一种高纯液化气体用集中控制输送装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种高纯液化气体用集中控制输送装置，包括装置本体、吹扫机、通气管道、输送管道、钢瓶、过滤器和蒸发器，所述装置本体、吹扫机、通气管道、输送管道、钢瓶、过滤器和蒸发器均设于装置本体内部，所述吹扫机以通气管道与输送管道相连通，所述钢瓶、过滤器、蒸发器之间分别以输送管道相连。所述集中控制输送装置还包括气路传动机构、滤网清理机构、杂质处理机构、阀门机构和检漏机构，所述气路传动机构与通气管道相装配，所述杂质处理机构与蒸发器相装配，所述滤网清理机构与过滤器相装配，所述阀门机构装配于钢瓶的出口端，所述检漏机构的一端与阀门机构以管道相连，检漏机构的另一端与输送管道相连。的另一端与输送管道相连。的另一端与输送管道相连。

【技术实现步骤摘要】
一种高纯液化气体用集中控制输送装置


[0001]本专利技术涉及高纯液化气体用相关设备
，具体为一种高纯液化气体用集中控制输送装置。

技术介绍

[0002]由于微电子半导体制程日趋复杂化，其使用的制程特气皆具有相当的危险性，特气供应系统设备都需要根据实际需求进行特殊定制，为此特气专用的控制输送装置应运而生。这种控制输送装置可满足各种高纯行业，如微电子、半导体、医药等生产要求二设计的，具有高性能和高纯度的特点。通常控制输送装置会设有两路工艺气体，只有一路输送管线，采用“交叉”送气的方式，当一路工艺气体钢瓶瓶空时，另一路工艺气体可以切换到“在线”模式；当切换完成后，空瓶的管线将进行吹扫。
[0003]本专利技术提供一种高纯液化气体用集中控制输送装置，可自动应对气体输送过程中发生的气体泄漏状况，实时监控和输送高纯有毒气体，避免对人身造成不必要的危害；另外，本专利技术把吹扫切换钢瓶过程作为驱动力，对于输送过程中产生的杂质进行清理作用，以此保证气体的高性能和高纯度。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种高纯液化气体用集中控制输送装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为了解决上述技术问题，本专利技术提供如下技术方案：一种高纯液化气体用集中控制输送装置，包括装置本体、吹扫机、通气管道、输送管道、钢瓶、过滤器和蒸发器。吹扫机、通气管道、输送管道、钢瓶、过滤器和蒸发器均设于装置本体内部。吹扫机以通气管道与输送管道相连通，钢瓶、过滤器、蒸发器之间分别以输送管道相连。当一路气体钢瓶瓶空时，需切换另一路气体钢瓶，当切换完成后，吹扫机通过通气管道对空瓶钢瓶的输送管道进行吹扫作用。
[0006]进一步的，所述集中控制输送装置还包括气路传动机构、滤网清理机构、杂质处理机构、阀门机构和检漏机构。气路传动机构与通气管道相装配，设置的目的在于吹扫机利用氮气对输送管道实现吹扫作用的过程，将氮气的流动态转化为驱动力并传动至其他机构，从而实现作用。杂质处理机构与蒸发器相装配，设置的目的在于将蒸发器侧壁上残留以及底部液相杂质一并清除且收集处理，以此保证气体的高性能和高纯度。滤网清理机构与过滤器相装配，设置的目的在于过滤器整体作用，达到杂质清理的目的，从而保证气体的高纯度。阀门机构装配于钢瓶的出口端，起到控制钢瓶连通与否的作用，利于实现液化气体的输送。检漏机构的一端与阀门机构以连通管道相连，检漏机构的另一端与输送管道相连，设置的目的在于：一是起到连通钢瓶与输送管道的作用；二是可自动应对气体输送过程中发生的气体泄漏状况，实时监控和输送高纯有毒气体，避免对人身造成不必要的危害。
[0007]进一步的，所述气路传动机构包括支架、旋转叶片、主动蜗轮、蜗杆、被动蜗轮、传
动齿轮和传动齿带。支架以竖直均匀排布于通气管道内部，支架的两端分别与通气管道的内侧壁固定连接。旋转叶片转接于支架的一侧，主动蜗轮设于旋转叶片背靠近支架的一侧，蜗杆以水平方向设置并与主动蜗轮传动相接，蜗杆的两端分别穿过通气管道并向外延伸，被动蜗轮、传动齿轮分别转接于装置本体的侧壁上并以传动齿带相连，被动蜗轮设于蜗杆的两端并与蜗杆传动相接。
