本实用新型专利技术公开了一种光刻胶吐出装置，包括光刻胶管、喷嘴、连接件和锁管器；所述连接件与所述喷嘴可拆卸连接；所述连接件上设置有通孔；所述通孔与所述喷嘴的内腔连通；所述锁管器套设于所述光刻胶管上，并与所述光刻胶管相贴合；所述锁管器与所述通孔过盈配合，使得所述连接件的侧壁可以对所述锁管器产生挤压力；由于所述锁管器与所述光刻胶管相贴合，所述连接件的侧壁对所述锁管器产生挤压力时，所述锁管器同步对所述光刻胶管产生挤压，从而通过所述连接件将所述锁管器定位在所述光刻胶管上。而所述连接件又与所述喷嘴可拆卸连接，最终实现所述喷嘴与所述光刻胶管之间的装配定位，避免所述喷嘴与所述光刻胶管相互脱离。免所述喷嘴与所述光刻胶管相互脱离。免所述喷嘴与所述光刻胶管相互脱离。
【技术实现步骤摘要】
一种光刻胶吐出装置
[0001]本技术涉及光刻胶供应设备
，尤其涉及一种光刻胶吐出装置。
技术介绍
[0002]在光刻工艺中，光刻胶管盛装光刻胶，并向晶圆上涂覆光刻胶。如果直接使用光刻胶管进行光刻胶的喷涂，由于管口较粗，使得喷涂状态难以控制。现有技术中为了提升光刻胶喷涂的便利性，多使用喷嘴套设于光刻胶管上，利用喷嘴的尖嘴部位进行喷涂，使得光刻胶的喷涂状态更易于控制；但是由于现有规格的喷嘴中，其大直径端的内径都大于光刻胶管的外径，使得喷嘴套在光刻胶管上后，容易产生晃动，甚至从光刻胶管上脱落。
[0003]因此，现有技术还有待于改进和发展。
技术实现思路
[0004]本技术要解决的技术问题在于，针对现有技术的上述缺陷，提供一种光刻胶吐出装置，旨在将光刻胶管与喷嘴稳定结合，避免喷嘴脱落。
[0005]本技术解决技术问题所采用的技术方案如下：
[0006]一种光刻胶吐出装置，其包括光刻胶管和喷嘴，其还包括连接件和锁管器；所述连接件与所述喷嘴可拆卸连接；所述连接件上设置有通孔；所述通孔与所述喷嘴的内腔连通；所述锁管器套设于所述光刻胶管上，并与所述光刻胶管相贴合；所述锁管器与所述通孔过盈配合。
[0007]所述光刻胶吐出装置，其中，所述锁管器为圆台形锁管器，所述锁管器的小直径端朝向所述喷嘴，且所述锁管器的小直径端的外径小于所述通孔远离所述喷嘴一端的直径。
[0008]所述光刻胶吐出装置，其中，所述连接件包括连接部和限位部；所述连接部与所述喷嘴可拆卸连接；所述连接部上设置有直孔；所述限位部设置于所述连接部远离所述喷嘴一侧；所述限位部上设置有锥形孔；所述锥形孔与所述锁管器过盈配合；所述锥形孔的小直径端朝向所述喷嘴，并与所述直孔连通，以构成所述通孔。
[0009]所述光刻胶吐出装置，其中，所述锥形孔的最小直径大于所述直孔的直径，且小于所述锁管器的最小外径和所述光刻胶管的外径。
[0010]所述光刻胶吐出装置，其中，所述直孔的直径大于所述喷嘴的最小内径，并小于所述锥形孔的最小直径。
[0011]所述光刻胶吐出装置，其中，所述连接部包括螺栓，所述喷嘴具有内螺纹，并通过所述内螺纹与所述螺栓螺纹连接。
[0012]所述光刻胶吐出装置，其还包括盖帽，所述盖帽套设于所述限位部上，并与所述限位部可拆卸连接；所述盖帽的底部设置有装配孔，所述装配孔与所述盖帽的中心孔连通，并供所述光刻胶管穿过；装配孔的直径小于所述锁管器的最大直径。
[0013]所述光刻胶吐出装置，其中，所述盖帽的中心孔的侧壁上设置有螺纹；所述限位部上设置有外螺纹，并通过所述外螺纹与所述盖帽螺纹连接。
[0014]所述光刻胶吐出装置，其中，所述盖帽的外径、所述螺栓的头部的外径以及所述喷嘴的最大外径均相等。
[0015]所述光刻胶吐出装置，其中，所述锁管器包括套设于所述光刻胶管上的盖体和圆台形套筒；所述盖体扣合于所述圆台形套筒的大直径端；所述盖体和所述圆台形套筒的小直径端均与所述光刻胶管相贴合。
[0016]有益效果：将所述锁管器套设于所述光刻胶管上，并将所述锁管器过盈装配至所述通孔内，使得所述连接件的侧壁可以对所述锁管器产生挤压力；由于所述锁管器与所述光刻胶管相贴合，因此所述连接件的侧壁对所述锁管器产生挤压力时，所述锁管器同步对所述光刻胶管产生挤压，从而通过所述连接件将所述锁管器定位在所述光刻胶管上。而所述连接件又与所述喷嘴之间可拆卸连接，最终实现所述喷嘴与所述光刻胶管之间的装配定位，避免所述喷嘴与所述光刻胶管之间相互脱离，从而通过所述喷嘴进行光刻胶的喷涂，以更好的控制光刻胶的喷涂状态。
附图说明
[0017]图1是本技术所述光刻胶吐出装置的整体结构示意图；
[0018]图2是本技术中所述光刻胶吐出装置的整体截面示意图；
[0019]图3是本技术中未装配所述光刻胶管时，所述光刻胶吐出装置的分解结构示意图；
[0020]图4是本技术中未装配所述光刻胶管时，所述光刻胶吐出装置的分解结构截面示意图；
[0021]图5是本技术中所述盖帽的截面示意图；
