一种镀膜旋转靶靶芯结构制造技术

本发明专利技术涉及一种真空镀膜领域，尤其涉及一种镀膜旋转靶靶芯结构。本发明专利技术提供一种能够使磁铁呈扇形分布的镀膜旋转靶靶芯结构。一种镀膜旋转靶靶芯结构，包括有磁铁座；锁紧块，磁铁座底部均匀间隔连接有三个锁紧块，磁铁座为扇形，磁铁座的上部均匀间隔开有三个嵌入槽；水道，三个锁紧块与磁铁座之间放置有水道；限位调节机构，磁铁座上连接有限位调节机构；卡位机构，磁铁座上连接有卡位机构。本发明专利技术通过磁铁座为扇形，使得磁铁能够呈扇形分别，使得磁场分布均匀，提高溅射效率。提高溅射效率。提高溅射效率。

【技术实现步骤摘要】
一种镀膜旋转靶靶芯结构


[0001]本专利技术涉及一种真空镀膜领域，尤其涉及一种镀膜旋转靶靶芯结构。

技术介绍

[0002]目前现有的溅射靶材有两种，一种是平面靶材，另一种是旋转靶材，旋转靶材的利用率高于平面靶材，旋转靶材在使用中因长时间处于高温加工中，而靶材本身遇到高温会出现裂痕，因此，需对旋转靶材进行降温，而现有的旋转靶材的靶芯磁铁与冷却水管是一体的，磁铁分布呈平面，且没有固定磁铁的嵌入槽，磁铁容易倒造成电压波动大影响溅射的效率甚至无法溅射。
[0003]因此，需研发一种能够使磁铁呈扇形分布的镀膜旋转靶靶芯结构。

