质量分析装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种进一步提高离子的透过效率的质量分析装置。在使在离子源(101)产生的离子通过具备电极的真空室并将其朝向检测器(106)移送的质量分析装置中，真空室包括由细孔(104)连通的第一真空室(107)和第二真空室(108)，含有从离子源(101)导入到第一真空室(107)的离子的气流通过第一真空室(107)内的离子导向件(103)分离成气流(704)和离子流(703)。第一真空室(107)具备减少分离出的气流(704)与离子流(703)的混合的整流板(113)。(704)与离子流(703)的混合的整流板(113)。(704)与离子流(703)的混合的整流板(113)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】质量分析装置


[0001]本专利技术涉及质量分析装置。

技术介绍

[0002]质量分析装置是指将试样离子化，根据质量电荷比对离子进行分析的装置。通常，质量分析装置由将试样离子化的离子源、根据质量电荷比分离离子的质量分析部、以及检测通过了质量分析部的离子的量的检测部构成。
[0003]作为与分离离子和气流的离子导向件相关的技术，有美国专利第8581182号说明书(专利文献1)。在该公报中记载了如下离子导向件：离子通过DC电势越过第一离子导向件与第二离子导向件间的伪势垒而从第一离子导向件向第二离子导向件移动，由此将离子和气流分离。
[0004]此外，具有国际公开第2016/135810号小册子(专利文献2)。在该公报中记载了如下离子导向件：在两个杆电极组在长度方向上重合的区域，两个杆电极组形成单一的多极离子导向件，通过上述重合的区域中的第一杆电极组与第二杆电极组间的DC电势差，离子从第一杆电极组向第二杆电极组移动，从而分离离子和气流。
[0005]现有技术文献
[0006]专利文献
[0007]专利文献1：美国专利第8581182号说明书
[0008]专利文献2：国际公开第2016/135810号小册子

