MOM电容参数自动化提取方法及装置、计算机存储介质、电子设备制造方法及图纸

本申请实施例提供了一种MOM电容参数自动化提取方法，包括：基于设定的频率和/或幅值，确定MOM电容的target图像；将MOM电容等效电路模型等效为π型二端口网络，以基于π型二端口网络来确定MOM电容的C

【技术实现步骤摘要】
MOM电容参数自动化提取方法及装置、计算机存储介质、电子设备


[0001]本申请涉及集成电路
，具体涉及一种MOM电容参数自动化提取方法及装置、计算机存储介质、电子设备。

技术介绍

[0002]MOM电容电路模型作为工艺制造到电路设计的桥梁，随着工艺技术的不断发展，电路设计指标要求的不断提高，电路模型的准确性的要求也越来越高。
[0003]在构建MOM电容电路模型时，需要依赖于一系列提取到的电路参数。现有的方案中，主要是根据测试数据利用数值分析的方法反推输出参数的初值，或者，再根据器件的物理结构和物理特性计算出参数的初值，最后再进行人工调整。这两种方式对于简单的电路模型来说有效，但随着器件特征尺寸的不断减小，寄生效应的增多使得等效电路模型所需的参数越来越多，结构也越来越复杂，由此导致，提取到电路参数的难度增大。