技术实现思路

[0004]为了克服现有的磁铁分布呈平面，容易影响溅射效率的缺点，本专利技术的技术问题：提供一种能够使磁铁呈扇形分布的镀膜旋转靶靶芯结构。
[0005]为实现以上目的，本专利技术通过以下方案予以实现：一种镀膜旋转靶靶芯结构，包括有：
[0006]磁铁座；
[0007]锁紧块，磁铁座底部均匀间隔连接有三个锁紧块，磁铁座为扇形，磁铁座的上部均匀间隔开有三个嵌入槽；
[0008]水道，三个锁紧块与磁铁座之间放置有水道；
[0009]限位调节机构，磁铁座上连接有用于对磁铁的两端进行夹紧的限位调节机构，限位调节机构部件左右移动带动磁铁左右移动，对磁铁的位置进行调节；
[0010]卡位机构，磁铁座上连接有用于对限位调节机构部件进行卡位的卡位机构，卡位机构与限位调节机构部件接触，卡位机构对限位调节机构进行限位，防止限位调节机构因惯性而往外移动松开磁铁。
[0011]可选地，限位调节机构包括有：
[0012]活动推块，磁铁座内部左右两侧均滑动式连接有用于对磁铁的两端进行夹紧的活动推块，活动推块有三个分支均穿过磁铁座；
[0013]螺杆，磁铁座左右两侧均螺纹式连接有螺杆，两个螺杆内侧均与相近的活动推块转动式连接，螺杆为中空型；
[0014]旋钮，两个螺杆外侧均连接有旋钮，旋钮为中空型，两个螺杆顶部均开有一字槽，通过活动推块左右移动，带动磁铁左右移动进行调节。
[0015]可选地，卡位机构包括有：
[0016]支架，磁铁座左右两侧均连接有两个支架；
[0017]转动杆，左侧的两个支架左侧之间转动式连接有转动杆，右侧的两个支架右侧之间转动式连接有转动杆；
[0018]第一卡块，两个转动杆中部均连接有第一卡块，两个第一卡块下部均与相近的一字槽接触；
[0019]扭力弹簧，两个转动杆中部均套有两个扭力弹簧，扭力弹簧有四个，扭力弹簧的两端分别与支架和第一卡块连接，通过第一卡块转动与一字槽配合，对螺杆进行限位，防止螺杆因惯性而往外移动松开磁铁。
[0020]可选地，还包括有用于减缓挤压力对磁铁进行保护的防护机构，防护机构包括有：
[0021]滑杆，两个活动推块上侧均滑动式连接有三个滑杆；
[0022]橡胶垫，六个滑杆内侧均连接有用于减缓挤压力的橡胶垫；
[0023]第一弹簧，六个滑杆外侧均套有第一弹簧，第一弹簧的两端分别与滑杆和活动推块连接。
[0024]可选地，还包括有用于将磁铁顶出嵌入槽的推料机构，推料机构包括有：
[0025]固定安装框，磁铁座内部中间连接有三个固定安装框，固定安装框有三个分支；
[0026]伸缩推块，每个分支内均滑动式连接有用于将磁铁顶出嵌入槽的伸缩推块，伸缩推块有九个，伸缩推块穿过磁铁座；
[0027]第二弹簧，伸缩推块底部与固定安装框之间连接有两个第二弹簧，第二弹簧有十八个。
[0028]可选地，还包括有用于对伸缩推块进行限位的旋转拉动机构，旋转拉动机构包括有：
[0029]旋转座，磁铁座左右两侧均连接有旋转座，旋转座位于螺杆下侧；
[0030]旋转杆，两个旋转座之间转动式连接有旋转杆，旋转杆穿过旋钮、螺杆、活动推块和固定安装框，旋转杆顶部左右两侧均开有限位槽；
[0031]限位组件，两个旋转座顶部均连接有用于对旋转杆进行限位的限位组件；
[0032]旋转带动组件，旋转杆中部连接有三个用于对伸缩推块进行限位的旋转带动组件，旋转带动组件与伸缩推块连接，通过限位组件对旋转杆进行限位，带动旋转带动组件对伸缩推块进行限位，防止伸缩推块自动带动磁铁往外侧移动。
[0033]可选地，限位组件包括有：
[0034]第二卡块，两个旋转座顶部均滑动式连接有第二卡块，两个第二卡块均与相近的限位槽接触；
[0035]第三弹簧，两个第二卡块上部均与相近的旋转座顶部之间连接有第三弹簧，通过第二卡块上下移动对旋转杆进行限位。
[0036]可选地，旋转带动组件包括有：
[0037]绕线轮，旋转杆中部连接有三个绕线轮，三个绕线轮分别位于三个固定安装框内；
[0038]拉绳，三个绕线轮上均连接有三个拉绳，左侧的三个拉绳分别与左侧的三个伸缩推块底部连接，中间的三个拉绳分别与中间的三个伸缩推块底部连接，右侧的三个拉绳分别与右侧的三个伸缩推块底部连接，通过绕线轮对拉绳进行收卷对伸缩推块进行限位，防止伸缩推块自动带动磁铁往外侧移动。
[0039]可选地，还包括有用于增加与水道之间的摩擦力的防滑机构，防滑机构包括有：
[0040]防滑座，磁铁座底部连接有两个防滑座，两个防滑锁分别位于每两个锁紧块之间；
[0041]防滑垫，两个防滑锁内部均连接有用于增加与水道之间的摩擦力的防滑垫，防滑
垫与水道接触。
