本申请公开了一种真空用小口径视窗密封装置，涉及真空设备用视窗技术领域，其包括设置在真空反应室侧壁上的视窗法兰以及安装于视窗法兰上的视窗玻璃和压盖，所述压盖套设并螺纹连接于视窗法兰上，所述视窗玻璃位于连接筒与压盖之间，且所述视窗法兰上贯穿开设有可视窗口，所述压盖上贯穿开设有适于与可视窗口相连通的观察孔，所述视窗法兰和压盖之间设有用于对视窗玻璃两侧进行密封的密封组件；本申请通过压盖、视窗玻璃、视窗法兰和密封组件配合，能够较为有效的对真空设备/反应室的窗口处进行密封，且视窗密封性能不易受安装情况影响，视窗密封性较好。视窗密封性较好。视窗密封性较好。
【技术实现步骤摘要】
一种真空用小口径视窗密封装置
[0001]本申请涉及真空设备用视窗
，尤其是涉及一种真空用小口径视窗密封装置。
技术介绍
[0002]真空设备是指用于粉体和胶体等含气量较高物体的脱气、具有脱气速率快和自动化程度高等特点的机器设备，真空设备一般包括真空罩、真空泵、气动升降系统及控制系统等部分组成，为了便于查看真空设备内部的脱气情况，一般会在真空设备的箱体/反应室上加上视窗。
[0003]申请号为201920929183.3的一篇中国技术专利文献公开了一种真空反应室上的可视窗结构，其包括设置在真空反应室侧壁上的窗口、设置在窗口外侧的凹槽、设置在凹槽内且位于窗口外圈的密封槽、设置在密封槽内的橡胶密封圈、部分可置于凹槽内的框架、焊接或粘接在框架内的石英玻璃；所述框架的外侧四周设置有连接边；所述连接边通过多颗螺栓固定在真空反应室侧壁上；该技术通过将石英玻璃直接安装在框架内，能够较为方便的对石英玻璃和框架进行整体拆装。
[0004]针对上述中的相关技术，上述可视窗结构在实际使用的过程中，可视窗结构的密封性受螺栓安装情况影响较大，当螺栓安装发生歪斜时，石英玻璃与框架易发生歪斜，影响视窗密封性能，进而影响真空设备的工作/生产效率。
技术实现思路
[0005]为了提高视窗密封性能，本申请提供一种真空用小口径视窗密封装置。
[0006]本申请提供的一种真空用小口径视窗密封装置采用如下的技术方案：
[0007]一种真空用小口径视窗密封装置，包括设置在真空反应室侧壁上的视窗法兰以及安装于视窗法兰上的视窗玻璃和压盖，所述压盖套设并螺纹连接于视窗法兰上，所述视窗玻璃位于视窗法兰与压盖之间，且所述视窗法兰上贯穿开设有可视窗口，所述压盖上贯穿开设有适于与可视窗口相连通的观察孔，所述视窗法兰和压盖之间设有用于对视窗玻璃两侧进行密封的密封组件。
[0008]通过采用上述技术方案，压盖和视窗法兰之间采用螺纹连接方式进行安装固定，视窗玻璃夹持于压盖和视窗法兰之间，并通过密封组件对视窗玻璃和视窗法兰之间的间隙以及视窗玻璃和压盖之间的间隙进行密封，视窗玻璃、压盖和视窗法兰在安装固定过程中不易发生相对歪斜，安装过程也较为方便，视窗密封性能不易受安装情况影响，有利于提高视窗的密封性，对于真空设备/反应室进行较好的密封。
[0009]可选的，所述视窗法兰包括同轴布设并一体连接的连接筒和连接环，所述连接环位于连接筒一端；所述密封组件包括视窗压块、上密封圈和下密封圈，所述视窗压块和上密封圈位于压盖与视窗玻璃之间，所述上密封圈位于视窗压块与视窗玻璃之间，且所述视窗压块远离视窗玻璃的一侧表面为光滑面；所述下密封圈位于连接筒与视窗玻璃之间，所述
上密封圈和下密封圈靠近视窗玻璃的一侧均适于与视窗玻璃抵接。
[0010]通过采用上述技术方案，视窗压块与压盖之间的滑动性较佳，在转动拧紧压盖的过程中，视窗压块相对压盖转动，能够避免压盖直接作用在上密封圈上，对密封圈造成扭扯损坏，工作人员能够向压盖施加较大的压力，配合上密封圈和下密封圈，对视窗玻璃、压盖和连接筒实现更好的密封。
[0011]可选的，所述视窗玻璃两侧表面均凸出设有挡沿。
[0012]通过采用上述技术方案，当所述压盖套设于连接筒上时，视窗玻璃与视窗压块之间的挡沿能对上密封圈进一步进行隔挡，视窗玻璃与连接筒之间的挡沿能够对下密封圈进一步进行隔挡，使上密封圈和下密封圈能够对视窗玻璃与视窗压块之间的间隙以及视窗玻璃与连接筒之间的间隙进行更好的封堵，增强视窗密封装置的密封性。
[0013]可选的，所述视窗压块靠近视窗玻璃的一侧开设有上嵌槽，所述上密封圈适于放置于上嵌槽内；所述连接筒靠近视窗玻璃的一侧开设有下嵌槽，所述下密封圈适于放置于下嵌槽内。
[0014]通过采用上述技术方案，一方面，上嵌槽和下嵌槽的布设能够减小上密封圈和下密封圈在安装过程中的位置偏移，为工作人员对上密封圈和下密封圈的安装提供便利；另一方面，上嵌槽和下嵌槽的布设能够进一步增加上密封圈与视窗压块和视窗玻璃之间的接触面积以及下密封圈与连接筒和视窗玻璃之间的接触面积，增强视窗密封装置的密封性。
