一种节能型激光器配件加工时效退火炉制造技术

本实用新型专利技术公开了一种节能型激光器配件加工时效退火炉，涉及激光器配件加工领域，本实用新型专利技术包括支撑机构，包括底座以及固设于底座上方的两个固定座；退火机构，其设置于两个固定座上方，包括加热炉，用于加热激光器配件；自动上料机构，其设置于底座上方，且位于加热炉一侧，自动上料机构包括上料组件以及设置于上料组件一侧的驱动组件，上料组件用于将激光器配件送入加热炉内部，驱动组件用于提供上料组件运行时所需的动力。本实用新型专利技术一种节能型激光器配件加工时效退火炉，通过气缸带动盛放盒以及盖板水平移动，在将盛放盒进入到加热炉内部的同时，也可以实现进料口的自动关闭，然后启动电加热圈对激光器配件进行加热，非常方便。便。便。

【技术实现步骤摘要】
一种节能型激光器配件加工时效退火炉


[0001]本技术涉及激光器配件加工领域，特别涉及一种节能型激光器配件加工时效退火炉。

技术介绍

[0002]退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。
[0003]在使用退火炉时，通常通过人工上料，不仅人工劳动强度大，而且存在较大的安全隐患，为此，我们提出了一种节能型激光器配件加工时效退火炉。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种节能型激光器配件加工时效退火炉，克服了现有技术的不足，通过气缸驱动盛放盒以及盖板水平移动，实现了激光器配件的自动上料以及自动密封。
[0005]为解决上述问题，本技术所采取的技术方案如下：
[0006]一种节能型激光器配件加工时效退火炉，包括
[0007]支撑机构，包括底座以及固设于底座上方的两个固定座；
[0008]退火机构，其设置于两个固定座上方，包括加热炉，用于加热激光器配件；
[0009]自动上料机构，其设置于底座上方，且位于加热炉一侧，所述自动上料机构包括上料组件以及设置于上料组件一侧的驱动组件，所述上料组件用于将激光器配件送入加热炉内部，所述驱动组件用于提供上料组件运行时所需的动力，所述上料组件主要包括盛放盒、滑轨以及与滑轨活动连接的滑块，所述滑块上方固设有支撑架，所述支撑架一侧焊接有盖板，且盖板一侧焊接有连接杆，所述驱动组件主要包括气缸以及与气缸输出端连接的驱动杆，所述底座上方焊接有安装座，所述气缸固设于安装座一侧。
[0010]进一步地，所述退火机构还包括电加热圈，所述加热炉安装于两个固定座上方，若干所述电加热圈均安装于加热炉内部，所述加热炉两侧分别安装有温度显示器以及观察窗，且观察窗为耐高温透明玻璃材料制成。
[0011]进一步地，所述上料组件还包括设置在连接杆一端的盛放盒。
[0012]进一步地，所述支撑架与滑块连接处固设有加强块，所述支撑架内部固设有横杆，所述横杆与加强块均采用硬质金属材料制成。
[0013]进一步地，所述加热炉一侧固设有进料口，所述进料口一侧安装有密封圈，所述密封圈内圈直径等于盖板直径。
[0014]进一步地，所述驱动杆另一端与滑块一侧连接。
[0015]本技术与现有技术相比较，具有以下有益效果：
[0016]本技术通过气缸驱动盛放盒以及盖板水平移动，实现了激光器配件的自动上料以及自动密封，不仅减少了人工劳动强度，而且降低了安全隐患。
[0017]本技术通过观察窗与温度显示器可以实时了解到激光器配件的加热情况，防止激光器配件加热不足或者加热过久影响激光器配件的产品质量。
[0018]本技术具有人工劳动强度低、作业安全的特点。
附图说明
[0019]图1为本技术一种节能型激光器配件加工时效退火炉的外部整体第一视角结构示意图；
[0020]图2为本技术一种节能型激光器配件加工时效退火炉的外部整体第二视角结构示意图；
[0021]图3为本技术一种节能型激光器配件加工时效退火炉的外部正视结构示意图；
[0022]图4为本技术一种节能型激光器配件加工时效退火炉的图1中A处局部结构放大示意图；
[0023]图5为本技术一种节能型激光器配件加工时效退火炉的图3中B处局部结构放大示意图。
