本实用新型专利技术公开了一种单晶炉排气管道的清理装置，包括管体，管体的内腔固定装配有隔板，管体的中心处贯穿有伸缩轴，伸缩轴的左端一体成型有清理架，开口槽的中心处装配有辅助清理机构，开口槽内开设有贯穿清理架的通孔，伸缩轴的中心处装配有与辅助清理机构传动连接的驱动组件。在清理架向左运动时，辅助清理机构的辅助清理板保持水平，排气管道内的杂质可以通过通孔进入到清理架的右侧，然后在伸缩轴带动清理架进行复位时，通过驱动组件使辅助清理机构的辅助清理板保持垂直，保证杂质可以进入到第一内腔中进行后续的集中处理，通过在清理架侧壁所设置的清洁棉块可以进一步加强对排气管道内腔侧壁的清理。对排气管道内腔侧壁的清理。对排气管道内腔侧壁的清理。
【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉排气管道的清理装置
[0001]本技术涉及单晶炉排气管
，具体涉及一种单晶炉排气管道的清理装置。
技术介绍
[0002]单晶炉是生产单晶硅的主要设备，在单晶炉对单晶硅进行生产的过程中需要使用到排气管道对生产过程中所产生的气体进行排放，从而保证单晶炉内部压力的稳定，但是在生产的过程中所产生的杂质(生产单晶硅的挥发物)会在排气管道内进行堆积，若是杂质堆积的过多很容易影响排气管道排气的通畅，从而对单晶炉生产单晶硅的产品质量造成影响。
[0003]为了保证排气管道的排气通畅，需要对排气管道内的杂质进行清理，现有的清理设备在使用的过程中多为将排气管道内的杂质单晶炉内进行推送，虽然疏通了排气管道，但是不能将杂质从排气管道内清除，随着杂质的后续增多还会对排气管道内造成堵塞。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于提供一种单晶炉排气管道的清理装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种单晶炉排气管道的清理装置，包括管体，所述管体的左端一体成型有对接口，所述管体的内腔固定装配有隔板，所述管体的中心处贯穿有伸缩轴，所述伸缩轴的左端一体成型有清理架，所述伸缩轴的右端外侧壁套接有把手套，所述清理架的侧壁开设有开口槽，且开口槽的中心处装配有辅助清理机构，所述开口槽内开设有贯穿清理架的通孔，所述伸缩轴的中心处装配有与辅助清理机构传动连接的驱动组件。
[0006]优选的，所述隔板的侧壁开设有透气孔，所述管体的侧壁开设有透气槽，所述透气孔和透气槽内均固定安装有隔网。
[0007]优选的，所述清理架的外侧壁开设有卡槽，所述卡槽内卡接有清洁棉。
[0008]优选的，所述辅助清理机构包括安装块，所述安装块固定安装在清理架的侧壁，所述安装块的侧壁均匀开设有装配槽，所述装配槽内通过转动轴转动连接有辅助清理板。
[0009]优选的，所述驱动组件包括驱动轴，所述驱动轴贯穿伸缩轴的内腔，所述驱动轴的侧壁与伸缩轴的内腔之间装配有限位机构，所述驱动轴的左端固定安装有固定块，所述固定块的侧壁铰接有连接架的一端，且连接架的另一端与辅助清理板的侧壁相铰接，所述驱动轴的右端固定安装有把手块。
[0010]优选的，所述限位机构包括限位滑块和限位滑槽，所述限位滑块固定安装在驱动轴的侧壁，所述限位滑块滑动连接于限位滑槽内，所述限位滑槽开设在伸缩轴的内腔侧壁。
[0011]与现有技术相比，本技术的有益效果是：一种单晶炉排气管道的清理装置，在使用的过程中通过对接口与单晶炉的排气管道相对接后，通过伸缩轴带动清理架进行运
动，在清理架向左运动时，辅助清理机构的辅助清理板保持水平，排气管道内的杂质可以通过通孔进入到清理架的右侧，然后在伸缩轴带动清理架进行复位时，通过驱动组件使辅助清理机构的辅助清理板保持垂直，对通孔进行部分遮挡，保证杂质可以进入到第一内腔中进行后续的集中处理，通过在清理架侧壁所设置的清洁棉块可以进一步加强对排气管道内腔侧壁的清理，通过本技术，操作简单、方便，使生产单晶硅过程中单晶炉排气管道保持通畅，提高单晶硅的生产质量。
附图说明
[0012]图1为本技术的结构示意图。
[0013]图2为本技术伸缩轴向左侧移动的结构示意图。
[0014]图3为图2中的a处细节图。
[0015]图4为本技术伸缩轴复位过程中的结构示意图。
[0016]图5为图4中的b处细节图。
