镀膜设备上的可调节铰链制造技术

本申请涉及一种镀膜设备上的可调节铰链，涉及镀膜设备的领域，其包括可与底座固定连接的连接块一、可与盖子固定连接的连接块二，连接块二上设置有连接轴，连接块二以连接轴为转轴转动连接于连接块一上，连接块一和连接块二上设置有用于固定连接块一的定位机构。本申请具有减少检查维修时盖子跌落的情况的效果。具有减少检查维修时盖子跌落的情况的效果。具有减少检查维修时盖子跌落的情况的效果。

【技术实现步骤摘要】
镀膜设备上的可调节铰链


[0001]本申请涉及镀膜设备的领域，尤其是涉及一种镀膜设备上的可调节铰链。

技术介绍

[0002]化学气相沉积是一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法。化学气相淀积是近几十年发展起来的制备无机材料的新技术。
[0003]参照图1，一种PECVD真空镀膜设备，包括箱体1，箱体1中设置有安装基座2，安装基座2呈八棱柱状设置，安装基座2的水平切面呈正八边形设置。安装基座2上设置有8个操作单元3，8个操作单元3分别设置在安装基座2的8个侧壁上，8个操作单元3等间距排布，每个操作单元3包括底座4、铰接于底座4上的盖子5，底座4上开设有实验腔，盖子5可封盖于实验腔的腔口。底座4呈长方体设置，盖子5呈长方体设置，底座4靠近安装基座2一侧侧壁的上端设置有铰链（参照图2），铰链包括两个安装片6，两个安装片6之间连接有转动轴29，转动轴29上转动连接有转动块28，安装片6固定连接于底座4上，盖子5固定连接于转动块28上，转动块28上设置有挡块7，盖子5最大翻折角度为120度，当盖子5翻折到120度时，挡块7于安装基座2抵触，此时盖子5可以保持静止。
[0004]针对上述中的相关技术，专利技术人认为：设备运行的过程中，需要根据实验情况对实验腔中的元器件进行检查，检查时需要同时将所有盖子打开，但是上述设备在同时打开多个操作单元上的盖子时存在以下问题：相邻两个盖子中，当其中一个翻折到120度时，另一个盖子在翻折的过程中，该盖子在翻折角度不到90度时两个盖子就会产生干涉，相互触碰，从而导致另一个盖子不能翻折至120度，然而当盖子的翻折角度小于90度时，在盖子重力的作用下，会存在盖子跌落的情况。

