一种生成搜索路径的方法、装置、终端设备以及存储介质制造方法及图纸

本申请适用于晶圆识别的技术领域，提供了一种生成搜索路径的方法、装置、终端设备以及存储介质，其方法包括确定晶圆处理区域的关键坐标点，晶圆处理区域内包含多个目标对象块；生成以关键坐标点为中心的至少一个特征点组，特征点组包括多个特征点；根据各个特征点组在晶圆处理区域中构成搜索路径，搜索路径用于获得晶圆处理区域内所有目标对象块的位置信息。本申请能够提高生产效率。本申请能够提高生产效率。本申请能够提高生产效率。

【技术实现步骤摘要】
一种生成搜索路径的方法、装置、终端设备以及存储介质


[0001]本申请属于晶圆识别的
，尤其涉及一种生成搜索路径的方法、装置、终端设备以及存储介质。

技术介绍

[0002]目前，晶圆经过加工后通常会被划分为多个芯片，这些芯片可以用于发光二极管(Light
‑
emitting diode，LED)灯板、手机和电脑等电子设备。
[0003]现有的晶圆吸取过程中，由于各种不可控的原因，譬如停线和转单，存在执行终端吸取芯片时中断的情况，使得晶圆上未被吸取的芯片分布不连续，即同一个晶圆上的多个芯片呈多区域分布；当需要在该芯片分布不连续的晶圆上继续加工时，由于执行终端的硬件限制，执行终端不能得知各个芯片的位置，所以通常只能先吸取任意一个区域的芯片，然后人工使执行终端识别到另一个区域，再吸取该区域的芯片，不断人工使执行终端识别到各个区域，直至吸取所有区域的芯片，存在生产效率低下的问题，有待进一步改进。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，本申请实施例提供了一种生成搜索路径的方法、装置、终端设备以及存储介质，以解决现有技术中生产效率低下的问题。
[0005]第一方面，本申请实施例提供了一种生成搜索路径的方法，所述方法包括：
[0006]确定晶圆处理区域的关键坐标点，所述晶圆处理区域内包含多个目标对象块；
[0007]生成以所述关键坐标点为中心的至少一个特征点组，所述特征点组包括多个特征点；
[0008]根据各个所述特征点组在所述晶圆处理区域中构成搜索路径，所述搜索路径用于获得所述晶圆处理区域内所有所述目标对象块的位置信息。
[0009]本申请实施例提供的生成搜索路径的方法，首先确定关键坐标点，然后生成至少一个特征点组，再根据特征点组生成与该晶圆处理区域强相关的搜索路径，从而确定目标对象块的位置信息，使得执行终端可以根据搜索路径得知各个目标对象块的位置，减少人工的参与度，大幅度地提高生产效率。
[0010]第二方面，本申请实施例提供了一种生成搜索路径的装置，包括：
[0011]坐标点确定模块，用于确定晶圆处理区域的关键坐标点，所述晶圆处理区域内包含多个目标对象块；
[0012]点组生成模块，用于生成以所述关键坐标点为中心的至少一个特征点组，所述特征点组包括多个特征点；
[0013]路径构成模块，用于根据各个所述特征点组在所述晶圆处理区域中构成搜索路径，以获得所述目标对象块的位置信息。
[0014]第三方面，本申请实施例提供了一种终端设备，包括存储器、处理器以及存储在所述存储器中并可在所述处理器上运行的计算机程序，所述处理器执行所述计算机程序时实
现如上述第一方面的方法的步骤。
[0015]第四方面，本申请实施例提供了一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现如上述第一方面的方法的步骤。
[0016]可以理解的是，上述第二方面至第四方面的有益效果可以参见上述第一方面中的相关描述，在此不再赘述。
附图说明
[0017]为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0018]图1是本申请一实施例提供的生成搜索路径的方法的流程示意图；
[0019]图2是本申请一实施例提供的晶圆的结构示意图；
[0020]图3是本申请一实施例提供的生成搜索路径的方法步骤S00的具体实现流程示意图；
[0021]图4是本申请一实施例提供的特征点的第一示意图；
[0022]图5是本申请一实施例提供的特征点的第二示意图；
[0023]图6是本申请一实施例提供的搜索路径的结构示意图；
[0024]图7是本申请一实施例提供的生成搜索路径的方法步骤S400的流程示意图；
[0025]图8是本申请一实施例提供的所属对象块的结构示意图；
[0026]图9是本申请一实施例提供的生成搜索路径的方法步骤S800的流程示意图；
[0027]图10是本申请一实施例提供的特征点的第三示意图；
[0028]图11是本申请一实施例提供的生成搜索路径的方法步骤S410的流程示意图；
[0029]图12是本申请一实施例提供的生成搜索路径的方法步骤S900的流程示意图；
[0030]图13是本申请一实施例提供的生成搜索路径的装置的结构示意图；
[0031]图14是本申请一实施例提供的终端设备的结构示意图。
具体实施方式