[0022]图6是本技术中所述锁管器的分解结构示意图。
具体实施方式
[0023]为使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚、明确，以下参照附图并举实施例对本技术进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。
[0024]请同时参阅图1
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图6，本技术提供一种光刻胶吐出装置的实施例：如图1
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图4所示，所述光刻胶吐出装置包括：光刻胶管1、喷嘴2、连接件3和锁管器4；所述连接件3与所述喷嘴2可拆卸连接；所述连接件3上设置有通孔30；所述通孔30与所述喷嘴2的内腔连通；所述锁管器4套设于所述光刻胶管1上，并与所述光刻胶管1相贴合；所述锁管器4布置于所述通孔30内，并与所述通孔30过盈配合。
[0025]本技术中，将所述锁管器4套设于所述光刻胶管1上，并将所述锁管器4过盈装配至所述通孔30内，使得所述连接件3的侧壁可以对所述锁管器4产生挤压力；由于所述锁管器4与所述光刻胶管1相贴合，因此所述连接件3的侧壁对所述锁管器4产生挤压力时，所述锁管器4同步对所述光刻胶管1产生挤压，从而通过所述连接件3将所述锁管器4定位在所述光刻胶管1上。而所述连接件3又与所述喷嘴2之间可拆卸连接，最终实现所述喷嘴2与所述光刻胶管1之间的装配定位，避免所述喷嘴2与所述光刻胶管1之间相互脱离，从而通过所述喷嘴2进行光刻胶的喷涂，以更好的控制光刻胶的喷涂状态。
[0026]本实施例中一具体实施方式，如图3所示，所述锁管器4为圆台形锁管器4。具体的，沿所述光刻胶管1的轴向，所述锁管器4的一端为大直径端402，另一端为小直径端401。所述锁管器4的小直径端401朝向所述喷嘴2，且所述锁管器4的小直径端401的外径小于所述通孔30远离所述喷嘴2一端的直径。
[0027]具体装配过程中，首先将所述连接件3与所述喷嘴2连接，并将所述锁管器4套至所述光刻胶管1上；然后将所述锁管器4从所述连接件3远离所述喷嘴2的一侧插入所述通孔30内，并使所述锁管器4的小直径端401朝向所述喷嘴2方向。由于所述锁管器4的小直径端401的外径小于所述通孔30远离所述喷嘴2一端的直径，因此所述锁管器4的小直径端401与所述连接件3内壁之间具有间隙，使得所述锁管器4的小直径端401轻易即可插入所述通孔30内。随着所述锁管器4向所述通孔30深处的移动，所述锁管器4逐渐与所述连接件3的内壁相贴合，直至所述锁管器4完全插入所述通孔30内，所述连接件3挤压所述锁管器4，并将所述锁管器4定位在所述光刻胶管1上。
[0028]如图2
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图4所示，所述连接件3包括连接部31和限位部32；所述连接部31与所述喷嘴2可拆卸连接；如图2和图4所示，所述连接部31上设置有直孔301，本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种光刻胶吐出装置，其包括光刻胶管和喷嘴，其特征在于，其还包括连接件和锁管器；所述连接件与所述喷嘴可拆卸连接；所述连接件上设置有通孔；所述通孔与所述喷嘴的内腔连通；所述锁管器套设于所述光刻胶管上，并与所述光刻胶管相贴合；所述锁管器与所述通孔过盈配合。2.根据权利要求1所述光刻胶吐出装置，其特征在于，所述锁管器为圆台形锁管器，所述锁管器的小直径端朝向所述喷嘴，且所述锁管器的小直径端的外径小于所述通孔远离所述喷嘴一端的直径。3.根据权利要求2所述光刻胶吐出装置，其特征在于，所述连接件包括连接部和限位部；所述连接部与所述喷嘴可拆卸连接；所述连接部上设置有直孔；所述限位部设置于所述连接部远离所述喷嘴一侧；所述限位部上设置有锥形孔；所述锥形孔与所述锁管器过盈配合；所述锥形孔的小直径端朝向所述喷嘴，并与所述直孔连通，以构成所述通孔。4.根据权利要求3所述光刻胶吐出装置，其特征在于，所述锥形孔的最小直径大于所述直孔的直径，且小于所述锁管器的最小外径和所述光刻胶管的外径。5.根据权利要求3所述光刻胶吐出装置，其特征在...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄宗友，
申请(专利权)人：重庆康佳光电技术研究院有限公司，
类型：新型
国别省市：
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