技术实现思路

[0009]专利技术所要解决的课题
[0010]然而，在现有技术中，存在离子的透过效率存在极限的课题。
[0011]作为现有技术中的具体结构例的一个，在专利文献1中记载了如下方式的例：在第一离子导向件的中心轴上配置排气口，排出通过了第一离子导向件的气流。但是，排气口的位置受限制，因此排气口的直径受限制。如果排气口的直径较小，则排气效率降低，设置有离子导向件的空间的真空度降低。若真空度低，则离子的平均自由行程变小，离子的透过效率降低。
[0012]此外，在专利文献2中记载了现有技术中的其它具体的结构例，但在专利文献2中没有关于将离子和气流分离后的气流的控制的记载。在专利文献2的结构中存在如下问题：由于气流与设置有离子导向件的真空室的壁面碰撞而产生紊流，离子和气流混合，从而离子的透过效率降低。
[0013]本专利技术是为了解决这样的课题而完成的，提供一种进一步提高离子的透过效率的质量分析装置。
[0014]用于解决课题的方案
[0015]在本专利技术的质量分析装置的一例中，含有离子的气流通过第一真空室内的离子导
向件分离成气流和离子流，第一真空室具备减少分离出的气流与离子流的混合的整流部件。
[0016]本说明书包含成为本申请优先权的基础的日本专利申请号2020
‑
038168号的公开内容。
[0017]专利技术效果
[0018]根据本专利技术的质量分析装置，离子的透过效率更高。
附图说明
[0019]图1是本专利技术的实施例1的质量分析装置的结构例。
[0020]图2是分离离子流和气流的离子导向件的结构例。
[0021]图3是表示离子导向件的伪电势的图。
[0022]图4是表示离子导向件的区域2中的DC电势的图。
[0023]图5是表示离子导向件的区域2中的伪电势与DC电势的合成电势的图。
[0024]图6是作为比较例表示没有整流板的情况下的通过离子导向件的离子流和气流的样子的图。
[0025]图7是表示射入第一真空室的离子流和气流的样子的图。
[0026]图8是表示具有整流板的情况下的通过离子导向件的离子流和气流的样子的图。
[0027]图9是本专利技术的实施例2的整流板的结构例。
[0028]图10是本专利技术的实施例3的整流板的结构例。
[0029]图11是本专利技术的实施例4的整流板的结构例。
[0030]图12是本专利技术的实施例5的分离离子流和气流的离子导向件的结构例。
[0031]图13是本专利技术的实施例6的分离离子流和气流的离子导向件的结构例。
[0032]图14是本专利技术的实施例7的分离离子流和气流的离子导向件的结构例。
[0033]图15是本专利技术的实施例8的分离离子流和气流的离子导向件的结构例。
[0034]图16是本专利技术的实施例9的分离离子流和气流的离子导向件的结构例。
具体实施方式
[0035]以下，使用附图对本专利技术的实施例进行说明。
[0036]实施例1
[0037]在本实施例中，对比较简单的实施方式进行说明。
[0038]图1是表示本实施例的质量分析装置的结构例的图。质量分析装置具备以下的结构。
[0039]‑
将测定试样离子化的离子源101
[0040]‑
供在上述离子源101生成的离子通过的细孔102
[0041]‑
供通过了上述细孔102的离子通过的离子导向件103
[0042]‑
供通过了上述离子导向件103的离子通过的细孔104
[0043]‑
对通过了上述细孔104的离子进行分析的质量分析部105
[0044]‑
对在上述质量分析部105进行了分析的离子进行检测的检测器106(检测部)
[0045]‑
配置有上述离子导向件103，且具有上述细孔102及上述细孔104的第一真空室
107
[0046]‑
配置有上述质量分析部105，且具有上述细孔104的第二真空室108
[0047]‑
对上述第一真空室107内的空气进行排气的真空泵109
[0048]‑
连接上述第一真空室107及上述真空泵109的排气口111
[0049]‑
对上述第二真空室108内的空气进行排气的真空泵110
[0050]‑
连接上述第二真空室108和上述真空泵110的排气口112
[0051]‑
配置于上述第一真空室107内的整流板113(整流部件)
[0052]在离子源101中，通过电喷雾离子化法、大气压化学离子化法、大气压光离子化法、基质辅助激光解吸离子化法等方法将测定试样离子化。
[0053]由离子源101生成的离子经由细孔102侵入第一真空室107。但是，细孔102的具体构造能够任意地设计，例如也可以是在薄的壁面开设有小的孔的细孔，也可以是在厚的壁面开设有小孔的细管这样的结构。
[0054]在第一真空室107之前，也可以具有供离子通过的电极、真空室。
[0055]中性分子、空气、微小水滴等也与离子一起经由细孔102侵入第一真空室107。为了区别，将到达细孔104的离子的流定义为离子流703，将除此以外的物质的流定义为气流704。在气流704中，不仅上述的中性分子、空气、微小水滴，还包括无法到达细孔104的离子的一部分。
[0056]在第一真空室107配置有具有分离离子流703和气流704的功能的离子导向件103。此外，第一真空室107具备整流板113。关于分离离子流703和气流704的机本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种质量分析装置，其使在离子源产生的离子通过具备电极的真空室并将其朝向检测部移送，而且，所述真空室包括通过细孔连通的第一真空室和第二真空室，含有从所述离子源导入到所述第一真空室的离子的气流通过所述第一真空室内的离子导向件而分离成气流和离子流，该质量分析装置的特征在于，所述第一真空室具备减少分离出的所述气流与所述离子流的混合的整流部件。2.根据权利要求1所述的质量分析装置，其特征在于，所述离子导向件具备第一电极组以及第二电极组，所述离子导向件具有所述第一电极组及所述第二电极组在长度方向上重合的区域，所述离子导向件生成使射入到所述第一电极组的离子在所述重合的区域从所述第一电极组向所述第二电极组移动的电势。3.根据权利要求2所述的质量分析装置，其特征在于，所述整流部件的至少一部分配置于所述第一电极组的中心轴与所述第二电极组的中心轴之间。4.根据权利要求3所述的质量分析装置，其特征在于，所述整流部件与所述第一真空室的射出侧端的壁面接触。5.根据权利要求3所...

【专利技术属性】
技术研发人员：菅原佑香，杉山益之，桥本雄一郎，安田博幸，田村陆，
申请(专利权)人：株式会社日立高新技术，
类型：发明
国别省市：