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本实用新型涉及一种针刺式固晶机,其包括:载台,所述载台上安装有机架;针刺装置和晶圆盘机台,所述针刺装置和所述晶圆盘机台安装于同一所述机架,且所述针刺装置具有固晶针;驱动机构,其连接所述针刺装置和所述晶圆盘机台,所述驱动机构用于驱动所述针刺装...该专利属于武汉精测电子集团股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过武汉精测电子集团股份有限公司授权不得商用。
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本实用新型涉及一种针刺式固晶机,其包括:载台,所述载台上安装有机架;针刺装置和晶圆盘机台,所述针刺装置和所述晶圆盘机台安装于同一所述机架,且所述针刺装置具有固晶针;驱动机构,其连接所述针刺装置和所述晶圆盘机台,所述驱动机构用于驱动所述针刺装...