[0032]以下描述中，为了说明而不是为了限定，提出了诸如特定系统结构、技术之类的具体细节，以便透彻理解本申请实施例。然而，本领域的技术人员应当清楚，在没有这些具体细节的其它实施例中也可以实现本申请。在其它情况中，省略对众所周知的系统、装置、电路以及方法的详细说明，以免不必要的细节妨碍本申请的描述。
[0033]在本申请说明书和所附权利要求书的描述中，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0034]在本申请说明书中描述的参考“一个实施例”或“一些实施例”等意味着在本申请的一个或多个实施例中包括结合该实施例描述的特定特征、结构或特点。由此，在本说明书中的不同之处出现的语句“在一个实施例中”、“在一些实施例中”、“在其他一些实施例中”、“在另外一些实施例中”等不是必然都参考相同的实施例，而是意味着“一个或多个但不是
所有的实施例”，除非是以其他方式另外特别强调。术语“包括”、“包含”、“具有”及它们的变形都意味着“包括但不限于”，除非是以其他方式另外特别强调。
[0035]为了说明本申请所述的技术方案，下面通过具体实施例来进行说明。
[0036]请参阅图1，图1是本申请实施例提供的生成搜索路径的方法的流程示意图。本实施例中，生成搜索路径的方法的执行主体为终端设备。可以理解的是，终端设备的类型包括但不限于手机、平板电脑、笔记本电脑、超级移动个人计算机(ultra
‑
mobile personal computer，UMPC)、上网本、个人数字助理(personal digital assistant，PDA)等，本申请实施例对终端设备的具体类型不作任何限制。
[0037]如图1所示，本申请实施例提供生成搜索路径的方法包括但不限于以下步骤：
[0038]S100，确定晶圆处理区域的关键坐标点。
[0039]具体来说，晶圆经过加工后，在晶圆的加工面上会存在多个芯片，即晶圆处理区域内包含多个目标对象块，其中，该晶圆处理区域表示晶圆的加工面，该目标对象块表示芯片。
[0040]如图2所示，图2中的实心圆点表示晶圆处理区域的中心点，终端设备可以选取本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种生成搜索路径的方法，其特征在于，所述方法包括：确定晶圆处理区域的关键坐标点，所述晶圆处理区域内包含多个目标对象块；生成以所述关键坐标点为中心的至少一个特征点组，所述特征点组包括多个特征点；根据各个所述特征点组在所述晶圆处理区域中构成搜索路径，所述搜索路径用于获得所述晶圆处理区域内所有所述目标对象块的位置信息。2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述生成以所述关键坐标点为中心的至少一个特征点组中，所述方法包括：以所述关键坐标点为中心，根据预设的第N路径图形在所述晶圆处理区域上等间距生成多个第N特征点，将多个所述第N特征点作为第N特征点组，所述N为正整数，所述N的初始数值为1；若所述N的数值小于预设的点组个数，则增加N的数值，并以预设的调整步长扩大第N路径图形的覆盖范围，返回执行所述以所述关键坐标点为中心，根据预设的第N路径图形在所述晶圆处理区域上等间距生成多个第N特征点，将多个所述第N特征点作为第N特征点组的操作；若所述N的数值大于或等于所述点组个数，则执行所述根据各个所述特征点组在所述晶圆处理区域中构成搜索路径的操作；相应地，所述根据各个所述特征点组在所述晶圆处理区域中构成搜索路径，包括：以所述第N特征点组的组别正序依次连接各个所述第N特征点组内的所述第N特征点，构成所述搜索路径；或以所述第N特征点组的组别逆序依次连接各个所述第N特征点组内的所述第N特征点，构成所述搜索路径。3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述根据各个所述特征点组在所述晶圆处理区域中构成搜索路径之后，所述方法还包括，选取任意一个位于所述目标对象块内的特征点作为第一特征点，所述第一特征点所在的所述目标对象块为所述第一特征点的所属对象块；搜索所述第一特征点的周边范围内是否存在至少一个除所述所属对象块外的其他目标对象块，所述周边范围是以所述第一特征点为中心，预设的距离值为半径构成的区域；若所述第一特征点的周边范围内不存在所述其他目标对象块，则选取另一个位于所述目标对象块内的特征点作为第一特征点；若所述第一特征点的周边范围内存在至少一个所述其他目标对象块，则分别搜索各个所述其他目标对象块内是否存在所述特征点；若任意一个所述其他目标对象块内不存在所述特征点，则在所述其他目标对象块内添加第二特征点，直至各个所述其他目标对象块内均存在所述第二特征点或所述第一特征点；...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭奇，周赞，
申请(专利权)人：深圳新益昌科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：