[0024]图中：100、支撑机构；101、底座；102、固定座；200、退火机构；201、加热炉；202、电加热圈；203、进料口；204、密封圈；205、温度显示器； 206、观察窗；300、自动上料机构；301、滑轨；302、滑块；303、支撑架； 304、横杆；305、加强块；306、盖板；307、连接杆；308、盛放盒；309、安装座；310、气缸；311、驱动杆。
具体实施方式
[0025]为使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本技术。
[0026]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0027]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0028]请参照图1—5所示，本技术为一种节能型激光器配件加工时效退火炉，包括
[0029]支撑机构100，包括底座101以及固设于底座101上方的两个固定座102；
[0030]退火机构200，其设置于两个固定座102上方，包括加热炉201，用于加热激光器配件；
[0031]自动上料机构300，其设置于底座101上方，且位于加热炉201一侧，自动上料机构300包括上料组件以及设置于上料组件一侧的驱动组件，上料组件用于将激光器配件送入加热炉201内部，驱动组件用于提供上料组件运行时所需的动力，上料组件主要包括盛放盒308、滑轨301以及与滑轨301活动连接的滑块302，滑块302上方固设有支撑架303，支撑架303一侧焊接有盖板306，且盖板306一侧焊接有连接杆307，驱动组件主要包括气缸310以及与气缸310输出端连接的驱动杆311，底座101上方焊接有安装座309，气缸 310固设于安装座309一侧。
[0032]在使用本退火炉时，将激光器配件放置于盛放盒308内部，启动气缸310，气缸310推动其输出端的驱动杆311水平移动，从而带动滑块302沿着滑轨 301水平移动，将盛放盒308以及激光器配件送至加热炉201内部，当盖板 306与进料口203正好接触，实现进料口203的自动关闭，然后启动电加热圈 202，电加热圈202快速升温，可以对激光器配件快速加热，通过温度显示器 205可以实时了解加热炉201内部的温度，方便对电加热圈202进行控制，通过透明观察窗206可以观测到激光器配件表面变化，当加热完毕，通过气缸 310带动驱动杆311收缩，可以将激光器配件从加热炉201中自动取出。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种节能型激光器配件加工时效退火炉，其特征在于：包括支撑机构(100)，包括底座(101)以及固设于底座(101)上方的两个固定座(102)；退火机构(200)，其设置于两个固定座(102)上方，包括加热炉(201)，用于加热激光器配件；自动上料机构(300)，其设置于底座(101)上方，且位于加热炉(201)一侧，所述自动上料机构(300)包括上料组件以及设置于上料组件一侧的驱动组件，所述上料组件用于将激光器配件送入加热炉(201)内部，所述驱动组件用于提供上料组件运行时所需的动力，所述上料组件主要包括盛放盒(308)、滑轨(301)以及与滑轨(301)活动连接的滑块(302)，所述滑块(302)上方固设有支撑架(303)，所述支撑架(303)一侧焊接有盖板(306)，且盖板(306)一侧焊接有连接杆(307)，所述驱动组件主要包括气缸(310)以及与气缸(310)输出端连接的驱动杆(311)，所述底座(101)上方焊接有安装座(309)，所述气缸(310)固设于安装座(309)一侧。2.根据权利要求1所述的一种节能型激光器配件加工时效退火炉，其特征在于：所述退火机构(20...

【专利技术属性】
技术研发人员：张广林，
申请(专利权)人：湖北联森机电设备有限公司，
类型：新型
国别省市：