本实用新型专利技术涉及一种应用于移栽装置中的动力机构，其中，包括两组相对而设的传动模块，各传动模块包括同轴设置的电机组件、电机安装座、连接轴套、轴承及内磁极，其中：电机组件固定于电机安装座的电机安装部上；连接轴套与电机组件的传动轴相连接，轴承设于连接轴套与电机安装座中的轴套连接部之间；内磁极与连接轴套相连接。采用该结构的应用于移栽装置中的动力机构可使得内磁极的重力通过连接轴套及轴承落在电机安装座上，而电机组件的传动轴不受轴向的拉力和压力，有效保障电机组件在工作中不受轴向载荷，有效减少磨损，保障精度，延长寿命。命。命。
【技术实现步骤摘要】
应用于移栽装置中的动力机构
[0001]本技术涉及机械
，尤其涉及一种应用于移栽装置中的动力机构。
技术介绍
[0002]在半导体部件生产制造过程中一般需要采用气相沉积法进行加工生产，现有技术中通常采用化学气相沉积设备(CVD)与物理气相沉积设备(PVD)执行气相沉积法相加工。化学气相沉积设备(CVD)与物理气相沉积设备(PVD)内部均设有移栽装置来执行对待加工部件的固定操作。
[0003]该移栽装置的外部结构可参阅图1所示，内部结构可参阅图2所示，结合图1和图2可以看出，现有技术中的移栽装置包括两个机械臂，工作原理为：电机连接内磁极旋转，外磁极跟转，从而使机械臂做伸缩或者旋转运动。
[0004]从图2可以看出现有技术中的移栽装置中的动力机构由步进电机11、上电机安装座12、上电机安板13、robot安装座14(即机械臂安装座)、上外磁极15、下外磁极16、上内磁极17、下内磁极18、磁极连接座19、下电机安装座110及下电机安板111等部件组成，通过该结构可有效实现对机械臂的控制，但由于内磁极直接安装在磁极连接座上，磁极连接座抱紧在步进电机输出轴上，内磁极的重力全部落在了步进电机的输出轴上，故使得步进电机受到轴向的拉力和压力，从而导致对电机本身造成损伤，降低电机的寿命，影响电机的精度。
技术实现思路
[0005]本技术的目的是克服了上述现有技术中的缺点，提供了一种有效减少磨损、性能好、使用寿命长、确保移栽装置工作精度的应用于移栽装置中的动力机构。
[0006]为了实现上述的目的，本技术的应用于移栽装置中的动力机构如下：
[0007]该应用于移栽装置中的动力机构，其主要特点是，包括两组同轴相对而设的传动模块，各所述传动模块包括同轴设置的电机组件、电机安装座、连接轴套、轴承及内磁极，其中：
[0008]所述电机组件固定于所述电机安装座的电机安装部上；
[0009]所述连接轴套与所述电机组件的传动轴相连接，所述轴承设于所述连接轴套与所述电机安装座中的轴套连接部之间；
[0010]所述内磁极套与所述连接轴套相连接。
[0011]上述的应用于移栽装置中的动力机构，其中，所述连接轴套中距离所述电机安装部较近的一端的外侧壁上设有第一卡簧槽，所述第一卡簧槽内嵌设有轴用卡簧，且所述轴用卡簧与所述轴承相抵触。
[0012]上述的应用于移栽装置中的动力机构，其中，所述电机安装座上还设有凸环，且所述凸环位于所述电机安装座中与所述轴用卡簧相对的位置，并且所述凸环与所述轴承相抵触。
[0013]上述的应用于移栽装置中的动力机构，其中，所述电机安装座的轴套连接部中远离所述电机安装部的一端设有第二卡簧槽，所述第二卡簧槽内嵌设有孔用卡簧，且所述孔用卡簧与所述轴承相抵触。
[0014]上述的应用于移栽装置中的动力机构，其中，所述连接轴套中距离所述电机安装部较远的一端设有轴肩，且所述轴肩位于所述连接轴套中与所述孔用卡簧相对的位置，且所述轴肩与所述轴承相抵触。
[0015]上述的应用于移栽装置中的动力机构，其中，所述轴承由角接触轴承构成。
[0016]上述的应用于移栽装置中的动力机构，其中，所述电机组件包括伺服电机和减速机，所述伺服电机通过所述减速机固定于所述电机安装部上，且所述伺服电机与所述减速机传动连接，并由所述减速机的输出轴构成所述电机组件的传动轴。
[0017]上述的应用于移栽装置中的动力机构，其中，所述动力机构还包括机械臂安装座，两组所述传动模块中的电机安装座、连接轴套、轴承及内磁极均设于所述机械臂安装座的内侧。
[0018]上述的应用于移栽装置中的动力机构，其中，所述动力机构还包括两组外磁极，两组所述外磁极均设于所述机械臂安装座的外侧，且两组所述外磁极分别设于与两组所述内磁极对应的位置。
[0019]上述的应用于移栽装置中的动力机构，其中，所述动力机构可设于化学气相沉积设备或物理气相沉积设备的移栽装置中。
[0020]本技术的应用于移栽装置中的动力机构的有益效果：
[0021]采用该应用于移栽装置中的动力机构，令电机组件中的传动轴与连接轴套相连接，并使得连接轴套通过轴承与电机安装座中的轴套连接部相连接，而内磁极套固定于所述连接轴套上，这样的结构使得内磁极的重力通过连接轴套及轴承落在电机安装座上，而电机组件的传动轴不受轴向的拉力和压力，从而有效保障电机组件在工作中不受轴向载荷，进而有效减少磨损，保障移栽装置的精度，延长移栽装置的寿命。
附图说明
[0022]以下将结合附图对本技术的构思、具体结构及产生的技术效果作进一步说明，以充分地了解本技术的目的、特征和效果。
[0023]图1是现有技术中的移栽装置的结构示意图。
[0024]图2是现有技术中的移栽装置内的动力机构的剖面图。
[0025]图3是一实施例中本技术的应用于移栽装置中的动力机构的剖面图。
[0026]附图标记
[0027]11
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步进电机
[0028]12
