一种用于压力传感器真空检漏的真空室以及真空检漏系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种用于压力传感器的真空检漏的真空室以及真空检漏系统，包括：基座，包括检测槽、用于连接氦气源的氦气接口、用于连接氦质谱检漏仪的检测接口；其中，所述检测槽内设有与所述氦气接口导通的安装接口、与所述检测接口导通的采样口；所述安装接口用于安装待测的压力传感器，且所述待测的压力传感器封闭所述安装接口；盖体，与所述检测槽可拆卸地连接，且所述盖体与所述检测槽之间形成检测腔。本实用新型专利技术能够有效提高压力传感器检漏试验的精度并且降低了压力传感器检漏试验的工作难度，提高了检漏试验的工作效率。提高了检漏试验的工作效率。提高了检漏试验的工作效率。

【技术实现步骤摘要】
一种用于压力传感器真空检漏的真空室以及真空检漏系统


[0001]本技术涉及真空检漏
，具体涉及一种用于压力传感器的真空检漏的真空室以及真空检漏系统。

技术介绍

[0002]压力传感器是压力测试系统采集压力信号的关键器件，压力传感器的密封性能会对压力测试的准确性产生影响。
[0003]当前，应用于压力传感器检漏的方法主要是吸枪法，精度与氦质谱压力真空法相比相对较低，不能很好地满足压力传感器质量检测的要求。为了满足压力传感器质量检测的要求，应用检漏精度较高的氦质谱压力真空法对压力传感器进行检漏试验，需要设计一套适用于压力传感器规格的真空室来完成压力传感器的氦质谱压力真空法检漏试验。

技术实现思路

[0004]为此，本技术所要解决的技术问题在于克服现有技术中的缺陷，提供可以用于放置待检压力传感器，进行检漏工装连接，实现压力传感器的氦质谱压力真空法检漏试验的装置和系统。
[0005]为解决上述技术问题，本技术提供了一种用于压力传感器的真空检漏的真空室，包括：
[0006]基座，包括检测槽、用于连接氦气源的氦气接口、用于连接氦质谱检漏仪的检测接口；
[0007]其中，所述检测槽内设有与所述氦气接口导通的安装接口、与所述检测接口导通的采样口；所述安装接口用于安装待测的压力传感器，且所述待测的压力传感器封闭所述安装接口；
[0008]盖体，与所述检测槽可拆卸地连接，且所述盖体与所述检测槽之间形成检测腔。
[0009]作为本技术的一种优选方式，所述安装接口设有螺纹，所述螺纹用于与所述待测的压力传感器连接。
[0010]作为本技术的一种优选方式，所述检测槽与所述盖体螺纹连接。
[0011]作为本技术的一种优选方式，所述检测槽包括环设于外周的第一台阶部，所述盖体包括环设于外周的第二台阶部；当所述盖体与所述检测槽连接，所述第一台阶部、第二台阶部贴合。
[0012]作为本技术的一种优选方式，所述第一台阶部的平面度误差不大于 0.05mm。
[0013]作为本技术的一种优选方式，所述第二台阶部的平面度误差不大于 0.05mm。
[0014]作为本技术的一种优选方式，所述第一台阶部和/或第二台阶部设有密封槽。
[0015]作为本技术的一种优选方式，所述密封槽内设有密封条。
[0016]一种用于压力传感器的真空检漏系统，包括上述任意一项所述的真空室，还包括集气室、氦气源、氦质谱检漏仪，所述真空室置于所述集气室内。
[0017]作为本技术的一种优选方式，所述集气室与抽真空装置连接。
[0018]本技术的上述技术方案相比现有技术具有以下优点：
[0019]本技术所述的一种用于压力传感器的真空检漏的真空室以及真空检漏系统，能够有效提高压力传感器检漏试验的精度并且降低了压力传感器检漏试验的工作难度，提高了检漏试验的工作效率。
附图说明
[0020]为了使本技术的内容更容易被清楚的理解，下面根据本技术的具体实施例并结合附图，对本技术作进一步详细的说明。
[0021]图1是本技术的真空室的基座的俯视示意图。
[0022]图2是本技术的真空室的基座的侧视剖视示意图。
[0023]图3是本技术的真空室的盖体侧视示意图。
[0024]图4是本技术的真空室的盖体的侧视剖视示意图。
[0025]图5是本技术的真空检漏系统的连接示意图。
[0026]说明书附图标记说明：1.基座、11.氦气接口、111.氦气气道、12.检测接口、 121.检测气道、2.检测槽、21.安装接口、22.采样口、23.第一台阶部、3.盖体、 31.第二台阶部、4.密封槽、5.氦气源、6.氦质谱检漏仪、7.集气室、8.抽真空装置、9.真空室。
具体实施方式
[0027]下面结合附图和具体实施例对本技术作进一步说明，以使本领域的技术人员可以更好地理解本技术并能予以实施，但所举实施例不作为对本技术的限定。
[0028]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第二”、“第一”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
[0029]在本技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接，还可以是通信；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0030]除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。此外，术语“包括”意图在于覆盖不排他的包含，例如包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备，没有限定于已列出的步骤或单元而是可选地还包括没有列出的步骤或单元，或可选地还包括对于这些过程、方法、产品或设备固有的其他步骤或单元。
[0031]压力真空法检漏是中小型密封产品常用、发展成熟的检漏方法之一，具有检漏灵敏度高、检漏周期短等优点，因此被广泛应用于航天、航空、仪器仪表等领域，是快速、简单、可靠的定量检漏方法之一。
[0032]针对压力传感器进行氦质谱压力真空法检漏试验时的真空环境要求，包括压力传感器的放置固定，氦气的充入，氦质谱检漏仪的安装，真空环境的产生，设计的一种用于压力传感器氦质谱压力真空法检漏试验的真空室。
[0033]参照图1
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4所示，本技术一种用于压力传感器的真空检漏的真空室的实施例，包括：
[0034]基座，包括检测槽、用于连接氦气源的氦气接口、用于连接氦质谱检漏仪的检测接口。
[0035]其中，所述检测槽内设有与所述氦气接口导通的安装接口、与所述检测接口导通的采样口。所述安装接口用于安装待测的压力传感器，且所述待测的压力传感器封闭所述安装接口。
[0036]盖体，与所述检测槽可拆卸地连接，且所述盖体与所述检测槽之间形成检测腔。
[0037]其中，氦质谱检漏仪用氦气或者氢气作示漏气体，是以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于压力传感器的真空检漏的真空室，其特征在于，包括：基座，包括检测槽、与氦气源连接的氦气接口、与氦质谱检漏仪连接的检测接口；其中，所述检测槽内设有与所述氦气接口导通的安装接口、与所述检测接口导通的采样口；所述安装接口用于安装待测的压力传感器，且所述待测的压力传感器封闭所述安装接口；盖体，与所述检测槽可拆卸地连接，且所述盖体与所述检测槽之间形成检测腔。2.根据权利要求1所述的一种用于压力传感器的真空检漏的真空室，其特征在于，所述安装接口设有螺纹，所述螺纹用于与所述待测的压力传感器连接。3.根据权利要求1所述的一种用于压力传感器的真空检漏的真空室，其特征在于，所述检测槽与所述盖体螺纹连接。4.根据权利要求1所述的一种用于压力传感器的真空检漏的真空室，其特征在于，所述检测槽包括环设于外周的第一台阶部，所述盖体包括环设于外周的第二台阶部；当所述盖体与所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：高成，黄姣英，江敏，梁宇，
申请(专利权)人：太仓市航大长鹰航空科技有限公司，
类型：新型
国别省市：