固晶机，以克服上述问题。

技术实现思路

[0005]本技术实施例提供一种针刺式固晶机，以解决相关技术中固晶机结构复杂，设备硬件成本较高，且占用大量空间，限制了固晶机的功能拓展的问题。
[0006]第一方面，提供了一种针刺式固晶机，其包括：载台，所述载台上安装有机架；针刺装置和晶圆盘机台，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种针刺式固晶机，其特征在于，其包括：载台（1），所述载台（1）上安装有机架（11）；针刺装置（2）和晶圆盘机台（3），所述针刺装置（2）和所述晶圆盘机台（3）安装于同一所述机架（11），且所述针刺装置（2）具有固晶针（21）；驱动机构，其连接所述针刺装置（2）和所述晶圆盘机台（3），所述驱动机构用于驱动所述针刺装置（2）和所述晶圆盘机台（3）沿竖直方向或者在水平面内移动。2.如权利要求1所述的针刺式固晶机，其特征在于：所述驱动机构包括第一驱动装置，所述第一驱动装置连接所述机架（11），所述第一驱动装置用于驱动所述机架（11）在水平面内移动。3.如权利要求2所述的针刺式固晶机，其特征在于：所述驱动机构还包括两个第二驱动装置，两个所述第二驱动装置分别对应连接所述针刺装置（2）和所述晶圆盘机台（3），两个所述第二驱动装置分别用于调整所述针刺装置（2）和所述晶圆盘机台（3）的竖直高度。4.如权利要求1所述的针刺式固晶机，其特征在于，所述晶圆盘机台（3）包括：晶圆固定装置，所述晶圆固定装置安装于所述机架（11）；以及晶圆移动装置，所述晶圆移动装置连接所述晶圆固定装置，所述晶圆移动装置可带动所述晶圆固定装置在水平面内移动，且所述晶圆移动装置可驱动所述晶圆固定装置绕水平轴旋转。5.如权利要求4所述的针刺式固晶机，其特征在于，所述晶圆固定装置至少包括互相固定的第一固定板、第二固定板和第三固定板，所述第一固定板用于固定晶圆盘（4）；所述晶圆移动装置包括：第一移动...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭栋，吴涛，吴松，吴祥瑞，金海淑，姚高翔，
申请(专利权)人：武汉精测电子集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：