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上电机安装座
[0029]13
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上电机安板
[0030]14
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robot安装座
[0031]15
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上外磁极
[0032]16
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下外磁极
[0033]17
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上内磁极
[0034]18
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下内磁极
[0035]19
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磁极连接座
[0036]110
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下电机安装座
[0037]111
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下电机安板
[0038]21
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伺服电机
[0039]22
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减速机
[0040]221
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输出轴
[0041]23
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上电机安装座
[0042]231
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上电机安装部231
[0043]232
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上轴套连接部
[0044]233
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第一凸环
[0045]24
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下电机安装座
[0046]241
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下电机安装部
[0047]242
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下轴套连接部
[0048]243
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第二凸环
[0049]25
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上连接轴套
[0050]251
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第一轴肩
[0051]26
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下连接轴套
[0052]261
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第二轴肩
[0053]27
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种应用于移栽装置中的动力机构，其特征在于，包括两组同轴相对而设的传动模块，各所述传动模块包括同轴设置的电机组件、电机安装座、连接轴套、轴承及内磁极，其中：所述电机组件固定于所述电机安装座的电机安装部上；所述连接轴套与所述电机组件的传动轴相连接，所述轴承设于所述连接轴套与所述电机安装座中的轴套连接部之间；所述内磁极与所述连接轴套相连接。2.根据权利要求1所述的应用于移栽装置中的动力机构，其特征在于，所述连接轴套中距离所述电机安装部较近的一端的外侧壁上设有第一卡簧槽，所述第一卡簧槽内嵌设有轴用卡簧，且所述轴用卡簧与所述轴承相抵触。3.根据权利要求2所述的应用于移栽装置中的动力机构，其特征在于，所述电机安装座上还设有凸环，且所述凸环位于所述电机安装座中与所述轴用卡簧相对的位置，并且所述凸环与所述轴承相抵触。4.根据权利要求1所述的应用于移栽装置中的动力机构，其特征在于，所述电机安装座的轴套连接部中远离所述电机安装部的一端设有第二卡簧槽，所述第二卡簧槽内嵌设有孔用卡簧，且所述孔用卡簧与所述轴承相抵触。5.根据权利要求4所述的应用于移栽装置中的动力机构，其特征在...
【专利技术属性】
技术研发人员：禅明，黄善发，臧宇，
申请(专利权)人：盛吉盛半导体科技无锡有限公司，
类型：新型
国别省市：
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