一种长晶炉炉门开合机构及长晶炉制造技术

一种长晶炉炉门开合机构及长晶炉，其中，长晶炉包括炉体和设于炉体顶部的炉门，炉门开合机构包括连接架、固定架和升降装置，固定架连接于炉体，连接架的一端用于连接炉门，连接架的另一端铰接于固定架，升降装置分别连接于炉体和连接架的中部，以驱动连接架绕固定架转动。本申请的技术方案，通过连接架和固定架使炉门铰接于炉体，通过升降装置驱动连接架翻转并绕固定架转动，从而可以快速方便的实现炉门的开合，省时省力，动作反应迅速灵敏，从而解决了炉门开合复杂且开合时动作反应慢，不够灵敏的问题。的问题。的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种长晶炉炉门开合机构及长晶炉


[0001]本申请涉及晶体生长
，尤其涉及一种长晶炉炉门开合机构及长晶炉。

技术介绍

[0002]长晶炉是用于晶体生长的一种设备，生产工艺要求设备具有极高的密封性能，以保证其内部的极高真空及极高温状态，所以长晶炉的炉体和炉门一般较为厚重。炉体通常放置于预设位置后不再移动，而炉门则以由于生产要求会需要开合。因晶体生长周期较长，炉门不经常拆装，所以一般长晶炉的炉门的安装方式多为航车起吊安装，然后用螺栓固定锁紧，或采用齿轮齿条机构将炉门提起，炉门的安装机构较为复杂，导致炉门开合时过程复杂，且开合动作反应慢，不够灵敏。
[0003]因此，需要一种长晶炉炉门开合机构，以能够解决炉门开合复杂且开合时动作反应慢，不够灵敏的问题。

