三通阀、输送系统及输送方法技术方案

本发明专利技术提供一种三通阀、输送系统及输送方法。其中，三通阀包括：机壳、至少两密封板和至少两驱动件；所述机壳内设置有通道，所述通道包括：一个总通道段和两个分通道段；所述总通道段的一端和两个分通道段的一端在所述机壳内连通；所述机壳开设有至少两第一密封开口，所述至少两第一密封开口分别与两个分通道段连通，所述至少两密封板通过相应的至少两第一密封开口与所述机壳滑移并密封连接；所述至少两驱动件分别与一个密封板固定连接，所述至少两驱动件均用于驱动相应的密封板平移，以实现相应的分通道段的导通与封闭。本发明专利技术能够延长三通阀的使用寿命。三通阀的使用寿命。三通阀的使用寿命。

【技术实现步骤摘要】
三通阀、输送系统及输送方法


[0001]本专利技术涉及半导体生产制造
，尤其涉及一种三通阀、输送系统及输送方法。

技术介绍

[0002]在半导体生产制造的过程中，通常会在一个反应仓内排出多种废气，且这些废气需要分种类进行收集。现有的通常是采用旋转式三通阀进行排气通道的切换。或者，一个供气或供液设备需要同时向多个反应仓输送同一种物料，也需要旋转式三通阀进行物质的运输，并在一个反应仓需要停止输送物料时不影响其他反应仓接收物料。
[0003]具体的是在旋转式三通阀中的一个进料通道和两个出料通道交汇的地方设置一个包含有一个通道的不锈钢球，通过转动不锈钢球的方向，使进料通道与两个出料通道中的任一个出料通道连通，或者不与其中任一个出料通道连通。
[0004]但是，如此不锈钢球在开口处与机壳的内壁摩擦较大，容易在不锈钢球与机壳接触的位置出现裂痕，从而出现漏气的现象，降低旋转式三通阀的使用寿命。

