一种晶圆放置框的可调节工作台制造技术

本实用新型专利技术属于芯片生产的技术领域，具体为一种晶圆放置框的可调节工作台，一种晶圆放置框的可调节工作台，包括支撑台、电动机、卡扣，其特征在于，所述的支撑台上转动连接有升降丝杠，所述的支撑台上滑动连接有与丝杠螺纹连接的移动平台，所述的移动平台上可拆卸连接有承载台，所述的承载台上沿周向间隔开设有四组滑动槽，四组所述的滑动槽内均转动连接有调节丝杠，所述的调节丝杠一端固定连接有第一锥齿轮，四组所述的滑动槽内均滑动连接有与丝杠螺纹连接的夹紧板，所述的支撑板底端转动连接有与第一锥齿轮配合的第二锥齿轮。有与第一锥齿轮配合的第二锥齿轮。有与第一锥齿轮配合的第二锥齿轮。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆放置框的可调节工作台


[0001]本技术属于芯片生产的
，具体为一种晶圆放置框的可调节工作台。

技术介绍

[0002]在加工晶圆时，一般将晶圆放置框放置到加工机器的工作台上，现有放置晶圆放置框工作台的夹紧装置不能进行调整，需要将整个工作台的夹紧装置进行更换去适用于不同大小的晶圆放置框，在频繁更换不同规格大小的晶圆放置框时，现有的工作台会导致工作效率降低，同时拆卸麻烦，给工作人员增加工作量。