[0015]可选的，所述视窗压块呈圆环形，所述视窗压块、压盖、连接筒和连接环均同轴布设且内径大小相同。
[0016]通过采用上述技术方案，视窗压块、压盖、连接筒与连接环的内周壁上不存在凸出隔挡，便于工作人员透过可视窗口和观察孔对真空设备内部进行观察。
[0017]可选的，所述视窗压块外周壁上设有密封胶条，所述密封胶条靠近压盖的一侧适于与压盖抵接。
[0018]通过采用上述技术方案，密封胶条能够对视窗压块与压盖之间的缝隙进一步进行封堵，进而增强视窗密封装置整体的密封性。
[0019]可选的，所述视窗压块外周壁上开设有胶槽，所述密封胶条填充于胶槽内。
[0020]通过采用上述技术方案，胶槽能够对密封胶条进行较好的容纳，减小密封胶条在压盖相对视窗压块转动的过程中对压盖的阻力。
[0021]可选的，所述密封胶条和胶槽设有多组，多组密封胶条和胶槽绕视窗压块轴线呈环形阵列分布。
[0022]通过采用上述技术方案，多组密封胶条和胶槽相配合，视窗压块和压盖之间的粘接强度更大，视窗密封装置整体密封性更佳。
[0023]综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：
[0024]1.通过压盖、视窗玻璃、视窗法兰和密封组件配合，能够较为有效的对真空设备/反应室的窗口处进行密封，且视窗密封性能不易受安装情况影响，视窗密封性较好；
[0025]2.通过视窗压块、上密封圈和下密封圈配合，工作人员能够向压盖施加更大的压力对压盖、视窗压块、上密封圈、下密封圈和视窗玻璃进行固定，于视窗玻璃两侧对视窗玻璃进行更为紧密的密封，增强了视窗密封装置的密封效果；
[0026]3.通过设置密封胶条和胶槽，能够进一步增强视窗密封装置整体的密封性。
附图说明
[0027]图1是本申请实施例的整体结构示意图。
[0028]图2是沿图1中A
‑
A线的剖视结构示意图。
[0029]图3是视窗压块沿其轴线方向的俯视图。
[0030]附图标记：1、视窗法兰；11、连接筒；111、下嵌槽；12、连接环；13、可视窗口；2、视窗玻璃；21、挡沿；3、压盖；31、观察孔；32、注胶孔；4、密封组件；41、视窗压块；411、上嵌槽；412、胶槽；413、密封胶条；42、上密封圈；43、下密封圈；5、密封垫。
具体实施方式
[0031]以下结合附图1
‑
3对本申请作进一步详细说明。
[0032]本申请实施例公开一种真空用小口径视窗密封装置，涉及真空设备用视窗
[0033]参照图1和图2，一种真空用小口径视窗密封装置包括设置在真空反应室上的视窗法兰1以及安装于视窗法兰1上的视窗玻璃2和压盖3，视窗玻璃2位于视窗法兰1与压盖3之间，且视窗玻璃2和本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种真空用小口径视窗密封装置，包括设置在真空反应室侧壁上的视窗法兰（1）以及安装于视窗法兰（1）上的视窗玻璃（2）和压盖（3），其特征在于：所述压盖（3）套设并螺纹连接于视窗法兰（1）上，所述视窗玻璃（2）位于视窗法兰（1）与压盖（3）之间，且所述视窗法兰（1）上贯穿开设有可视窗口（13），所述压盖（3）上贯穿开设有适于与可视窗口（13）相连通的观察孔（31），所述视窗法兰（1）和压盖（3）之间设有用于对视窗玻璃（2）两侧进行密封的密封组件（4）。2.根据权利要求1所述的一种真空用小口径视窗密封装置，其特征在于：所述视窗法兰（1）包括同轴布设并一体连接的连接筒（11）和连接环（12），所述连接环（12）位于连接筒（11）一端；所述密封组件（4）包括视窗压块（41）、上密封圈（42）和下密封圈（43），所述视窗压块（41）和上密封圈（42）位于压盖（3）与视窗玻璃（2）之间，所述上密封圈（42）位于视窗压块（41）与视窗玻璃（2）之间，所述下密封圈（43）位于连接筒（11）与视窗玻璃（2）之间，且所述视窗压块（41）远离视窗玻璃（2）的一侧表面为光滑面。3.根据权利要求2所述的一种真空用小口径视窗密封装置，其特征在于：所述视窗玻璃（2）两侧表面均凸出设...
【专利技术属性】
技术研发人员：曹超，胡荣朝，戈松雨，罗有利，许治伟，解修军，
申请(专利权)人：上海润理真空技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。