本申请提供一种塑封器件超声扫描测试装置及方法，所述装置包括：超声波扫描显微镜；容器，位于所述超声波扫描显微镜下方，内部盛有第一耦合介质，所述容器底部为柔性膜；承载组件，位于所述容器下方，用于承载塑封器件，所述塑封器件与所述柔性膜之间设有第二耦合介质层。本申请提供的塑封器件超声扫描测试装置及方法，结构简单，操作简便，提高了声扫试验的准确率，避免塑封器件受到损坏，提高了塑封器件的可靠性，也优化了声扫试验的步骤，降低了时间成本和人力成本。间成本和人力成本。间成本和人力成本。
【技术实现步骤摘要】
塑封器件超声扫描测试装置及方法
[0001]本申请涉及塑封器件检测
，尤其涉及一种塑封器件超声扫描测试装置及方法。
技术介绍
[0002]塑料封装是主要的电子封装形式之一，但是塑封器件的结构和材料特殊，常存在一些潜在缺陷，为了提高塑封器件可靠性，降低使用风险，在使用前需要对塑封器件进行检测筛选，目前塑封器件的缺陷主要通过声扫试验进行检测，声扫试验是将超声波耦合进入塑封器件，对塑封器件的内部结构进行成像检查，塑封器件一般需要被完全浸入水中，大部分塑封器件属于潮湿敏感器件，水容易进入器件内使内部金属结构受潮腐蚀，影响器件后续工作的可靠性。
技术实现思路
[0003]有鉴于此，本申请的目的在于提出一种塑封器件超声扫描测试装置及方法用以解决上述技术问题。
[0004]本申请的第一方面，提供了一种塑封器件超声扫描测试装置，包括：超声波扫描显微镜；容器，位于所述超声波扫描显微镜下方，内部盛有第一耦合介质，所述容器底部为柔性膜；承载组件，位于所述容器下方，用于承载塑封器件，所述塑封器件与所述柔性膜之间设有第二耦合介质层。
[0005]进一步地，所述承载组件包括真空吸头，所述真空吸头用于吸附所述塑封器件，下方设有第一三维驱动机构，所述第一三维驱动机构用于控制所述真空吸头移动。
[0006]进一步地，所述超声波扫描显微镜包括超声探头和第二三维驱动机构，所述第二三维驱动机构用于控制所述超声探头移动。
[0007]进一步地，所述第一耦合介质为水，所述第二耦合介质层为凝胶层、甘油层或水层，所述柔性膜为有机高分子膜。
[0008]进一步地，所述柔性膜的厚度为100
‑
600μm，面积为0.36
‑
36cm2。
[0009]本申请的第二方面，提供了一种塑封器件超声扫描测试方法，使用如上第一方面所述的塑封器件超声扫描测试装置，所述塑封器件超声扫描测试方法包括：将所述塑封器件安装在所述承载组件上；向所述塑封器件的顶面和/或所述柔性膜的底面相应位置喷洒或涂抹第二耦合介质；移动所述承载组件使所述塑封器件与所述柔性膜抵接，在所述塑封器件与所述柔性膜之间形成一层所述第二耦合介质层；启动所述超声波扫描显微镜对所述塑封器件进行超声扫描，获得声扫成像图。
[0010]进一步地，所述移动所述承载组件使所述塑封器件与所述柔性膜抵接，在所述塑封器件与所述柔性膜之间形成一层所述第二耦合介质层，包括：驱动所述第一三维驱动机构使所述塑封器件向上移动，所述塑封器件与所述柔性膜抵接，直至所述柔性膜保持平整状态，停止驱动所述第一三维驱动机构；驱动所述第一三维驱动机构使所述塑封器件水平
移动，排出所述塑封器件与所述柔性膜之间的空气，形成一层所述第二耦合介质层。
[0011]进一步地，所述启动所述超声波扫描显微镜对所述塑封器件进行超声扫描，获得声扫成像图，包括：驱动所述第二三维驱动机构使所述超声探头向下移动，浸入所述第一耦合介质内；驱动所述第二三维驱动机构使所述超声探头水平移动，对所述塑封器件进行超声扫描，获得声扫成像图。
[0012]进一步地，所述塑封器件超声扫描测试方法还包括：移动所述承载组件使所述塑封器件与所述柔性膜分离；将所述塑封器件置于烘箱内进行烘干。
[0013]进一步地，所述移动所述承载组件使所述塑封器件与所述柔性膜分离，包括：驱动所述第一三维驱动机构使所述塑封器件向下移动，所述塑封器件与所述柔性膜分离。
[0014]从上面所述可以看出，本申请提供了一种塑封器件超声扫描测试装置及方法，通过设置超声波扫描显微镜可以对塑封器件进行超声扫描；设置容器盛放第一耦合介质，超声波扫描显微镜的超声探头可以在容器中自由移动，第一耦合介质用于传递超声脉冲；容器底部为柔性膜，既可以传递超声波能量，又可以对第一耦合介质起到隔绝作用，防止第一耦合介质进入塑封器件内部造成损害，并且柔性膜与塑封器件的表面配合也更加服帖，减少空隙的产生，防止空隙内的空气对超声波传递产生干扰；设置承载组件可以固定塑封器件，使塑封器件在检测时保持稳定，承载组件还可以移动塑封器件，使塑封器件与柔性膜相抵，从而传递超声波能量；在塑封器件与柔性膜之间设置第二耦合介质层，可以填补塑封器件与柔性膜接触时的微小缝隙，能够保证超声波经过柔性膜进入塑封器件的能量耦合效率，并且降低塑封器件与柔性膜之间的摩擦力，防止柔性膜破损；该塑封器件超声扫描测试装置及方法，结构简单，操作简便，提高了声扫试验的准确率，避免塑封器件受到损坏，提高了塑封器件的可靠性，也优化了声扫试验的步骤，降低了时间成本和人力成本。
