本发明专利技术涉及晶圆生产技术领域，具体涉及一种角度调节装置及具有其的芯片测试机。一种角度调节装置，包括：角度块组件，包括至少一个第一角度块和一个第二角度块，第一角度块具有第一斜面、第二角度块具有第二斜面，第一斜面和第二斜面的倾斜角不同；底座，设有第一角度块或第二角度块；转动块，转动设于底座上，转动块包括分设于相对两侧的接收面和调节面、以及轴线垂直于接收面设置的接收器，调节面适于与第一角度块的第一斜面或第二角度块的第二斜面贴合，以接收第一角度块或第二角度块施加的作用力，带动转动块转动，改变接收面角度，以便接收器接收光信号。本发明专利技术解决角度调节装置在连续调节中花费时间长、调整后角度精准度不高问题。题。题。
【技术实现步骤摘要】
一种角度调节装置及具有其的芯片测试机
[0001]本专利技术涉及晶圆生产
，具体涉及一种角度调节装置及具有其的芯片测试机。
技术介绍
[0002]芯片生产过程中，裂片机通过解理技术将Wafer(中文名为晶圆)裂片为一根根Bar条，或是将单根Bar条裂解为一颗颗chip(中文名为芯片)。具体的，Bar条可以看做为多个chip并排形成的单条，称之为一个Bar。
[0003]裂片机主要用于裂解Bar条，而芯片测试机用于在裂解前对Bar条上排列的单颗芯片的性能进行测试。测试过程中，测试平台上的探针通电后接通待测试Bar条，芯片内会出现直线型或斜线型的发光条，发光条的两端发出光信号，再由设于角度调节装置上的光纤(接收光信号)或PD(将接收到的光信号转换为电信号)接收光信号，根据光信号判断是否符合标准。通常传统的Bar条上的发光条(也就是芯片的发光条)是垂直的贯穿chip的前后端。随着当前高速率/大功率芯片的出现，出现了带有倾斜角度光波导的特殊芯片(例如：带有SOA放大功能的拐向光波导芯片)，发光条两端发出的光信号的角度会发生变化(背光端仍为垂直光波导，而正光端设计成带有固定角度的光波导)，角度调节装置上的光纤或PD的角度应随着光信号的角度的变化而变化。现有角度调节装置，往往是通过连续调节角度，同时还必须要保证调整后角度的精确度，这就存在角度调节时需要花费的调节时间长、调整后的角度精准度不高的问题。
技术实现思路
[0004]因此，本专利技术要解决的技术问题在于克服现有技术中的角度调节装置在连续调节过程中花费时间长、调整后的角度精准度不高的缺陷，从而提供一种角度调节装置及具有其的芯片测试机。
[0005]为了解决上述问题，本专利技术提供了一种角度调节装置，包括：
[0006]角度块组件，包括至少一个第一角度块和一个第二角度块，所述第一角度块具有第一斜面、第二角度块具有第二斜面，所述第一斜面和第二斜面的倾斜角不同；
[0007]底座，所述底座上设有第一角度块或第二角度块；
[0008]转动块，转动设于所述底座上，所述转动块包括分设于相对两侧的接收面和调节面、以及轴线垂直于所述接收面设置的接收器，所述调节面适于与所述第一角度块的第一斜面或第二角度块的第二斜面贴合，以接收所述第一角度块或第二角度块施加的作用力，带动所述转动块转动，改变所述接收面的角度，以便所述接收器接收光信号。
[0009]可选地，所述接收器为PD接收器或光纤接收器。
[0010]可选地，所述调节面与接收面平行设置。
[0011]可选地，所述第一角度块或第二角度块设有至少一个固定孔和一个定位销孔，所述第一角度块或第二角度块的第一定位销穿过定位销孔、第一固定件穿过第一固定孔以分
别与所述底座固定连接。
[0012]可选地，所述底座包括沿高度方向自下而上依次设置的高度调节座、第一水平调节板、第二水平调节板，所述高度调节座上设有高度调节件，所述第一水平调节板上设有第一水平调节件，所述第二水平调节板上设有第二水平调节件，所述第一水平调节件的轴线与第二水平调节件的轴线垂直设置。
[0013]可选地，所述高度调节座包括活动座和支撑座，所述高度调节件设于所述支撑座上，所述高度调节件抵接在所述活动座的斜面上。
[0014]可选地，所述第一水平调节板包括第一固定板和第一活动板，所述第一水平调节件设于第一固定板的伸出端上，所述第一水平调节件与第一活动板的侧面抵接。
[0015]可选地，所述第二水平调节板包括第二固定板和第二活动板，所述第二水平调节件设于第二固定板的伸出端上，所述第二水平调节件与第二活动板的侧面抵接。
[0016]一种芯片测试机，包括上述的角度调节装置，还包括底板，所述底板上并排设有两个所述角度调节装置。
[0017]可选地，还包括测试平台，所述测试平台上放置有待检测Bar条，以及与所述待检测Bar条对应设置的探针结构。
[0018]本专利技术技术方案，具有如下优点：