[0042]本专利技术具有以下优点：1、本专利技术通过磁铁座为扇形，使得磁铁能够呈扇形分别，使得磁场分布均匀，提高溅射效率；通过橡胶垫对磁铁进行夹紧并缓冲对磁铁的挤压力，能够有效防止磁铁被损坏；在第二弹簧的复位作用下，使得伸缩推块将磁铁顶出嵌入槽，如此，便于工作人员拿取磁铁；通过绕线轮对拉绳进行收卷，能够对伸缩推块进行限位，无需工作人员手动对磁铁进行限位，有效防止伸缩推块自动带动磁铁往外侧移动；并且通过设有防滑垫，防滑垫能够增加与水道之间的摩擦力，避免水道自动脱落，提高稳定性。
附图说明
[0043]图1为本专利技术的立体结构示意图。
[0044]图2为本专利技术限位调节机构的立体结构示意图。
[0045]图3为本专利技术限位调节机构的部分立体结构示意图。
[0046]图4为本专利技术卡位机构的立体结构示意图。
[0047]图5为本专利技术卡位机构的部分立体结构示意图。
[0048]图6为本专利技术防护机构的立体结构示意图。
[0049]图7为本专利技术防护机构的部分立体结构示意图。
[0050]图8为本专利技术推料机构的立体结构示意图。
[0051]图9为本专利技术推料机构的剖视立体结构示意图。
[0052]图10为本专利技术旋转拉动机构的第一部分立体结构示意图。
[0053]图11为本专利技术旋转拉动机构的剖视立体结构示意图。
[0054]图12为本专利技术旋转拉动机构的剖视部分立体结构示意图。...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种镀膜旋转靶靶芯结构，其特征是：包括有：磁铁座(2)；锁紧块(1)，磁铁座(2)底部均匀间隔连接有三个锁紧块(1)，磁铁座(2)为扇形，磁铁座(2)的上部均匀间隔开有三个嵌入槽；水道(3)，三个锁紧块(1)与磁铁座(2)之间放置有水道(3)；限位调节机构(4)，磁铁座(2)上连接有用于对磁铁的两端进行夹紧的限位调节机构(4)，限位调节机构(4)部件左右移动带动磁铁左右移动，对磁铁的位置进行调节；卡位机构(5)，磁铁座(2)上连接有用于对限位调节机构(4)部件进行卡位的卡位机构(5)，卡位机构(5)与限位调节机构(4)部件接触，卡位机构(5)对限位调节机构(4)进行限位，防止限位调节机构(4)因惯性而往外移动松开磁铁。2.按照权利要求1所述的一种镀膜旋转靶靶芯结构，其特征是：限位调节机构(4)包括有：活动推块(41)，磁铁座(2)内部左右两侧均滑动式连接有用于对磁铁的两端进行夹紧的活动推块(41)，活动推块(41)有三个分支均穿过磁铁座(2)；螺杆(42)，磁铁座(2)左右两侧均螺纹式连接有螺杆(42)，两个螺杆(42)内侧均与相近的活动推块(41)转动式连接，螺杆(42)为中空型；旋钮(43)，两个螺杆(42)外侧均连接有旋钮(43)，旋钮(43)为中空型，两个螺杆(42)顶部均开有一字槽(44)，通过活动推块(41)左右移动，带动磁铁左右移动进行调节。3.按照权利要求2所述的一种镀膜旋转靶靶芯结构，其特征是：卡位机构(5)包括有：支架(51)，磁铁座(2)左右两侧均连接有两个支架(51)；转动杆(52)，左侧的两个支架(51)左侧之间转动式连接有转动杆(52)，右侧的两个支架(51)右侧之间转动式连接有转动杆(52)；第一卡块(53)，两个转动杆(52)中部均连接有第一卡块(53)，两个第一卡块(53)下部均与相近的一字槽(44)接触；扭力弹簧(54)，两个转动杆(52)中部均套有两个扭力弹簧(54)，扭力弹簧(54)有四个，扭力弹簧(54)的两端分别与支架(51)和第一卡块(53)连接，通过第一卡块(53)转动与一字槽(44)配合，对螺杆(42)进行限位，防止螺杆(42)因惯性而往外移动松开磁铁。4.按照权利要求2所述的一种镀膜旋转靶靶芯结构，其特征是：还包括有用于减缓挤压力对磁铁进行保护的防护机构(6)，防护机构(6)包括有：滑杆(62)，两个活动推块(41)上侧均滑动式连接有三个滑杆(62)；橡胶垫(61)，六个滑杆(62)内侧均连接有用于减缓挤压力的橡胶垫(61)；第一弹簧(63)，六个滑杆(62)外侧均套有第一弹簧(63)，第一弹簧(63)的两端分别与滑杆(62)和活动推块(41)连接。5.按照权利要求1所述的一种镀膜旋转靶靶芯结构，其特征是：还包括有用于将磁铁顶出嵌入槽的推料机构(7)，推料机构(7)包括有：固定安装框(71)，磁...

【专利技术属性】
技术研发人员：李强，王松林，陈志斌，喻贵，
申请(专利权)人：江西贵得科技有限公司，
类型：发明
国别省市：