附图说明
[0015]为了更清楚地说明本申请或相关技术中的技术方案，下面将对实施例或相关技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0016]图1为塑封器件的缺陷示意图；
[0017]图2为本申请实施例的一种塑封器件超声扫描测试装置的结构示意图；
[0018]图3为本申请实施例的一种塑封器件超声扫描测试方法的流程示意图；
[0019]图4为本申请实施例的塑封器件的声扫成像图。
[0020]附图标记：1、超声波扫描显微镜；1
‑
1、超声探头；1
‑
2、第二三维驱动机构；2、容器；2
‑
1、第一耦合介质；2
‑
2、柔性膜；3、塑封器件；4、承载组件；4
‑
1、真空吸头；4
‑
2、第一三维驱动机构；5、第二耦合介质层。
具体实施方式
[0021]为使本申请的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实施例，并参照附图，对本申请进一步详细说明。
[0022]需要说明的是，除非另外定义，本申请实施例使用的技术术语或者科学术语应当
为本申请所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本申请实施例中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而是可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也可能相应地改变。
[0023]塑料封装作为主要的电子封装形式之一，近年来随着芯片设计业、制造业和封装业的发展得到了快速发展。同时，因塑封料成本低、生产工艺简单、适合大规模生产等优势，塑料封装占据了整个微电子封装97％以上的市场。
[0024]但是塑封器件的结构和材料特殊，常存在一些潜在缺陷，塑封器件的结构和缺陷形式如图1所示，图1中A为空洞，B为离本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种塑封器件超声扫描测试装置，其特征在于，包括：超声波扫描显微镜；容器，位于所述超声波扫描显微镜下方，内部盛有第一耦合介质，所述容器底部为柔性膜；承载组件，位于所述容器下方，用于承载塑封器件，所述塑封器件与所述柔性膜之间设有第二耦合介质层。2.根据权利要求1所述的塑封器件超声扫描测试装置，其特征在于，所述承载组件包括真空吸头，所述真空吸头用于吸附所述塑封器件，下方设有第一三维驱动机构，所述第一三维驱动机构用于控制所述真空吸头移动。3.根据权利要求1所述的塑封器件超声扫描测试装置，其特征在于，所述超声波扫描显微镜包括超声探头和第二三维驱动机构，所述第二三维驱动机构用于控制所述超声探头移动。4.根据权利要求1所述的塑封器件超声扫描测试装置，其特征在于，所述第一耦合介质为水，所述第二耦合介质层为凝胶层、甘油层或水层，所述柔性膜为有机高分子膜。5.根据权利要求1所述的塑封器件超声扫描测试装置，其特征在于，所述柔性膜的厚度为100
‑
600μm，面积为0.36
‑
36cm2。6.一种塑封器件超声扫描测试方法，使用如权利要求1
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5中任意一项所述的塑封器件超声扫描测试装置，其特征在于，包括：将所述塑封器件安装在所述承载组件上；向所述塑封器件的顶面和/或所述柔性膜的底面相应位置喷洒或涂抹第二耦合介质；移动所述承载组件使所述塑封器件与所述柔性膜抵接，在...
【专利技术属性】
技术研发人员：王坦，张嘉欣，岳冰，赵慧婷，李宏民，徐德刚，罗晶，李凯，
申请(专利权)人：航天科工防御技术研究试验中心，
类型：发明
国别省市：
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