芯片检测分选机制造技术

本发明专利技术公开一种芯片检测分选机，包括第一上料盘输送机构、第二上料盘输送机构、多个下料盘输送机构、料盘翻转机械手、分选机械手、第一视觉检测装置、第二视觉检测装置以及第三视觉检测装置；第一上料盘输送机构用于上料满载有芯片的料盘；第二上料盘输送机构用于上料空载的料盘；下料盘输送机构用于下料料盘；第一视觉检测装置及第二视觉检测装置对料盘上的芯片依次拍照检测；料盘翻转机械手用于翻转并转移料盘；分选机械手用于对芯片的底面拍照检测，并对芯片分选转移。本发明专利技术芯片检测分选机可通过视觉检测芯片正反面后自动分选下料，全自动化测试，降低了工人的劳动强度，提高生产效率。效率。效率。

【技术实现步骤摘要】
芯片检测分选机


[0001]本专利技术涉及一种半导体检测分选机，尤其涉及一种通过视觉检测芯片正反面后自动分选下料的芯片检测分选机。

技术介绍

[0002]由于半导体或芯片在生产过程存在个体差异，性能有高低，质量有好坏，外形有瑕疵分，因此，在生产过程中需要及时对芯片进行分选，从而为后续生产提供参考。然而，在现有技术中，半导体或芯片的测试及分选往往需要人工辅助，例如，需要工人将芯片放入检测机内，利用检测机检测，检测完成后又需要工人将芯片取出翻转或者放入新的芯片再检测。而在检测完成后又需要工人根据测度结果将芯片进行人工分类。因此，现有的这种方式自动化程度低、工人的工作强度大，生产效率比较低，不利于大批量生产。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的在于提供一种通过视觉检测芯片正反面后自动分选下料的芯片检测分选机，其可实现全自动化检测，降低工人的劳动强度，提高生产效率。
[0004]为了实现上述目的，本专利技术提供的芯片检测分选机包括第一上料盘输送机构、第二上料盘输送机构、多个下料盘输送机构、料盘翻转机械手、分选机械手、第一视觉检测装置、第二视觉检测装置以及第三视觉检测装置；所述第一上料盘输送机构、所述第二上料盘输送机构及多个所述下料盘输送机构依次并排地设置；所述第一上料盘输送机构用于上料满载有芯片的料盘；所述第二上料盘输送机构用于上料空载的料盘；所述下料盘输送机构用于下料满载有分选芯片的料盘；所述第一视觉检测装置及第二视觉检测装置沿输送方向依次设置于所述第一上料盘输送机构的中部上方，以对料盘上的芯片反面依次拍照检测；所述料盘翻转机械手横跨于所述第一上料盘输送机构、第二上料盘输送机构以及多个所述下料盘输送机构的端部上方，以将所述第一上料盘输送机构上的料盘翻转并转移到所述下料盘输送机构上，或者将所述第二上料盘输送机构的空料盘转移到所述下料盘输送机构上；所述第三视觉检测装置对翻转后的芯片正面进行拍照检测；所述分选机械手横跨于多个所述下料盘输送机构的上方；所述分选机械手包括分选手臂及第四视觉检测装置，以对芯片的正面拍照检测，并将芯片在多个所述下料盘输送机构的料盘之间分选转移。
[0005]与现有技术相比，由于本专利技术通过设置第一上料盘输送机构对满载有芯片的料盘上料，然后在所述第一上料盘输送机构的中部设置第一视觉检测装置及第二视觉检测装置，利用所述第一视觉检测装置及第二视觉检测装置对料盘上的芯片的反面进行视觉检测，从而可以检测出各个芯片的差异。再通过并排地设置第二上料盘输送机构及多个上料盘输送机构，利用第二上料盘输送机构上空料盘，又利用所述料盘翻转机械手将满载芯片的料盘翻转后转移到所述下料盘输送机构上，最后利用所述第三视觉检测装置及第四视觉检测装置对芯片的正面进行检测并通过所述分选机械手将芯片分类并将不同类别的芯片转移到不同的下料盘输送机构上。因此，本专利技术芯片检测分选机无需人工进行检测及分类，