技术实现思路

[0005]为解决上述问题，本专利技术提供的三通阀、输送系统及输送方法，能够通过驱动件驱动密封板以抽插的方式在机壳内平移，实现三通阀内相应通道的导通和封闭，从而能够提高三通阀内部密封位置处抗破损的能力，进而能够延长三通阀的使用寿命。
[0006]第一方面，本专利技术提供一种三通阀，包括：机壳、至少两密封板和至少两驱动件；
[0007]所述机壳内设置有通道，所述通道包括：一个总通道段和两个分通道段；
[0008]所述总通道段的一端和两个分通道段的一端在所述机壳内连通；
[0009]所述机壳开设有至少两第一密封开口，所述至少两第一密封开口分别与两个分通道段连通，所述至少两密封板通过相应的至少两第一密封开口与所述机壳滑移并密封连接；
[0010]所述至少两驱动件分别与一个密封板固定连接，所述至少两驱动件均用于驱动相应的密封板平移，以实现相应的分通道段的导通与封闭。
[0011]可选地，所述密封板的表面涂有耐磨层。
[0012]可选地，所述耐磨层的材料包括：聚四氟乙烯。
[0013]可选地，所述密封板的材料包括：不锈钢。
[0014]可选地，所述机壳还开设有第二密封开口，所述总通道段与所述第二密封开口连通；
[0015]所述机壳在所述第二密封开口还设置有所述密封板，所述密封板通过所述第二密封开口与所述机壳滑移并密封连接；
[0016]在所述第二密封开口处的密封板固定连接有一所述驱动件；
[0017]所述驱动件还用于驱动在所述第二密封开口处的密封板平移，以实现总通道段的
导通与封闭。
[0018]可选地，所述机壳的材料包括：聚四氟乙烯和聚醚醚酮中的至少一种。
[0019]第二方面，本专利技术提供一种输送系统，包括：至少一供应端、至少两接收端、至少一如上任一项所述三通阀；
[0020]所述至少一供应端与总通道段连通，所述至少两接收端分别与两个分通道段连通。
[0021]第三方面，本专利技术提供一种输送系统，包括：至少一供应端、至少两接收端、至少两如上任一项所述三通阀；
[0022]每个所述三通阀中的两个分通道段分别为第一通道段和第二通道段；
[0023]所述至少一供应端分别与至少两三通阀中的第一通道段连通，至少两三通阀中的第二通道段相互连通；
[0024]所述至少两三通阀中的总通道段分别与一接收端连通。
[0025]可选地，所述至少一供应端分别通过一连通管与至少两三通阀中的第一通道段连通；
[0026]所述连通管固定设置有输送泵。
[0027]第四方面，本专利技术提供一种输送方法，包括：
[0028]提供至少一供应端、至少两接收端、至少两三通阀，每个所述三通阀均包括：一个总通道段和两个分通道段，每个所述三通阀中的两个分通道段分别为第一通道段和第二通道段，所述至少一供应端分别与至少两三通阀中的第一通道段连通，至少两三通阀中的第二通道段相互连通，所述至少两三通阀中的总通道段分别与一接收端连通，一个总通道段和两个分通道段均连接有一密封板和驱动件，所述驱动件与相应的密封板固定连接，所述驱动件用于驱动相应的密封板平移，以实现相应的分通道段或总通道段的导通与封闭；
[0029]在至少一供应端向至少两接收端输送物料时，控制至少两三通阀中的第二通道段所对应的密封板平移，以使第二通道段封闭，并控制第一通道段和总通道段所对应的密封板平移，以使第一通道段和总通道段导通；
[0030]在需要至少一供应端停止向至少两接收端中的任一个接收端输送物料时，控制需要停止输送物料的接收端所对应的总通道段中的密封板平移，以使需要停止输送物料的接收端所对应的总通道段封闭，并控制需要停止输送物料的接收端所对应的分通道段中的密封板和其他接收端所对应的密封板平移，以使需要停止输送物料的接收端所对应的分通道段和其他接收端对应的分通道段导通。
[0031]本专利技术实施例提供的三通阀、输送系统及输送方法，能够通过驱动件驱动密封板以抽插的方式在机壳内平移，实现三通阀内相应通道的导通和封闭，从而能够提高三通阀内部密封位置处抗破损的能力，进而能够延长三通阀的使用寿命。
附图说明
[0032]图1为本申请一实施例的三通阀的示意性剖视图；
[0033]图2为本申请一实施例的输送系统的示意性结构图；
[0034]图3为本申请一实施例的输送系统的示意性结构图。
[0035]附图标记
[0036]1、三通阀；2、机壳；21、通道；211、总通道段；212、分通道段；22、第一密封开口；23、第二密封开口；3、密封板；4、驱动件；51、供应端；52、接收端；61、晶圆反应仓；62、收集装置；71、供液装置；72、清洗仓；81、连通管；82、输送泵；83、转通管。
具体实施方式
[0037]为使本专利技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0038]第一方面，本专利技术提供一种三通阀1，结合图1，该三通阀1包括：机壳2、三个密封板3和三个驱动件4。
[0039]其中，机壳2内设置有Y型的通道21。该通道21包括：一个总通道21段和两个分通道21段。总通道21段的一端和两个分通道21段的一端在机壳2内连通；总通道21段的另一端和两个分通道21段的另一端分别露出机壳2的表面。
[0040]机壳2的表面开设有两个第一密封开口22，且两个第一密封开口22分别与两个分通道21段连通。其中，两个密封板3分别通过相应第一密封开口22与机壳2滑移，并在第一密封开口22的位置分别与机壳2密封连接。机壳2的表面还开设有一个第二密封开口23，总通道21段与第二密封开口23连通。第三个密封板3通过第二本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种三通阀，其特征在于，包括：机壳、至少两密封板和至少两驱动件；所述机壳内设置有通道，所述通道包括：一个总通道段和两个分通道段；所述总通道段的一端和两个分通道段的一端在所述机壳内连通；所述机壳开设有至少两第一密封开口，所述至少两第一密封开口分别与两个分通道段连通，所述至少两密封板通过相应的至少两第一密封开口与所述机壳滑移并密封连接；所述至少两驱动件分别与一个密封板固定连接，所述至少两驱动件均用于驱动相应的密封板平移，以实现相应的分通道段的导通与封闭。2.根据权利要求1所述的三通阀，其特征在于，所述密封板的表面涂有耐磨层。3.根据权利要求2所述的三通阀，其特征在于，所述耐磨层的材料包括：聚四氟乙烯。4.根据权利要求1所述的三通阀，其特征在于，所述密封板的材料包括：不锈钢。5.根据权利要求1至4中的任一项所述的三通阀，其特征在于，所述机壳还开设有第二密封开口，所述总通道段与所述第二密封开口连通；所述机壳在所述第二密封开口还设置有所述密封板，所述密封板通过所述第二密封开口与所述机壳滑移并密封连接；在所述第二密封开口处的密封板固定连接有一所述驱动件；所述驱动件还用于驱动在所述第二密封开口处的密封板平移，以实现总通道段的导通与封闭。6.根据权利要求1所述的三通阀，其特征在于，所述机壳的材料包括：聚四氟乙烯和聚醚醚酮中的至少一种。7.一种输送系统，其特征在于，包括：至少一供应端、至少两接收端、至少一如权利要求1至6任一项所述三通阀；所述至少一供应端与总通道段连通，所述至少两接收端分别与两个分通道段连通。8.一种输送系统，其特征在于，包括：至少一供应端、至少两接收端、至少两如权利要求1至6任...

【专利技术属性】
技术研发人员：边大一，白国斌，高建峰，王桂磊，刘金彪，丁云凌，
申请(专利权)人：真芯北京半导体有限责任公司，
类型：发明
国别省市：