技术实现思路

[0004]本申请实施例提供一种MOM电容参数自动化提取方法及装置、计算机存储介质、电子设备，用以克服或者缓解现有技术中存在的上述技术问题。
[0005]本申请采用的技术方案为：
[0006]第一方面，提供了一种MOM电容的参数自动化提取方法，其包括：
[0007]基于设定的频率和/或幅值，确定MOM电容的target图像，所述target图像包括C
11
、C
22
、C
12
、Q
11
、Q
22
、Q
12
、R
11
、R
22
和R
12
图像，所述C
11
、C
22
、C
12
、 Q
11
、Q
22
、Q
12
、R
11
、R
22
和R
12
图像是在不同频率点下配置对应target参数得到的图像，所述target参数包括c
11
、c
22
、c
12
、q
11
、q
22
、q
12
、r
11
、r
22
、r
12
；
[0008]将MOM电容等效电路模型等效为π型二端口网络，以基于π型二端口网络来确定MOM电容的C
ab
、C
ap
、C
bp
、C
sub
和R
sub
对应的初始参数值；
[0009]基于π型二端口网络的S参数矩阵、Y参数矩阵以及MOM电容中等效电路模型元件参数关系，对C
sub
和R
sub
对应的初始参数值进行调整；
[0010]将调整后的C
sub
和R
sub
的初始参数值以及未调整的C
ab
、C
ap
、C
bp
的初始参数值作为初始参数提取值；
[0011]选用C
ab
对应的初始参数提取值去拟合C
12
的低频段，分别选C
bp
、C
ap
对应的初始参数提取值去拟合图像C
11
、C
22
的低频段，选用C
sub
和R
sub
对应的初始参数提取值拟合图像C
11
、C
22
、C
12
的高频段以及Q
11
、Q
22
、Q
12
、R
11
、R
22
、 R
12
的高频段，基于MOM电容模型中元件参数之间的关系，拟合图像C
11
、 C
22
、C
12
、Q
11
、Q
22
、Q
12
、R
11
、R
22
、R
12
的全频段，以对C
ab
、C
ap
、C
bp
、C
sub
和R
sub
对应的初始参数提取值进行优化，以得到C
ab
、C
ap
、C
bp
、C
sub
和R
sub
对应的实际参数提取值。
[0012]可选地，所述基于设定的频率和/或幅值，在MOM电容的图像C
11
、C
22
、 C
12
、Q
11
、Q
22
、Q
12
、R
11
、R
22
和R
12
参与后续处理步骤，包括：
对图像C
11
、C
22
、C
12
、Q
11
、Q
22
、Q
12
、R
11
、R
22
和R
12
进行坏点去除处理；对图像C
11
、C
22
、C
12
、Q
11
、Q
22
、Q
12
、R
11
、R
22
和R
12
进行平滑处理；基于设定的频率和/或幅值，在完成所述坏点去除处理和平滑处理的图像C
11
、 C
22
、C
12
、Q
11
、Q
22
、Q
12
、R
11
、R
22
和R
12
参与后续处理步骤。
[0013]可选地，所述基于π型二端口网络来确定MOM电容的C
ab
、C
ap
、C
bp
、C
sub
和R
sub
对应的初始参数值，包括：
[0014]基于如下公式，计算MOM电容的C
ab
、C
ap
、C
bp
、C
sub
和R
sub
对应的初始参数值：Y
series
＝
‑
Y
12
＝jωC
ab
，Y
shunt_1
＝Y
11
+Y
12
＝jωC
Ap
+jωC
sub
，，且C
ap
＝C<本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种MOM电容的参数自动化提取方法，其特征在于，包括：基于设定的频率和/或幅值，确定MOM电容的target图像，所述target图像包括C
11
、C
22
、C
12
、Q
11
、Q
22
、Q
12
、R
11
、R
22
和R
12
图像，所述C
11
、C
22
、C
12
、Q
11
、Q
22
、Q
12
、R
11
、R
22
和R
12
图像是在不同频率点下配置对应target参数得到的图像，所述target参数包括c
11
、c
22
、c
12
、q
11
、q
22
、q
12
、r
11
、r
22
、r
12
；将MOM电容等效电路模型等效为π型二端口网络，以基于π型二端口网络来确定MOM电容的C
ab
、C
ap
、C
bp
、C
sub
和R
sub
对应的初始参数值；基于π型二端口网络的S参数矩阵、Y参数矩阵以及MOM电容中等效电路模型元件参数关系，对C
sub
和R
sub
对应的初始参数值进行调整；将调整后的C
sub
和R
sub
的初始参数值以及未调整的C
ab
、C
ap
、C
bp
的初始参数值作为初始参数提取值；选用C
ab
对应的初始参数提取值去拟合C
12
的低频段，分别选C
bp
、C
ap
对应的初始参数提取值去拟合图像C
11
、C
22
的低频段，选用C
sub
和R
sub
对应的初始参数提取值拟合图像C
11
、C
22
、C
12
的高频段以及Q
11
、Q
22
、Q
12
、R
11
、R
22
、R
12
的高频段，基于MOM电容模型中元件参数之间的关系，拟合图像C
11
、C
22
、C
12
、Q
11
、Q
22
、Q
12
、R
11
、R
22
、R
12
的全频段，以对C
ab
、C
ap
、C
bp
、C
sub
和R
sub
对应的初始参数提取值进行优化，以得到C
ab
、C
ap
、C
bp
、C
sub
和R
sub
对应的实际参数提取值。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述基于设定的频率和/或幅值，在MOM电容的图像C
11
、C
22
、C
12
、Q
11
、Q
22
、Q
12
、R
11
、R
22
和R
12
参与后续处理步骤，包括：对图像C
11
、C
22
、C
12
、Q
11
、Q
22
、Q
12
、R
11
、R
22
和R
12
进行坏点去除处理；对图像C
11
、C
22
、C
12
、Q
11
、Q
22
、Q
12
、R
11
、R
22
和R
12
进行平滑处理；基于设定的频率和/或幅值，在完成所述坏点去除处理和平滑处理的图像C
11
、C
22
、C
12
、Q
11
、Q
22
、Q
12
、R
11
、R
22
和R
12
参与后续处理步骤。3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述基于π型二端口网络来确定MOM电容的C
ab
、C
ap
、C
bp
、C
sub
和R
sub
对应的初始参数值，包括：基于如下公式，计算MOM电容的C
ab
、C
ap
、C
bp
、C
sub
和R
sub
对应的初始参数值：...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘晓云，李翡，朱能勇，刘强，
申请(专利权)人：成都华大九天科技有限公司，
类型：发明
国别省市：