[0019]1.本专利技术提供的角度调节装置，包括：角度块组件，包括至少一个第一角度块或一个第二角度块，第一角度块具有第一斜面、第二角度块具有第二斜面，第一斜面和第二斜面的倾斜角不同；底座，所述底座上设有第一角度块或第二角度块；转动块，转动设于底座上，转动块包括分设于相对两侧的接收面和调节面、以及轴线垂直于接收面设置的接收器，调节面适于与第一角度块的第一斜面或第二角度块的第二斜面贴合，以接收第一角度块或第二角度块施加的作用力，带动转动块转动，改变接收面的角度，以便接收器接收光信号。底座上设有转动块、以及与转动块的调节面贴合的第一角度块或第二角度块。当检测不同规格或材质的Bar条上的芯片时，芯片的发光带所形成的正光端的倾斜角度会发生变化，意味着光信号的角度发生偏移时，需要调节接收器的角度，根据厂家在生产中得出的正光端的倾斜角度，仅需第二角度块替换第一角度块(或第一角度块替换第二角度块)，使转动块的调节面与第一斜面或第二斜面贴合，即可改变接收面的角度，使接收器随接收面改变角度，以接收到光信号。相较于连续角度调节的方式，本申请提供的角度调节方法仅通过更换角度块调节角度，调节时间短，角度块的斜面具有精度高的优势。
[0020]2.本专利技术提供的角度调节装置，接收器为PD接收器或光纤接收器，PD接收器将光信号转换为电信号传送到信号放大采集板进行数据采集，进行电特性数据计算处理并根据判定条件进行电特性等级分类；光纤接收器将接收到的光谱曲线数据送入到光谱仪中进行光谱信号分析，根据光谱测试数据的结果判定是否满足产品的品质要求，进行产品等级分类。
[0021]3.本专利技术提供的角度调节装置，调节面与接收面平行设置，调节面与第一斜面或第二斜面贴合，接收器的轴线与接收面垂直，以通过第一角度块或第二角度块调节接收器的角度。
[0022]4.本专利技术提供的角度调节装置，所述第一角度块或第二角度块设有至少一个固定孔和一个定位销孔，所述第一角度块或第二角度块的第一定位销穿过定位销孔、第一固定
件穿过第一固定孔以分别与所述底座固定连接，当更换好角度块后，将第一定位销穿入定位销孔中以限制角度块的移动，第一固定件穿过第一固定孔实现第一角度块或第二角度块与底座固定连接。
[0023]5.本专利技术提供的角度调节装置，底座包括自下而上沿高度方向依次设置的高度调节座、第一水平调节板、第二水平调节板，高度调节座上设有高度调节件，以通过高度调节件调节高度调节座的整体高度。第一水平调节板上设有第一水平调节件，第二水平调节件板上设有第二水平调节件，第一水平调节件的轴线与第二水平调节件的轴线垂直设置，以通过第一水平调节件、第二水平调节件调节水平面内两个垂直方向的位置。
[0024]6.本专利技术提供的角度调节装置，高度调节座包括活动座和支撑座，高度调节件设于支撑座上，高度调节件抵接在活动座的斜面上，通过高度调节件调节斜面以使活动座沿高度方向进行移动，进而调节底座上设置的角度块和转动块的高度。
[0025]7.本专利技术本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种角度调节装置，其特征在于，包括：角度块组件，包括至少一个第一角度块(1)和一个第二角度块，所述第一角度块(1)具有第一斜面(15)、第二角度块具有第二斜面，所述第一斜面(15)和第二斜面的倾斜角不同；底座，所述底座上设有第一角度块(1)或第二角度块；转动块(3)，转动设于所述底座上，所述转动块(3)包括分设于相对两侧的接收面(19)和调节面(14)、以及轴线垂直于所述接收面(19)设置的接收器，所述调节面(14)适于与所述第一角度块(1)的第一斜面(15)或第二角度块的第二斜面贴合，以接收所述第一角度块(1)或第二角度块施加的作用力，带动所述转动块(3)转动，改变所述接收面(19)的角度，以便所述接收器接收光信号。2.根据权利要求1所述的角度调节装置，其特征在于，所述接收器为PD接收器(18)或光纤接收器(17)。3.根据权利要求1所述的角度调节装置，其特征在于，所述调节面(14)与接收面(19)平行设置。4.根据权利要求1所述的角度调节装置，其特征在于，所述第一角度块(1)或第二角度块设有至少一个固定孔和一个定位销孔，所述第一角度块(1)或第二角度块的第一定位销(29)穿过定位销孔、第一固定件(28)穿过第一固定孔以分别与所述底座连接。5.根据权利要求1－4任一项所述的角度调节装置，其特征在于，所述底座包括沿高度方向自下而上依次设置的高度调节座、第一水平调节板、第二水...
【专利技术属性】
技术研发人员：牛超凡，张智峰，张明亮，郭岩，闫刘晨曦，
申请(专利权)人：河北圣昊光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。