[0017]图中：1、管体，2、对接口，3、隔板，4、第一内腔，5、第二内腔，6、透气孔，7、透气槽，8、隔网，9、伸缩轴，10、清理架，11、把手套，12、卡槽，13、清洁棉块，14、开口槽，15、辅助清理机构，151、安装块，152、装配槽，153、辅助清理板，16、驱动组件，161、驱动轴，162、把手块，163、固定块，164、连接架，17、限位机构，171、限位滑块，172、限位滑槽，18、通孔。
具体实施方式
[0018]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0019]请参阅图1至图5，本技术提供一种技术方案：一种单晶炉排气管道道的清理装置，包括管体1，管体1的左端一体成型有对接口2，对接口2呈喇叭状，喇叭状的对接口2用于与单晶炉的排气管道相对接，管体1的内腔一体成型有隔板3，通过隔板3将管体1的内腔分为第一内腔4和第二内腔5，第一内腔4为杂质暂存腔，在对排气管道进行清理的过程中所清理出的杂质进入到杂质暂存腔4内进行暂存，隔板3的侧壁均匀开设有透气孔6，第一内腔4通过透气孔6与第二内腔5相连通，第二内腔5的侧壁开设有透气槽7，通过设置透气孔6和透气槽7，使在单晶炉过程中的过程中对排气管道内进行杂质的清理时，排气管道内的气体可以通过第一内腔4和第二内腔5向外排放，避免影响单晶炉内工作环境的压力，保证产品的生产质量。
[0020]在透气孔6与透气槽7内均固定安装有隔网8，通过所设置的隔网8使在对杂质进行清理的过程中，杂质不能通过透气孔6和透气槽7向外发生飘散，从而对周围的环境造成污染。
[0021]管体1的中心处插接有贯穿管体1的伸缩轴9，伸缩轴9的左端一体成型有清理架10，清理架10插接至单晶炉的排气管道内，且伸缩轴9的右端外侧壁固定安装有把手套11，通过把手套11带动伸缩轴9运动使清理架10对排气管道内的杂质进行清理，清理架10的外侧壁开设有卡槽12，卡槽12内卡接有清洁棉13，清理架10的横截面呈圆形，清理架10的尺寸
略小于排气管道的内腔，当清理架10插接至排气管道的内腔后使清洁棉13与排气管道的内腔侧壁相贴合，在清理架10移动的过程中，通过清洁棉13可以对排气管道的内腔侧壁进行清理，清洁棉13卡接在呈环形的卡槽12内，通过对清洁棉13定期进行更换，可以保证清洁棉13对排气管道内腔侧壁的清洁效果。
[0022]清理架10的左侧壁开设有开口槽14，开口槽14的中心处固定安装有安装块151，开口槽14的侧壁开设有通孔18，通孔18呈扇形，通孔18以安装块151的中心处为圆形均匀分布，通过通孔18用于在清理过程中排气管道内杂质的通过，保证在清理过程中杂质可以进入到第一内腔4内进行集中收集处理，安装块151的侧壁开设有装配槽152，装配槽152的数量为四个，四个装配槽152以安装块151为中心呈圆周均匀分布，四个装配槽152内均通过转轴转动连接有辅助清理板153，伸缩轴9的中心处装配有与辅助清理板153传动连接的驱动组件16，通过所设置的驱动组件16可以使辅助清理板153保持水平或者保持垂直，安装块151、装配槽152和辅助清理板153组成辅助清理机构15，当清理架10向左侧至排气管道的深处移动时本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种单晶炉排气管道的清理装置，包括管体(1)，其特征在于：所述管体(1)的左端一体成型有对接口(2)，所述管体(1)的内腔固定装配有隔板(3)，所述管体(1)的中心处贯穿有伸缩轴(9)，所述伸缩轴(9)的左端一体成型有清理架(10)，所述伸缩轴(9)的右端外侧壁套接有把手套(11)，所述清理架(10)的侧壁开设有开口槽(14)，且开口槽(14)的中心处装配有辅助清理机构(15)，所述开口槽(14)内开设有贯穿清理架(10)的通孔(18)，所述伸缩轴(9)的中心处装配有与辅助清理机构(15)传动连接的驱动组件(16)。2.根据权利要求1所述的一种单晶炉排气管道的清理装置，其特征在于：所述隔板(3)的侧壁开设有透气孔(6)，所述管体(1)的侧壁开设有透气槽(7)，所述透气孔(6)和透气槽(7)内均固定安装有隔网(8)。3.根据权利要求1所述的一种单晶炉排气管道的清理装置，其特征在于：所述清理架(10)的外侧壁开设有卡槽(12)，所述卡槽(12)内卡接有清洁棉(13)。4.根据权利要求1所述的一种单晶炉排气管道的清理装置，其特征在于：所述辅助清理机...
【专利技术属性】
技术研发人员：张国峰，刘瑞强，穆光裕，
申请(专利权)人：辽宁博芯科半导体材料有限公司，
类型：新型
国别省市：
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