本实用新型专利技术涉及微波屏蔽技术领域，尤其是一种微波等离子体化学气相沉积设备的微波屏蔽装置，一种微波等离子体化学气相沉积设备的微波屏蔽装置，包括支撑板，其特征在于，所述支撑板前后左右四端均固定连接有伸缩板，所述伸缩板的伸缩端上均设置有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的伸缩端设置有吸附装置，所述电动伸缩杆顶端固定连接有连接杆，所述连接杆前后两端均固定连接有伸缩杆，所述伸缩板和伸缩杆上均设置有用于分别固定伸缩板和伸缩杆的第一固定装置和第二固定装置，设置在所述支撑板左右两侧的伸缩杆侧端处均设置有连接装置，所述连接柱上端设置有支撑装置，所述支撑板下端间隔设置有四组移动装置。设置有四组移动装置。设置有四组移动装置。
【技术实现步骤摘要】
一种微波等离子体化学气相沉积设备的微波屏蔽装置
[0001]本技术涉及微波屏蔽
，尤其是一种微波等离子体化学气相沉积设备的微波屏蔽装置。
技术介绍
[0002]微波等离子体化学气相沉积法(MPCVD)是用微波等离子体作反应源，在石英管内沉积制备光纤预制棒的一种方法，该方法与其它等离子体化学气相沉积法的不同之处在于原料气体被微波能激发电离产生等离子体，而MPCVD法所使用的微波等离子体化学气相沉积设备的核心部件就是用于产生微波等离子体的微波谐振腔，微波激发的等离子体具有无电极物质污染、可控性好、等离子体密度高等一系列优点，但与此同时，微波谐振腔会产生对设备和人员造成危害的微波辐射，因此需要对其进行微波屏蔽，目前针对微波等离子体化学气相沉积设备的微波屏蔽方法一般是在设备外建造金属隔间，该方法虽然可以减少对人员的伤害，但金属隔间的占地空间大，浪费厂房资源，或是在设备四周做隔板，隔板上贴附吸波材料，该方法虽然对微波的屏蔽效果较好，但使用时不便于拆装，不同大小的设备需要匹配对应的大小的隔板费时费力。
技术实现思路
[0003]针对现有技术存在的不足，本技术的目的是提供了一种微波等离子体化学气相沉积设备的微波屏蔽装置，解决了屏蔽隔板拆装时费时费力技术问题。
[0004]本技术采取的方案为：一种微波等离子体化学气相沉积设备的微波屏蔽装置，包括支撑板，其特征在于，所述支撑板前后左右四端均固定连接有伸缩板，所述伸缩板的伸缩端上均设置有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的伸缩端设置有吸附装置，所述电动伸缩杆顶端固定连接有连接杆，所述连接杆前后两端均固定连接有伸缩杆，所述伸缩板和伸缩杆上均设置有用于分别固定伸缩板和伸缩杆的第一固定装置和第二固定装置，设置在所述支撑板左右两侧的伸缩杆侧端处均设置有连接装置，所述连接杆上端设置有支撑装置，所述支撑板下端间隔设置有四组移动装置。
[0005]优选的，所述吸附装置是用于可拆卸连接微波屏蔽装置的吸盘。
[0006]优选的，所述第一固定装置和第二固定装置是第一螺栓和第二螺栓。
[0007]优选的，所述连接装置是用于可拆卸连接在所述支撑板前后两侧伸缩杆的卡槽。
[0008]优选的，所述支撑装置是支撑底座。
[0009]优选的，所述移动装置是万向轮。
[0010]本技术的有益效果：
[0011]一、根据设备宽度调整四组伸缩板的长度后使用第一固定装置将伸缩板固定，在根据设备高度调整电动伸缩杆的长度，在将伸缩杆伸出到对应位置后利用第二固定装置将伸缩杆固定，利用连接装置将伸缩杆连接在一起完成拼接，将微波吸附材料吸附在吸附装置上。
[0012]二、将微波吸附板吸附在吸盘上。
[0013]三、利用第一螺栓和第二螺栓来固定伸缩杆和伸缩板，利用卡槽将伸缩杆连接在一起完成拼接，利用支撑底座来稳定支撑微波屏蔽设备，利用万向轮使支撑板便于移动。
附图说明
[0014]图1是本技术的立体图视角之一。