技术实现思路

[0004]本申请的主要目的在于，提供一种长晶炉炉门开合机构及长晶炉，以能够解决炉门开合复杂且开合时动作反应慢，不够灵敏的问题。
[0005]为解决上述技术问题，本申请的第一方面提供一种长晶炉炉门开合机构，所述长晶炉包括炉体和设于所述炉体顶部的炉门，所述炉门开合机构包括连接架、固定架和升降装置，其中，
[0006]所述固定架连接于所述炉体，所述连接架的一端用于连接所述炉门，所述连接架的另一端铰接于所述固定架，所述升降装置分别连接于所述炉体和所述连接架的中部，以驱动所述连接架绕所述固定架转动。
[0007]优选地，所述升降装置包括电动缸组件，所述电动缸组件包括缸体、活塞、伺服电机以及电机控制器；
[0008]所述缸体沿竖直方向设置，所述缸体的一端铰接于所述炉体的底部，所述活塞滑动连接于所述缸体的另一端，且所述活塞铰接于所述连接架的中部；
[0009]所述电机控制器控制所述伺服电机运转，以使所述活塞沿所述缸体升降。
[0010]优选地，所述电动缸组件还包括测位动作器和测位传感器，所述测位动作器设于所述活塞上，所述测位传感器设于所述缸体上，所述测位传感器监测所述测位动作器的位置，所述控制器接收所述测位传感器的监测信号，并根据所述监测信号控制所述伺服电机的启停。
[0011]优选地，所述固定架包括相互平行且沿水平方向设置的一对第一侧板，一对所述第一侧板的一端连接于所述炉体，每个所述第一侧板上设有轴承座。
[0012]优选地，所述连接架包括相互平行的一对第二侧板，一对所述第二侧板之间设有至少一对连接肋板，每个所述第二侧板的一端连接有安装板，每个所述安装板通过一个第一固定组件与所述炉门的顶部相连接，每个所述第二侧板的另一端向下伸出；
[0013]一对所述第二侧板的所述另一端之间设有转轴，所述转轴的两端分别通过轴承转动连接于一对所述第一侧板的所述轴承座内。
[0014]优选地，还包括第二固定组件，位于所述炉门上方的一个所述连接肋板通过所述第二固定组件连接于所述炉门的顶部；
[0015]所述第一固定组件和所述第二固定组件均分别包括螺栓、螺栓安装座和螺母，所述螺栓安装座设于所述炉门的顶部，所述螺栓穿过所述连接肋板或所述安装板连接于所述螺栓安装座内，所述螺母旋紧于所述螺栓的顶部。
[0016]优选地，靠近所述转轴处的所述连接肋板上设有朝下设置的第一连接耳，所述活塞的端部与所述第一连接耳通过第一铰接轴铰接。
[0017]优选地，每个所述第一侧板与所述炉体之间设有加强筋板，
[0018]和/或，
[0019]一对所述第一侧板之间设有至少一个加强连接板。
[0020]优选地，还包括支撑座，所述炉体为筒形，所述支撑座设于所述炉体的底部外壁上，所述支撑座的顶部设有第二连接耳，所述缸体的所述一端铰接于所述连接耳。
[0021]本申请的第二方面还提供一种长晶炉，包括炉体、炉门以及上述的长晶炉炉门开合机构，所述炉体放置于底座上，所述炉体的顶部设有开口，所述炉门通过所述连接架和所述固定架可开合的连接于所述炉体的顶部，所述升降装置驱动所述连接架抬起或落下，以使所述炉门打开或关闭所述开口。
[0022]相较于现有技术，本申请提供的长晶炉炉门开合机构及长晶炉至少具有以下有益效果：通过连接架和固定架使炉门铰接于炉体，通过升降装置驱动连接架翻转并绕固定架转动，从而可以快速方便的实现炉门的开合，省时省力，动作反应迅速灵敏，从而解决了炉门开合复杂且开合时动作反应慢，不够灵敏的问题。
[0023]上述说明仅是本申请技术方案的概述，为了能够更清楚了解本申请的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本申请的较佳实施例并配合附图详细说明如后。
附图说明
[0024]通过参考附图阅读下文的详细描述，本申请示例性实施方式的上述以及其他目的、特征和优点将变得易于理解。在附图中，以示例性而非限制性的方式示出了本申请的若干实施方式，相同或对应的标号表示相同或对应的部分，其中：
[0025]图1示出了本申请的一个示例性实施例的长晶炉炉门开合机构的结构示意图；
[0026]图2示出了本申请的一个示例性实施例的长晶炉炉门开合机构的侧视图；
[0027]图3示出了本申请的一个示例性实施例的长晶炉炉门开合机构驱动炉门打开的状态示意图。
[0028]附图标号说明：
[0029]1炉体，2炉门，3螺栓，4螺母，5连接架，51第二侧板，52连接肋板，53安装板，54第一连接耳，6轴承座，7轴承，8转轴，9固定架，91第一侧板，10电动缸组件，101活塞，102缸体，103测位传感器，104测位动作器，105伺服电机，11第二连接耳，12支撑座，121顶板，122立板。
具体实施方式
[0030]下面将参照附图更详细地描述本申请的示例性实施方式。虽然附图中显示了本申请的示例性实施方式，然而应当理解，可以以各种形式实现本申请而不应被这里阐述的实施方式所限制。相反，提供这些实施方式是为了能够更透彻地理解本申请，并且能够将本申请的范围完整的传达给本领域的技术人员。
[0031]需要注意的是，除非另有说明，本申请使用的技术术语或者科学术语应当为本申请所属领域技术人员所理解的通常意义。
[0032]在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。
[0033]实施例1
[0034]为解决现有技术存在的问题，本申请的实施例1提供一种长晶炉炉门开合机构，如图1至图3所示，长晶炉包括炉体1和设于炉体1顶部的炉门2，炉门开合机构包括连接架5、固定架9和升降装置，其中，
[0035]固定架9连接于炉体1，连接架5的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种长晶炉炉门开合机构，其特征在于，所述长晶炉包括炉体和设于所述炉体顶部的炉门，所述炉门开合机构包括连接架、固定架和升降装置，其中，所述固定架连接于所述炉体，所述连接架的一端用于连接所述炉门，所述连接架的另一端铰接于所述固定架，所述升降装置分别连接于所述炉体和所述连接架的中部，以驱动所述连接架绕所述固定架转动。2.根据权利要求1所述的长晶炉炉门开合机构，其特征在于，所述升降装置包括电动缸组件，所述电动缸组件包括缸体、活塞、伺服电机以及电机控制器；所述缸体沿竖直方向设置，所述缸体的一端铰接于所述炉体的底部，所述活塞滑动连接于所述缸体的另一端，且所述活塞铰接于所述连接架的中部；所述电机控制器控制所述伺服电机运转，以使所述活塞沿所述缸体升降。3.根据权利要求2所述的长晶炉炉门开合机构，其特征在于，所述电动缸组件还包括测位动作器和测位传感器，所述测位动作器设于所述活塞上，所述测位传感器设于所述缸体上，所述测位传感器监测所述测位动作器的位置，所述控制器接收所述测位传感器的监测信号，并根据所述监测信号控制所述伺服电机的启停。4.根据权利要求2所述的长晶炉炉门开合机构，其特征在于，所述固定架包括相互平行且沿水平方向设置的一对第一侧板，一对所述第一侧板的一端连接于所述炉体，每个所述第一侧板上设有轴承座。5.根据权利要求4所述的长晶炉炉门开合机构，其特征在于，所述连接架包括相互平行的一对第二侧板，一对所述第二侧板之间设有至少一对连接肋板，每个所述第二侧板的一端连接有安装板，每个所述安装板通过一个第一固定组件与所...

【专利技术属性】
技术研发人员：钱苏宁，
申请(专利权)人：芜湖东旭光电装备技术有限公司，
类型：新型
国别省市：