【技术实现步骤摘要】
一种基板传送装置
[0001]本技术涉及机械加工设备
，具体为一种基板传送装置。
技术介绍
[0002]随着科学技术的不断发展，半导体制造技术也在不断地革新，而晶圆基板的生产则属于半导体制造技术的核心所在，然而在晶圆基板的加工过程需要不断的调整晶圆基板的位置，但是现有设备大多需要人工调整，大大降低了生产效率，甚至有时会在晶圆基板留下灰尘，使晶圆基板报废，降低良品率；而且现有设备一体性较强，每次故障时更换时间长，且更换零件多，大大增加了生产成本，因此我们需要提出一种基板传送装置。
技术实现思路
[0003]本技术的目的在于提供一种基板传送装置，能自动调整晶圆基板的位置，无需人工操作，避免了人工调整时，在晶圆基板留下灰尘，使晶圆基板报废的问题发生，且各个部件采用可拆卸结构，大大节约了维修时间，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种基板传送装置，包括旋转底座所述旋转底座上固定安装有无杆气缸，所述无杆气缸的滑座上开设有两组螺纹盲孔，两组所述螺纹盲孔内部安装...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种基板传送装置，包括旋转底座(1)，其特征在于：所述旋转底座上固定安装有无杆气缸(2)，所述无杆气缸(2)的滑座上开设有两组螺纹盲孔(3)，两组所述螺纹盲孔(3)内部安装有第一螺栓式铰接销(4)，所述第一螺栓式铰接销(4)上转动连接有主机械臂(5)，两组所述主机械臂(5)的一端分别开设有第一连接孔(6)，两组所述第一连接孔(6)内部分别插接有铰链销(7)，两组所述铰链销(7)上分别转动安装有从动机械臂(8)，所述两组从动机械臂(8)的一端转动安装有第二螺栓式铰接销(9)，所述第二螺栓式铰接销(9)的一端固定安装有基板托板(10)。2.根据权利要求1所述的一种基板传送装置，其特征在于；所述第一螺栓式铰接销(4)和第二螺栓式铰接销(9)均包括第一螺纹柱(11)，所述第一螺纹柱(11)的上端设置有固定板(12)，所述固定板(12)的上端设置有光杆(13)，所述光杆(13)的上端设置有第二螺纹柱(14)，所述第二螺纹柱(14)上端螺纹连接有限位板(15)。3.根据权利要求1所述的一种基板传送装置，其特征在于；所述旋转底座(1)的一侧开设有固定孔(16)，所述固...
【专利技术属性】
技术研发人员：张耀辉，张永兵，马奔驰，
申请(专利权)人：合肥联顿恪智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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