[0015]图2是本技术的立体剖视图视角之一。
[0016]附图标记：1、支撑板；2、伸缩板；3、连接杆；4、伸缩杆；6、电动伸缩杆；7、第二螺栓；8、第一螺栓；9、卡槽；10、支撑底座；11、万向轮； 12、吸盘。
具体实施方式
[0017]有关本技术的前述及其他
技术实现思路
、特点与功效，在以下配合参考附图1
‑
2实例的详细说明中，将可清楚的呈现。以下实施例中所提到的结构内容，均是以说明书附图为参考。
[0018]下面将参照附图描述本技术的各示例性的实施例。
[0019]实施例一，一种微波等离子体化学气相沉积设备的微波屏蔽装置，包括支撑板，其特征在于，所述支撑板前后左右四端均固定连接有伸缩板，所述伸缩板的伸缩端上均设置有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的伸缩端设置有吸附装置，所述电动伸缩杆顶端固定连接有连接杆，所述连接杆前后两端均固定连接有伸缩杆，所述伸缩板和伸缩杆上均设置有用于分别固定伸缩板和伸缩杆的第一固定装置和第二固定装置，设置在所述支撑板左右两侧的伸缩杆侧端处均设置有连接装置，所述连接杆上端设置有支撑装置，所述支撑板下端间隔设置有四组移动装置。
[0020]该实施例在使用的时候，根据设备宽度调整四组伸缩板2的长度后使用固定装置将伸缩板2固定，在根据设备高度调整电动伸缩杆6的长度，在将伸缩杆4伸出到对应位置后利用固定装置将伸缩杆4固定，利用连接装置将伸缩杆4连接在一起完成拼接，将微波吸附材料吸附在吸附装置上。
[0021]实施例二，在实施例一的基础上，所述吸附装置是用于可拆卸连接微波屏蔽装置的吸盘12。
[0022]该实施例在使用的时候，将微波吸附板吸附在吸盘12上。
[0023]实施例三，在实施例一的基础上，所述第一固定装置和第二固定装置是第一螺栓8和第二螺栓7。
[0024]该实施例在使用的时候，利用第一螺栓8和第二螺栓7来固定伸缩杆4和伸缩板2。
[0025]实施例四，在实施例一的基础上，所述连接装置是用于可拆卸连接在所述支撑板前后两侧伸缩杆的卡槽。
[0026]该实施例在使用的时候，利用卡槽9将伸缩杆4连接在一起完成拼接。
[0027]实施例五，在实施例一的基础上，所述支撑装置是支撑底座10。
[0028]该实施例在使用的时候，利用支撑底座10来支撑和稳定支撑板。
[0029]实施例六，在实施例一的基础上，所述移动装置是万向轮11。
[0030]该实施例在使用的时候，利用万向轮11使支撑板1便于移动。
[0031]上面所述只是为了说明本技术，应该理解为本技术并不局限于以上实施例，符合本技术思想的各种变通形式均在本技术的保护范围之内。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种微波等离子体化学气相沉积设备的微波屏蔽装置，包括支撑板(1)，其特征在于，所述支撑板(1)前后左右四端均固定连接有伸缩板(2)，所述伸缩板(2)的伸缩端上均设置有电动伸缩杆(6)，所述电动伸缩杆(6)的伸缩端设置有吸附装置，所述电动伸缩杆(6)顶端固定连接有连接杆(3)，所述连接杆(3)前后两端均固定连接有伸缩杆(4)，所述伸缩板(2)和伸缩杆(4)上均设置有用于分别固定伸缩板(2)和伸缩杆(4)的第一固定装置和第二固定装置，设置在所述支撑板(1)左右两侧的伸缩杆(4)侧端处均设置有连接装置，所述连接杆(3)上端设置有支撑装置，所述支撑板(1)下端间隔设置有四组移动装置。2.根据权利要求1所述的一种微波等离子体化学气相沉积设...
【专利技术属性】
技术研发人员：冯建伟，
申请(专利权)人：中科前沿科技研究有限公司，
类型：新型
国别省市：
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