功率模块及其制造方法技术

技术编号:35092500 阅读:68 留言:0更新日期:2022-10-01 16:51
本发明专利技术涉及功率模块及其制造方法,其中绝缘间隔物设置在上、下两个基板之间,从而有效地散去从安装在所述基板之间的半导体芯片产生的热量,并防止由于该热量引起的弯曲变形。此外,由于由绝缘材料制成的间隔物通过钎焊接合与所述基板集成在一起,因此提高了接合强度,从而保持甚至能抵抗振动的较强的接合。从而保持甚至能抵抗振动的较强的接合。从而保持甚至能抵抗振动的较强的接合。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】功率模块及其制造方法


[0001]本公开涉及一种功率模块及其制造方法,该功率模块具有在上下两个基板之间安装有半导体芯片的结构。

技术介绍

[0002]功率模块用于提供高压电流来驱动混合动力汽车和电动汽车的电机。
[0003]在功率模块中,双面冷却功率模块具有在半导体芯片的上部和下部的基板,以及在每个基板的外表面上的散热板。与在一个表面上具有散热板的单面冷却功率模块相比,双面冷却功率模块具有优异的冷却性能,因此双面冷却功率模块的使用逐渐增加。
[0004]用于诸如电动汽车的双面冷却功率模块具有安装在两个基板之间的、包括碳化硅(SiC)和氮化镓(GaN)的功率半导体芯片,由于高电压而在驱动过程中产生高热量和振动,因此为了解决上述问题,重要的是要同时满足高强度和高散热特性。

技术实现思路

[0005]技术问题
[0006]本公开旨在解决上述问题,本公开的目的是提供一种单面或双面冷却功率模块及其制造方法,所述单面或双面冷却功率模块具有高强度和高散热特性、优异的接合特性,并且能够改善性能。/>[0007]问题本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种功率模块,包括:第一基板,所述第一基板具有上表面,至少一个半导体芯片安装在所述上表面;第二基板,所述第二基板设置在所述第一基板上方;间隔物,所述间隔物接合到所述第一基板的上表面,并配置为限定所述第一基板和所述第二基板之间的间隔距离;以及钎焊接合层,所述钎焊接合层配置为使所述间隔物接合到所述第一基板。2.根据权利要求1所述的功率模块,其中,所述第一基板包括:陶瓷基板;和金属层,所述金属层钎焊并接合到所述陶瓷基板的至少一个表面。3.根据权利要求2所述的功率模块,其中,所述金属层包括Cu。4.根据权利要求1所述的功率模块,其中,所述间隔物包括陶瓷材料。5.根据权利要求1所述的功率模块,其中,所述间隔物由选自Al2O3、ZTA、Si3N4以及AlN,或其两种或更多种的混合物中的一种形成。6.根据权利要求1所述的功率模块,其中,所述间隔物的高度相对大于所述半导体芯片的高度。7.根据权利要求1所述的功率模块,其中,所述钎焊接合层包括AgCu。8.根据权利要求7所述的功率模块,其中,所述钎焊接合层进一步包括Ti。9.根据权利要求1所述的功率模块,进一步包括:接合层,所述接合层配置为使所述间隔物接合到所述第二基板。10.根据权利要求9所述的功率模块,其中,所述接合层由焊料或Ag膏制成。11.一种制造功率模块的方法,包括:制备第一基板;制备间隔物;在所述第一基板或所述间隔物上形成钎焊接合层;将所述间隔物布置在所述第一基板上,...

【专利技术属性】
技术研发人员:李志炯
申请(专利权)人:阿莫绿色技术有限公司
类型:发明
国别省市:

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