整个过程从上料盘、检测、分选及下料均自动完成，自动化程度极高，极大地降低劳动强度，提高生产效率。
[0006]较佳地，所述料盘翻转机械手包括基架、横向移动机构、移动支架、两竖向移动机构、抱盘气缸、爪手以及翻转治具，所述横向移动机构设置于所述基架上且输出端与所述移动支架连接，以驱动所述移动支架横向移动；其中一所述竖向移动机构设置于所述移动支架上且输出端与所述抱盘气盘连接，以驱动所述抱盘气缸竖向移动；所述抱盘气缸的输出端与所述爪手连接，以驱动使所述爪手抓取或释放所述料盘；另一所述竖向移动机构设置于所述移动支架上且输出端与所述翻转治具连接，所述翻转治具可驱使所述料盘翻转。通过设置所述抱盘气缸及爪手，利用所述抱盘气缸驱动爪手可以对空料盘快速地夹持并放置于翻转治具上，又再利用所述翻转治具对空料盘进行翻转，从而可以使得空料盘翻转180度，之后再利用抱盘气缸及爪手将翻转后的空料盘放置于装载有芯片的料盘上，然后使空料盘及载有芯片的料盘同时再次翻转，从而可以使得芯片从一料盘转移到另一料盘上并实现正反面翻转，达到自动翻转的目的，自动化程度高，有效降低劳动强度。
[0007]具体地，所述翻转治具包括基板、分盘气缸、下板、下板气缸、压紧气缸及旋转装置，所述基板呈中间镂空的框架结构，所述分盘气缸设置于所述基板上表面的相对两侧，所述下板分别设置于所述基板下底面的相对两侧，所述下板气缸设置于所述下板与所述基板之间，以驱动所述下板靠近或远离所述基板的中部；所述压紧气缸设置于所述基板与所述下板之间，以驱动所述下板靠近或远离所述基板的底面。通过利用上板472紧料盘，再利用所述旋转装置进行翻转，使得空料盘实现正反面翻转，又通过设置下板及下板气缸，可以使得两反向叠置的料盘能承载于所述翻转治具上，从而可以通过所述分盘气缸以及压紧气缸将两反向叠置的料盘定位并压紧，进而使得芯片能准确地从一料盘转移到另一料盘上，实现自动翻转。
[0008]具体地，所述翻转治具还包括上板及上板气缸，所述上板分别设置于所述基板上表的相对两侧，所述上板气缸设置于所述上板与所述基板之间，以驱动所述上板靠近或远离所述基板的中部。
[0009]具体地，所述下板上设有滑块、所述基板上设有滑轨，所述滑块与所述滑轨滑动地配合；所述滑块上设有导向柱、所述下板滑动地设置于所述导向柱，所述下板与所述滑块之间设有弹性件，以提供一使所述下板远离所述滑块的弹性力。通过在所述滑块上设置导向柱，并在所述下板与所述滑块之间设有弹性件，从而可以使得所述下板自动远离所述基板，并配合所述压紧气缸，进而可以将使两料盘自动相互压紧或自动释放。
[0010]具体地，所述翻转治具还包括震盘气缸，所述震盘气缸设置于所述基板上，以使所述料盘震动。设置所述震盘气缸，其可以在芯片从一料盘翻转到另一料盘的过程中对料盘生产震动，进而避免芯片因粘附于料盘上而无法翻转，有效提高芯片翻转的成功率。
[0011]具体地，所述压紧气缸的输出端连接有压板，所述压板延伸到两所述下板的底面，以在压紧时通过所述压板推动所述下板靠近所述基板。通过设置于所述压板可以利用一压紧气缸同时压紧两所述下板，有效减少所述压紧气缸的数量，使结构更加简化。
[0012]较佳地，所述第一视觉检测装置包括第一支架、第一横向驱动机构、第一平台、第一竖向驱动机构及第一相机，所述第一横向驱动机构设置于所述第一支架上，且输出端与所述第一平台连接，以驱动所述第一平台带动所述第一相机沿横向滑动；所述第一竖向驱