[0008]进一步的，所述滤网清理机构包括导轨、滑块、底架、缓冲弹簧、第一传动轮、丝杆和凸轮。导轨以竖直且平行设于装置本体的侧壁上，过滤器的一侧对称设有滑块，滑块与导轨滑动相连。底架垂直并设于导轨的两端，缓冲弹簧的一端与滑块远离过滤器的一端相连，缓冲弹簧的另一端与底架相连。缓冲弹簧设置的目的在于过滤器的运动进程中起到缓冲减震的作用，实现作用的同时，避免对过滤器的内部工件造成意外损坏。第一传动轮、凸轮分别转接于装置本体的侧壁上，第一传动轮与传动齿轮啮合相接。丝杆的一端与第一传动轮固定相连，丝杆的另一端穿过底架并向过滤器方向延伸。凸轮设于过滤器的底端并与丝杆传动相接，凸轮的作用端与过滤器相抵触。根据凸轮的运动轨迹，凸轮的作用端与过滤器实现间接抵触，从而实现过滤器整体的往复运动，达到抖振目的，以此对过滤器内部、附着于过滤网表面的杂质达到统一清理的效果。
[0009]进一步的，所述杂质处理机构包括集料斗、固定环、旋转轴、第二传动轮、转环、伸缩杆、刮板和拉伸弹簧。集料斗通过固定环与蒸发器的底端相连通，旋转轴的一端穿过集料斗侧壁、固定环延伸至蒸发器的内部并与蒸发器的内侧壁转接，旋转轴的另一端与第二传动轮固定相连。第二传动轮转接于装置本体的侧壁上，第二传动轮与传动齿轮啮合相接。转环以轴承穿设于旋转轴上，转环与固定环贴合设置。伸缩杆以对称排布于蒸发器内部，伸缩杆的一端与刮板相连，伸缩杆的另一端与旋转轴相连，拉伸弹簧穿设于伸缩杆上。一般情况下，伸缩杆以及刮板处于原始位置，不影响蒸发器的工作过程；当旋转轴开始作旋转运动，以此产生离心力，使得伸缩杆被拉长，拉伸弹簧呈拉伸状态，刮板在伸缩杆的连带作用下与蒸发器的侧壁相抵触运动，对蒸发器的侧壁实现刮扫作用，达到杂质清理的目的。
[0010]进一步的，所述固定环的内沿壁上以中心对称排布有若干第一挡板，转环的内沿壁上以中心对称排布有若干第二挡板，第一挡板、第二挡板的大小、数量、形状对应设置。通过第一挡板与第二挡板的位置关系的变化，使得内部杂质由蒸发器进入集料斗，以此起到杂质的统一收集作用。
[0011]进一步的，所述阀门机构包括阀体、阀杆、把手、挡盖和扭转弹簧。阀杆的一端延伸至阀体内部与挡盖相连，阀杆的另一端与把手相连。阀体远离把手的一端与钢瓶的出口端相连通，阀杆与阀体以螺纹形式相接，挡盖与阀杆远离把手的一端固定连接。扭转弹簧穿设于阀杆上，扭转弹簧的一端与阀体的侧壁相连，扭转弹簧的另一端与把手相连。扭转弹簧设置的目的在于利用扭转弹簧的弹性特征，在扭转弹簧的蓄能释放过程，实现阀杆、挡盖的复位运动。
[0012]进一步的，所述检漏机构包括接口组件，接口组件设于阀门机构的一侧并以连通管道相连。接口组件设置的目的在于将阀门机构的连通管道与输送管道相连通，即实现钢瓶与输送管道的连通，从而达到高纯液化气体的输送过程。接口组件包括接口腔室、连接套筒、限位块和连接环。连接套筒设于接口腔室的内部，连接套筒的两端分别与连接环贴合设置。限位块以组对称设于接口腔室的内侧壁上，限位块交错排布于连接套筒与连接环的两
端。限位块旨在限制连接套筒与连接环的运动范围，保证输送接口的密封性。连接环远离连接套筒的一侧分别与输气管道、连通管道相连。
[0013]进一步的，所述连接环的内沿壁上以中心对称设有第一限流板，连接套筒的两端的内沿壁上以中心对称设有第二限流板，第一限流板与第二限流板的大小、数量、形状对应设置。设置的目的在于：一是对液化气体的流动起到阻挡作用，避免下游气体流量过大，导致输送过程中气体的高性能受到不同程度的影响；二是通过第一限流板与第二限流板的位置关系的变化，控制高纯液化气体输送进程，避免出现液化气体持续泄漏的现象。
