一种镀膜载物台制造技术

本发明专利技术涉及一种镀膜载物台，包括转动安装的转轴，转轴延伸至镀膜腔室内的端部设置用于撑托待镀膜工件的载物台，载物台上设置有用于加热待镀膜工件的加热组件。本发明专利技术提供的上述方案，能够直接对被镀膜工件进行加热，可以实现对被镀膜工件温度的精确控制。现对被镀膜工件温度的精确控制。现对被镀膜工件温度的精确控制。

【技术实现步骤摘要】
一种镀膜载物台


[0001]本专利技术涉及真空镀膜设备领域，具体涉及一种镀膜载物台。

技术介绍

[0002]磁控溅射设备作为一种真空镀膜设备，可以制备高性能的金属涂层、非金属图层以及其他外观装饰膜层，制备的膜层具备均匀性好、致密性好、耐腐蚀等诸多优点，可广泛应用于军工和民用的多个领域，具体行业包括航空航天、半导体行业、纺织业、交通运输业、制造业等等。磁控溅射设备是通过氩离子去轰击靶材表面，将靶材材料溅射出来，使其附着在被镀膜工件表面；同时通过对工件施加负偏压，来增加离子的能量，使其更好的附着在工件表面，从而增加膜层的结合力。镀膜的过程中，温度的控制对膜层的性能也至关重要。传统的溅射镀膜设备需通过多个模块分别来实现载物台的加偏压、加热、旋转、升降。而加热也仅仅只是对腔体内部空间环境进行加热，加热时间过长，并且也无法精确把控镀膜工件的真实温度，导致整个镀膜过程，工件的真实温度得不到精确控制，从而影响整个膜层的性能，严重会导致产品报废。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的是提供一种真空镀膜载物台，其可以用于解决上述技术问题。
[0004]本专利技术采取的技术方案具体如下：一种镀膜载物台，其特征在于：包括转动安装的转轴，转轴延伸至镀膜腔室内的端部设置用于撑托待镀膜工件的载物台，载物台上设置有用于加热待镀膜工件的加热组件。
[0005]进一步的方案为：转轴沿其长度方向升降式装配，转轴与调节其进行升降的升降调节组件相连接。
[0006]转轴与偏压组件相连接。
[0007]转轴延伸至镀膜腔室外的端部与升降调节组件和/或偏压组件相连接。
[0008]加热组件包括载物台下侧设置的加热盘，加热盘的下表面上设置有内导电环和外导电环，内导电环的下端延伸至外导电环的下端下侧，内、外导电环和转轴同心布置，内、外导电环分别与加热电源的正、负端电连接。
[0009]还包括A、B接电件，A、B接电件通过A、B绝缘件固定安装在镀膜腔室上，A接电件位于B接电件的上侧，载物台旋转、升降过程中A接电件和外导电环外壁面之间通过A电刷组件进行电连接，载物台旋转、升降过程中B接电件和内导电环外壁面之间通过B电刷组件进行电连接，A、B接电件分别与加热电源的正、负端电连接。
[0010]载物台包括载物台本体和载物台本体上设置的托盘，载物台的下表面上设置用于安装加热盘的环形槽，加热盘为陶瓷加热盘。
[0011]镀膜腔室包括底板，底板的下侧设置有升降座，升降座升降式安装在底板上，底板上设置有通孔，转轴通过轴承组件和绝缘件转动安装在升降座上，转轴的上端穿过通孔延伸至镀膜腔室内，转轴的轴身和通孔的孔壁呈分离状，升降座和底板之间的转轴轴身上套
设有可进行伸缩的密封管，密封管的两端分别与底板、升降座固定连接，转轴延伸至升降座下侧的端部与偏压组件和/或转动调节件相连接。
[0012]偏压组件包括C接电件，C接电件通过C绝缘件固定安装在升降座上，C接电件和转轴的外表面之间通过C电刷组件进行电连接，C接电件与偏压电源相连接。
[0013]转轴的下端端部设置有驱动轮，驱动轮通过传动带与升降座上设置的驱动电机相连接，升降调节组件包括各个升降调节气缸，升降调节气缸的缸体部和升降座固定装配，升降调节气缸的活塞杆与底板固定连接，密封管为波纹管。
[0014]本专利技术提供的上述方案，能够直接对被镀膜工件进行加热，可以实现对被镀膜工件温度的精确控制。
附图说明
[0015]图1为本专利技术的剖视结构示意图。
[0016]图2为载物台和加热组件的装配结构示意图。
[0017]图3为转轴的结构示意图。
[0018]图4为升降调节组件的结构示意图。
[0019]附图标号和部件对应关系如下。
[0020]00
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工件、10
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转轴、11
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驱动轮、12
‑
绝缘件、13
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C导电件、14
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密封管、20
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升降座、21
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升降调节气缸、30