动机构设置于所述第一平台上且输出端与所述第一相机连接，以驱动所述第一相机靠近或远离所述料盘。这样可以使得所述第一相机能对料盘上的各个芯片进行有效检测，避免出现漏检。
[0013]较佳地，所述第二视觉检测装置包括第二支架、第二横向驱动机构、第二平台、第二竖向驱动机构及第二相机，所述第二横向驱动机构设置于所述第二支架上，且输出端与所述第二平台连接，以驱动所述第二平台带动所述第二相机沿横向滑动；所述第二竖向驱动机构设置于所述第二平台上且输出端与所述第二相机连接，以驱动所述第二相机靠近或远离所述料盘；所述第二相机的数量为至少二个。这样可以使得所述第二本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种芯片检测分选机，其特征在于，包括：第一上料盘输送机构、第二上料盘输送机构、多个下料盘输送机构、料盘翻转机械手、分选机械手、第一视觉检测装置、第二视觉检测装置以及第三视觉检测装置；所述第一上料盘输送机构、所述第二上料盘输送机构及多个所述下料盘输送机构依次并排地设置；所述第一上料盘输送机构用于上料满载有芯片的料盘；所述第二上料盘输送机构用于上料空载的料盘；所述下料盘输送机构用于下料满载有分选芯片的料盘；所述第一视觉检测装置及第二视觉检测装置沿输送方向依次设置于所述第一上料盘输送机构的中部上方，以对料盘上的芯片的反面依次拍照检测；所述料盘翻转机械手横跨于所述第一上料盘输送机构、第二上料盘输送机构以及多个所述下料盘输送机构的端部上方，以将所述第一上料盘输送机构上的料盘翻转并转移到所述下料盘输送机构上，或者将所述第二上料盘输送机构的空料盘转移到所述下料盘输送机构上；所述第三视觉检测装置对翻转后的芯片正面进行拍照检测；所述分选机械手横跨于多个所述下料盘输送机构的上方；所述分选机械手包括分选手臂及第四视觉检测装置，以对芯片的正面拍照检测，并将芯片在多个所述下料盘输送机构的料盘之间分选转移。2.如权利要求1所述的芯片检测分选机，其特征在于：所述料盘翻转机械手包括基架、横向移动机构、移动支架、两竖向移动机构、抱盘气缸、爪手以及翻转治具，所述横向移动机构设置于所述基架上且输出端与所述移动支架连接，以驱动所述移动支架横向移动；其中一所述竖向移动机构设置于所述移动支架上且输出端与所述抱盘气盘连接，以驱动所述抱盘气缸竖向移动；所述抱盘气缸的输出端与所述爪手连接，以驱动使所述爪手抓取或释放所述料盘；另一所述竖向移动机构设置于所述移动支架上且输出端与所述翻转治具连接，所述翻转治具可驱使所述料盘翻转。3.如权利要求2所述的芯片检测分选机，其特征在于：所述翻转治具包括基板、分盘气缸、下板、下板气缸、压紧气缸及旋转装置，所述基板呈中间镂空的框架结构，所述分盘气缸设置于所述基板上表面的相对两侧，所述下板分别设置于所述基板下底面的相对两侧，所述下板气缸设置于所述下板与所述基板之间，以驱动所述下板靠近或远离所述基板的中部；所述压紧气缸设置于所述基板与所述下板之间，以驱动所述下板靠近或远离所述基板的底面。4.如权利要求3所述的芯片检测分选机，其特征在于：所述翻转治具还包括上板及上板气缸，所述上板分别设置于所述基板上表的...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄爱科，刘亚军，李建平，孙健，杨乐，
申请(专利权)人：深圳市标王工业设备有限公司，
类型：发明
国别省市：