【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】改变着色状态下的电致变色叠堆的颜色的方法
[0001]本公开涉及电致变色器件,并且更具体地涉及改变处于着色状态下的电致变色叠堆的颜色的多种方法。
技术介绍
[0002]电致变色器件有助于阻挡可见光的透射并防止建筑物的房间或车辆的乘客舱变得太热。电致变色玻璃的颜色在暗态下通常为蓝色。对于某些应用,电致变色叠堆在暗态下具有比蓝色更中性的颜色是有利的或在其他方面是期望的(例如,出于美学目的)。此外,暗态下的典型蓝色可能因使颜色对空间内的人员而言失真而对空间内的采光产生负面影响,这代表了更中性的颜色的另一个潜在优势。电致变色叠堆的颜色不容易改变,因为它与材料的基本特性有关。需要进一步改进窗户设计。
附图说明
[0003]图1为描绘根据一些实施例的使用形成电致变色(EC)层的多种方法形成在暗态下具有更中性的颜色的电致变色叠堆的工艺的图解。
[0004]图2描绘了根据一些实施例的与形成EC层的第一种方法有关的实验数据,该方法通常涉及在形成电致变色叠堆的WO
x EC层期间改变基底温度。
[0005]图3描绘了三幅扫描电镜(SEM)图像,该图像示出了根据一些实施例的在溅射电致变色叠堆的WO
x EC层期间与三种不同的基底温度相关的三种不同的WO
x
微结构。
[0006]图4至8描绘了根据一些实施例的与形成EC层的第二种方法有关的实验数据,该方法通常涉及利用混合M:W靶材(其中M=Nb、Mo或V)将掺杂剂引入电致变色叠堆的溅射沉积EC层。
[0007] ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种形成电致变色器件的工艺,所述工艺包括:提供基底;根据一个或多个工艺参数在所述基底上方形成电致变色(EC)层,以在包括所述EC层的EC叠堆的暗态下实现色靶,所述形成包括:提供所述沉积材料;使用所述沉积材料执行沉积工艺以形成所述EC层;以及其中所述一个或多个工艺参数指定所述沉积材料的组成以实现所述色靶或指定一个或多个沉积工艺参数以实现所述色靶。2.根据权利要求1所述的工艺,进一步包括:其中用于实现所述色靶的所述一个或多个沉积工艺参数包括基底温度,所述基底温度低于与在靶材的溅射期间结晶WO
x
微结构的形成相关的高温阈值;其中形成所述EC层包括将所述基底保持在所述基底温度;并且其中与所述结晶WO
x
微结构相比,与在所述靶材的所述溅射期间将所述基底保持在所述基底温度相关的WO
x
微结构变化导致在暗态下的所述色靶。3.根据权利要求2所述的工艺,其中当所述基底温度低于低温阈值时,所述EC层具有无定形WO
x
微结构,并且其中当所述温度高于所述低温阈值时,所述EC层具有在无定形基体中部分结晶的WO
x
微结构。4.根据权利要求2所述的工艺,其中所述基底温度低于200℃。5.根据权利要求2所述的工艺,其中所述基底温度在100℃至200℃的范围内。6.根据权利要求2所述的工艺,其中所述基底温度在160℃至190℃的范围内。7.根据权利要求1所述的工艺,进一步包括:其中用于实现所述色靶的所述沉积材料的所述组成包括用于溅射的混合金属靶材;其中形成所述EC层包括:提供用于溅射的所述混合金属靶材,所述混合金属靶材包括钨(W)和掺杂剂(M),其中M对应于铌(Nb)、钼(Mo)或钒(V);以及在所述基底上方形成掺杂的电致变色(EC)层,其中形成所述掺杂的EC层包括溅射所述混合金属靶材,其中与通过溅射W靶材形成的WO
x EC层相比,利用用于溅射的混合M:W靶材导致在暗态下的色靶。8.根据权利要求7所述的工艺,其中所述混合金属靶材为以下中的一者:混合Mo:W靶材,并且其中形成所述掺杂的EC层包括在溅射所述混合Mo:W靶材期间加热所述基底,使得所述基底的温度在与所述暗态下的所述色靶相关的温度范围内;混合Mo:W靶材,并且其中所述混合Mo:W靶材中Mo的掺杂剂浓度在约2wt%至20wt%的范围内;混合Nb:W靶材,并且其中形成所述掺杂的EC层包括在溅射所述混合Nb:W靶材期间加热所述基底,使得所述基底的温度在与所述暗态下的所述色靶相关的温度范围内;混合Nb:W靶材,并且其中所述混合Nb:W靶材中Nb的掺杂剂浓度在约2wt%至20wt%的范围内;混合V:W靶材,并且其中形成所述掺杂的EC层包括在溅射所述混合V:W靶材期间加热所
述基底,使得所述基底的温度在与所述暗态下的所述色靶相关的温度范围内;或混合V:W靶材,并且其中所述混合V:W靶材中V的掺杂剂浓度在约2wt%至20wt%的范围内。9.根据权利要求1所述的工艺,进一步包括:提供与多个WO
x
沉积站相关的多个钨(W)靶材;其中用于实现所述色靶的所述一个或多个沉积工艺参数包括在所述WO
x
沉积站中的一个或多个处选择性地改变工艺参数的标准集;其中形成所述EC层包括:在所述WO
x
沉积站中的一个或多个处选择性地改变所述工艺参数的标准集,经改变的工艺参数导致相对于所述工艺参数的标准集的减小的WO
x
厚度;以及其中选择所述减小的WO
x
厚度以及对电极(CE)层厚度,使得在具有25mC/cm2可移动锂的情况下,沉积以形成所述EC层的WO
x
的平均着色效率低于所述CE层的平均着色效率。10.根据权利要求9所述的工艺,其中所述经改变的工艺参数包括阻止在所述WO
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沉积站中的一个或多个处溅射一个或多个W靶材。11.根据权利要求9所述的工艺,其中选择性...
【专利技术属性】
技术研发人员:李文,尼古拉斯,
申请(专利权)人:SAGE电致变色显示有限公司,
类型:发明
国别省市:
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