[0014]进一步的，所述检漏机构还包括监控组件，监控组件设于接口组件的外侧。监控组件设置的目的在于实时监控高纯液化气体的泄漏情况，从而联动实现阀门机构与钢本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高纯液化气体用集中控制输送装置，包括装置本体(1)、吹扫机(2)、通气管道(3)、输送管道(4)、钢瓶(5)、过滤器(6)和蒸发器(7)，所述吹扫机(2)、通气管道(3)、输送管道(4)、钢瓶(5)、过滤器(6)和蒸发器(7)均设于装置本体(1)内部，所述吹扫机(2)以通气管道(3)与输送管道(4)相连通，所述钢瓶(5)、过滤器(6)、蒸发器(7)之间分别以输送管道(4)相连，其特征在于：所述集中控制输送装置还包括气路传动机构(8)、滤网清理机构(9)、杂质处理机构(10)、阀门机构(11)和检漏机构(12)，所述气路传动机构(8)与通气管道(3)相装配，所述杂质处理机构(10)与蒸发器(7)相装配，所述滤网清理机构(9)与过滤器(6)相装配，所述阀门机构(11)装配于钢瓶(5)的出口端，所述检漏机构(12)的一端与阀门机构(11)以连通管道(13)相连，检漏机构(12)的另一端与输送管道(4)相连。2.根据权利要求1所述的一种高纯液化气体用集中控制输送装置，其特征在于：所述气路传动机构(8)包括支架(81)、旋转叶片(82)、主动蜗轮(83)、蜗杆(84)、被动蜗轮(85)、传动齿轮(86)和传动齿带(87)，所述支架(81)以竖直均匀排布于通气管道(3)内部，支架(81)的两端分别与通气管道(3)的内侧壁固定连接，所述旋转叶片(82)转接于支架(81)的一侧，所述主动蜗轮(83)设于旋转叶片(82)背靠近支架(81)的一侧，所述蜗杆(84)以水平方向设置并与主动蜗轮(83)传动相接，蜗杆(84)的两端分别穿过通气管道(3)并向外延伸，所述被动蜗轮(85)、传动齿轮(86)分别转接于装置本体(1)的侧壁上并以传动齿带(87)相连，所述被动蜗轮(85)设于蜗杆(84)的两端并与蜗杆(84)传动相接。3.根据权利要求2所述的一种高纯液化气体用集中控制输送装置，其特征在于：所述滤网清理机构(9)包括导轨(91)、滑块(92)、底架(93)、缓冲弹簧(94)、第一传动轮(95)、丝杆(96)和凸轮(97)，所述导轨(91)以竖直且平行设于装置本体(1)的侧壁上，所述过滤器(6)的一侧对称设有滑块(92)，所述滑块(92)与导轨(91)滑动相连，所述底架(93)垂直并设于导轨(91)的两端，所述缓冲弹簧(94)的一端与滑块(92)远离过滤器(6)的一端相连，缓冲弹簧(94)的另一端与底架(93)相连，所述第一传动轮(95)、凸轮(97)分别转接于装置本体(1)的侧壁上，所述第一传动轮(95)与传动齿轮(86)啮合相接，所述丝杆(96)的一端与第一传动轮(95)固定相连，丝杆(96)的另一端穿过底架(93)并向过滤器(6)方向延伸，所述凸轮(97)设于过滤器(6)的底端并与丝杆(96)传动相接，凸轮(97)的作用端与过滤器(6)相抵触。4.根据权利要求2所述的一种高纯液化气体用集中控制输送装置，其特征在于：所述杂质处理机构(10)包括集料斗(101)、固定环(102)、旋转轴(103)、第二传动轮(104)、转环(105)、伸缩杆(106)、刮板(107)和拉伸弹簧(108)，所述集料斗(101)通过固定环(102)与蒸发器(7)的底端相连通，所述旋转轴(103)的一端依次穿过集料斗(101)侧壁、固定环(102)延伸至蒸发器(7)的内部并与蒸发器(7)的内侧壁转接，旋转轴(103)的另一端与第二传动轮(104)固定相连，所述第二传动轮(104)转接于装置本体(1)的侧壁上，所述第二传动轮(104)与传动齿轮(86)啮合相接，所述转环(105)以轴承穿设于旋转轴(103)上，转环(105)与固定环(102)贴合设置，所述伸缩杆(106)以对称排布于蒸发器(7)内部，伸缩杆(106)的一端与刮板(107)相连，伸缩杆(106)的另一端与旋转轴(103)相连，所述拉伸弹簧(108)穿设于伸缩杆(106)上；所述固定环(102)的内沿壁上以中心对称排布有若干第...

【专利技术属性】
技术研发人员：王敏，吴汉涛，闫娇，
申请(专利权)人：无锡恒大电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：