技术实现思路

[0003]针对现有技术存在的不足，本技术的目的是提供了一种晶圆放置框的可调节工作台，解决了现有放置晶圆放置框工作台的夹紧装置不能进行调整，需要将整个工作台的夹紧装置进行更换去适用于不同大小的晶圆放置框，在频繁更换不同规格大小的晶圆放置框时，现有的工作台会导致工作效率降低，同时拆卸麻烦，给工作人员增加工作量的技术问题。
[0004]本技术采取的方案为：一种晶圆放置框的可调节工作台，包括支撑台、电动机、卡扣，其特征在于，所述的支撑台上转动连接有升降丝杠，所述的支撑台上滑动连接有与丝杠螺纹连接的移动平台，所述的移动平台上可拆卸连接有承载台，所述的承载台上沿周向间隔开设有四组滑动槽，四组所述的滑动槽内均转动连接有调节丝杠，所述的调节丝杠一端固定连接有第一锥齿轮，四组所述的滑动槽内均滑动连接有与丝杠螺纹连接的夹紧板，所述的承载台底端转动连接有与第一锥齿轮配合的第二锥齿轮。
[0005]优选的，所述的第二锥齿轮转动轴端固定连接有手柄，所述的手柄上沿周向间隔设有数组摩擦槽，所述的手柄与承载台间设有卡扣。
[0006]优选的，所述的滑动槽内滑动连接有与有调节丝杠套设的辅助板，所述的辅助板与夹紧板之间间隔固定连接有数组夹紧弹簧，所述的辅助板上间隔固定连接有数组矩形块。
[0007]优选的，所述的辅助板上部向外倾斜。
[0008]本技术的有益效果：
[0009]通过驱动电动机，使得调节丝杠转动，带动移动平台动作，同时与移动平台可拆卸连接的承载台也随之动作，在需要调节夹紧板之间的距离时，通过调整手柄，带动第二锥齿轮动作，使得与之啮合的第一锥齿轮也动作，达到了调节夹紧板位置的目的，将夹紧板调节到合适的距离位置，可以在承载台与手柄之间安装卡扣，在调节夹紧板后，通过卡扣将保持夹紧板的位置不能发生改变；
[0010]调节完毕后，将晶圆放置框放置到承载台上，首先与辅助板接触，由于辅助板上部向外倾斜，很好的起到了过渡作用，可以顺利的将晶圆放置框放置到承载台上，通过夹紧弹簧可以将晶圆放置板夹紧，达到晶圆放置框不会晃动的目的；
[0011]在夹紧板上间隔设的矩形块，是为了增大摩擦力，使得辅助板与晶圆放置框间配合的更为紧固。
附图说明
[0012]图1是本技术的立体图视角之一。
[0013]图2是本技术的立体剖图视角之一。
[0014]图3是本技术的立体剖图视角之二。
[0015]附图标记：1、支撑台；2、升降丝杠；3、移动平台；4、承载台；5、滑动槽；6、调节丝杠；7、第一锥齿轮；8、夹紧板；9、第二锥齿轮；10、手柄；11、摩擦槽；12、辅助板；13、夹紧弹簧；14、矩形块；15、电动机。
具体实施方式
[0016]有关本技术的前述及其他
技术实现思路
、特点与功效，在以下配合参考附图1
‑
3实施例的详细说明中，将可清楚的呈现。以下实施例中所提到的结构内容，均是以说明书附图为参考。
[0017]下面将参照附图描述本技术的各示例性的实施例。
[0018]实施例一，一种晶圆放置框的可调节工作台，包括支撑台1，电动机15、卡扣，其特征在于，所述的支撑台1上转动连接有升降丝杠2，所述的支撑台1上滑动连接有与丝杠2螺纹连接的移动平台3，所述的移动平台3上可拆卸连接有承载台4，所述的承载台4上沿周向间隔开设有四组滑动槽5，四组所述的滑动槽5内均转动连接有调节丝杠6，所述的调节丝杠6一端固定连接有第一锥齿轮7，四组所述的滑动槽5内均滑动连接有与调节丝杠6螺纹连接的夹紧板8，所述的承载台底端转动连接有与第一锥齿轮7配合的第二锥齿轮9，所述的升降丝杠2由电动机15驱动。
[0019]实施例二，在实施例一的基础上，所述的第二锥齿轮9转动轴端固定连接有手柄10，所述的手柄10上沿周向间隔设有数组摩擦槽11，所述的手柄10与承载台4间设有卡扣。
[0020]实施例三，在实施例二的基础上，所述的滑动槽5内滑动连接有与有调节丝杠6套设的辅助板12，所述的辅助板12与夹紧板8之间间隔固定连接有数组夹紧弹簧13，所述的辅助板12上间隔固定连接有数组矩形块14。
[0021]实施例四，在实施例三的基础上，所述的辅助板12上部向外倾斜。
[0022]该实施例在使用的时候，通过驱动电动机，使得调节丝杠6转动，带动移动平台3动作，同时与移动平台3可拆卸连接的承载台4也随之动作，在需要调节夹紧板8之间的距离时，通过调整手柄10，带动第二锥齿轮9动作，使得与之啮合的第一锥齿轮7也动作，达到了调节夹紧板8位置的目的，将夹紧板8调节到合适的距离位置，可以在承载台4与手柄10之间安装卡扣，在调节夹紧板8后，通过卡扣将保持夹紧板8的位置不能发生改变；
[0023]调节完毕后，将晶圆放置框放置到承载台4上，首先与辅助板12接触，由于辅助板12上部向外倾斜，很好的起到了过渡作用，可以顺利的将晶圆放置框放置到承载台4上，通过夹紧弹簧13可以将晶圆放置框夹紧，达到晶圆放置框不会晃动的目的；
[0024]在夹紧板8上间隔设的矩形块14，是为了增大摩擦力，使得辅助板12与晶圆放置框间配合的更为紧固。
[0025]上面所述只是为了说明本技术，应该理解为本技术并不局限于以上实施例，符合本技术思想的各种变通形式均在本技术的保护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆放置框的可调节工作台，包括支撑台（1）、电动机（15）、卡扣，其特征在于，所述的支撑台（1）上转动连接有升降丝杠（2），所述的支撑台（1）上滑动连接有与丝杠（2）螺纹连接的移动平台（3），所述的移动平台（3）上可拆卸连接有承载台（4），所述的承载台（4）上沿周向间隔开设有四组滑动槽（5），四组所述的滑动槽（5）内均转动连接有调节丝杠（6），所述的调节丝杠（6）一端固定连接有第一锥齿轮（7），四组所述的滑动槽（5）内均滑动连接有与调节丝杠（6）螺纹连接的夹紧板（8），所述的承载台（4）底端转动连接有与第一锥齿轮（7）配合的第二锥齿轮（9），所述的升降丝杠（2）由电动机（15）驱动。...

【专利技术属性】
技术研发人员：兑志魁，郑自菲，陈松涛，
申请(专利权)人：郑州轨道交通信息技术研究院，
类型：新型
国别省市：