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底板、41
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载物台本体、42
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托盘、50
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加热盘、51
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外导电环、52
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内导电环、53
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A导电件、54
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B导电件、55
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A绝缘件、56
‑
B绝缘件。
具体实施方式
[0021]为了使本专利技术的目的及优点更加清楚明白，以下结合实施例对本专利技术进行具体说明。应当理解，以下文字仅仅用以描述本专利技术的一种或几种具体的实施方式，并不对本专利技术具体请求的保护范围进行严格限定。如在本文中所使用，术语“平行”和“垂直”不限于其严格的几何定义，而是包括对于机加工或人类误差合理和不一致性的容限。
[0022]如图1～4所示，一种镀膜载物台，包括转动安装的转轴10，转轴10延伸至镀膜腔室内的端部设置用于撑托待镀膜工件00的载物台，载物台上设置有用于加热待镀膜工件00的加热组件。转轴10沿其长度方向升降式装配，转轴10与调节其进行升降的升降调节组件相连接。转轴10与偏压组件相连接。本专利技术提供的上述方案，能够直接对被镀膜工件00进行加热，可以实现对被镀膜工件00温度的精确控制。并且将载物台的加偏压、加热、旋转、升降集成为一体式结构，结构更加紧凑，功能也更加多样性。
[0023]详细的操作为，如图2所示，加热组件包括载物台下侧设置的加热盘50，加热盘50的下表面上设置有内导电环52和外导电环51，内导电环52的下端延伸至外导电环51的下端下侧，内、外导电环52、51和转轴10同心布置，内、外导电环52、51分别与加热电源的正、负端电连接。还包括A、B接电件53、54，A、B接电件53、54通过A、B绝缘件55、56固定安装在镀膜腔室上，A接电件53位于B接电件54的上侧，载物台旋转、升降过程中A接电件53和外导电环51外壁面之间通过A电刷组件进行电连接，载物台旋转、升降过程中B接电件54和内导电环52外壁面之间通过B电刷组件进行电连接，A、B接电件53、54分别与加热电源的正、负端电连接。内、外导电环52、51具体的可以为铜导电环，A、B电刷组件具体的可以为碳刷导电组件，B
接电件54的内径小于A接电件53的内径，从满足转动、升降时的导电需求，保证供电的可靠性。A、B接电件53、54之间的间距根据转轴10升降高度的范围进行选择。A、B、C接电件具体可以为铜环构成，加热电源具体为220V电源。
[0024]载物台包括载物台本体41和载物台本体41上设置的托盘42，具体操作时，载物台本体41和托盘42都为紫铜材料，并且载物台本体41和托盘42直接面接触，从而实现导电。载物台的下表面上设置用于安装加热盘50的环形槽，加热盘50为陶瓷加热盘50。转轴10具体可以为磁流体旋转轴10。转轴10延伸至镀膜腔室外的端本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种镀膜载物台，其特征在于：包括转动安装的转轴，转轴延伸至镀膜腔室内的端部设置用于撑托待镀膜工件的载物台，载物台上设置有用于加热待镀膜工件的加热组件。2.根据权利要求1所述的镀膜载物台，其特征在于：转轴沿其长度方向升降式装配，转轴与调节其进行升降的升降调节组件相连接。3.根据权利要求1或2所述的镀膜载物台，其特征在于：转轴与偏压组件相连接。4.根据权利要求3所述的镀膜载物台，其特征在于：转轴延伸至镀膜腔室外的端部与升降调节组件和/或偏压组件相连接。5.根据权利要求1所述的镀膜载物台，其特征在于：加热组件包括载物台下侧设置的加热盘，加热盘的下表面上设置有内导电环和外导电环，内导电环的下端延伸至外导电环的下端下侧，内、外导电环和转轴同心布置，内、外导电环分别与加热电源的正、负端电连接。6.根据权利要求2所述的镀膜载物台，其特征在于：还包括A、B接电件，A、B接电件通过A、B绝缘件固定安装在镀膜腔室上，A接电件位于B接电件的上侧，A接电件和外导电环外壁面之间通过A电刷组件进行电连接， B接电件和内导电环外壁面之间通过B电刷组件进行电连接，A、B接电件分别与加热电源的正、负端电连接。7.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：张心凤，夏正卫，刘洋，
申请(专利权)人：安徽纯源镀膜科技有限公司，
类型：发明
国别省市：