技术实现思路

[0005]为了减少检查维修时盖子跌落的情况，本申请提供一种镀膜设备上的可调节铰链。
[0006]本申请提供的一种镀膜设备上的可调节铰链采用如下的技术方案：
[0007]一种镀膜设备上的可调节铰链，包括可与底座固定连接的连接块一、可与盖子固定连接的连接块二，所述连接块二上设置有连接轴，所述连接块二以连接轴为转轴转动连接于连接块一上，所述连接块一和连接块二上设置有用于固定连接块二的定位机构。
[0008]通过采用上述技术方案，盖子在转动的过程中，利用定位机构对连接块二进行限位，从而可以使盖子的保持稳定，减少检查维修时盖子跌落的情况。
[0009]可选的，所述定位机构包括螺纹连接于连接块一上的外螺纹套筒、滑动连接于外螺纹套筒中的定位杆、设置于外螺纹套筒中用于推动定位杆滑动的推动弹簧，所述连接块二上开设有若干定位孔，若干所述定位孔以连接轴的轴线为中心线等间距排布于连接轴的周边，所述定位杆可滑动插接于定位孔中。
[0010]通过采用上述技术方案，盖子在转动的过程中，手动拉动定位杆使定位杆的端部脱离连接块二，当需要对盖子进行定位时，松动定位杆，定位杆在推动弹簧的作用下滑动插接于定位孔中，从而使连接块二的位置得以固定，从而使盖子的位置得以固定。
[0011]可选的，所述外螺纹套筒上螺纹连接有定位螺母，所述定位螺母上固定连接有限位套筒，所述限位套筒套设于外螺纹套筒的外侧，所述限位套筒的端面可与连接块一的侧壁抵触。
[0012]通过采用上述技术方案，当定位杆插接定位孔中时，转动定位螺母使得限位套筒的抵触在连接块一上，可以对外螺纹套筒以及定位杆起到紧固的作用，有利于使定位杆对连接块一的提高定位效果。
[0013]可选的，所述定位杆朝向定位孔一端的夹角设置为圆弧倒角。
[0014]通过采用上述技术方案，圆弧倒角的设置有利于使定位杆与定位孔的插接更加流畅。
[0015]可选的，所述外螺纹套筒远离定位孔一端固定连接有旋拧块，所述旋拧块的竖切面呈正六边形。
[0016]通过采用上述技术方案，旋拧块的设置便于操作人员对外螺纹套筒进行转动。
[0017]可选的，所述定位杆上固定连接有驱动杆，所述驱动杆沿平行于驱定位杆的方向设置且穿接于推动弹簧的内腔，所述旋拧块上开设有用于驱动杆穿接的通孔。
[0018]通过采用上述技术方案，驱动杆的设置便于操作人员对定位杆进行拉动。
[0019]可选的，所述驱动杆远离推动弹簧一端挂设有挂环。
[0020]通过采用上述技术方案，挂环的设置便于操作人员对驱动杆进行拉动。
[0021]可选的，所述连接块一上固定连接有挡板，所述挡板的顶部侧壁和连接轴轴线之间所形成的侧壁与水平面之间的夹角为120度，所述连接块二可转动抵触于挡板的顶部侧壁。
[0022]通过采用上述技术方案，挡板的设置可以限制连接块一的转动的最大角度，有利于减少检查维修时盖子跌落的情况。
[0023]综上所述，本申请包括以下有益技术效果：通过连接块一、连接块二、定位机构的设置，可以在盖子在转动的过程中，对连接块二进行限位，可以使盖子的保持稳定，减少检查维修时盖子跌落的情况。
附图说明
[0024]图1是
技术介绍
中PECVD真空镀膜设备的示意图。
[0025]图2是图1中A部放大图。
[0026]图3是本申请实施例中镀膜设备上的可调节铰链的示意图。
[0027]图4是本申请实施例中镀膜设备上的可调节铰链的侧视图。
[0028]图5是图4中B
‑
B向剖视图。
[0029]图6是图4中C
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C向剖视图。
[0030]图7是图6中D部放大图。
[0031]附图标记说明：1、箱体；2、安装基座；3、操作单元；4、底座；5、盖子；6、安装片；7、挡块；8、连接块一；9、连接块二；10、安装板；11、缺槽；111、槽壁一；112、槽壁二；12、安装座；
13、穿接孔；14、连接轴；15、挡板；16、外螺纹套筒；17、定位杆；18、推动弹簧；19、螺纹孔；20、定位螺母；21、限位套筒；22、旋拧块；23、安装孔；24、驱动杆；25、通孔；26、挂环；27、定位孔；28、转动块；29、转动轴。
具体实施方式
[0032]以下结合附图1
‑
7对本申请作进一步详细说明。
[0033]本申请实施例公开一种镀膜设备上的可调节铰链。
[0034]参照图1、图2和图3，镀膜设备上的可调节铰链包括连接块一8和连接块二9，连接块一8和连接块二9上均开设有若干螺纹安装孔，在安装的过程中，连接块一8通过螺栓与底座4固定连接，连接块二9通过螺栓与盖子5固定连接。连接块二9转动连接于连接块一8上，连接块二9和连接块一8上设置有用于对连接块二9进行定位的定位机构，利用定位机构可以对翻折至不同角度的连接块二9进行定位，从而使盖子5的翻折角度得以固定。
[0035]参照图3、图4、和图5，连接块一8呈长方体设置，连接块一8的端面为正方形。连接块一8上固定连接有两块安装板10，两块安装板10均沿垂直于连接块一8的上侧壁的方本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种镀膜设备上的可调节铰链，其特征在于：包括可与底座(4)固定连接的连接块一(8)、可与盖子(5)固定连接的连接块二(9)，所述连接块二(9)上设置有连接轴(14)，所述连接块二(9)以连接轴(14)为转轴转动连接于连接块一(8)上，所述连接块一(8)和连接块二(9)上设置有用于固定连接块一(8)的定位机构。2.根据权利要求1所述的镀膜设备上的可调节铰链，其特征在于：所述定位机构包括螺纹连接于连接块一(8)上的外螺纹套筒(16)、滑动连接于外螺纹套筒(16)中的定位杆(17)、设置于外螺纹套筒(16)中用于推动定位杆(17)滑动的推动弹簧(18)，所述连接块一(8)上开设有若干定位孔(27)，若干所述定位孔(27)以连接轴(14)的轴线为中心线等间距排布于连接轴(14)的周边，所述定位杆(17)可滑动插接于定位孔(27)中。3.根据权利要求2所述的镀膜设备上的可调节铰链，其特征在于：所述外螺纹套筒(16)上螺纹连接有定位螺母(20)，所述定位螺母(20)上固定连接有限位套筒(21)，所述限位套筒(21)套设于外螺纹套筒(16)的外侧，所述限位套筒(2...

【专利技术属性】
技术研发人员：禅明，黄善发，臧宇，王金，吴金马，李靖，
申请(专利权)人：盛吉盛半导体科技无锡有限公司，
类型：新型
国别省市：