【技术实现步骤摘要】
一种含有硅粉的氯硅烷废气回收设备
[0001]本技术涉及废气处理
，特别是涉及一种含有硅粉的氯硅烷废气回收设备。
技术介绍
[0002]多晶硅是制造集成电路、光伏太阳能电池等产品的关键基础材料，是发展信息产业和光伏新能源产业的重要基石。多晶硅生产过程中产生的废气主要成分为氯硅烷、氯化氢、氢气和氮气等，甚至还夹杂着一定量的硅粉。含氯硅烷废气的常用处理方法有水洗法、钙洗法和钠洗法，分别用水、石灰乳、氢氧化钠溶液为介质与含氯硅烷废气进行反应以去除废气中的氯硅烷。当采用石灰乳溶液水解中和处理废气中的氯硅烷和氯化氢时，淋洗产生废水的主要成分有氯化钙、硅酸钙、二氧化硅和未反应的石灰。该废水目前多采用中和过滤的工艺进行处理。由于废水中的硅酸钙、二氧化硅是气体和液体反应的产物，粒径很小，常用的压滤机不能有效去除，导致出水中的悬浮物较高，不能达标排放，造成环境影响。
[0003]现有技术中，提出了公开号为CN103111157A，公开日为2013年05月22日的中国专利技术专利文件，来解决上述存在的技术问题，该专利文献所公开的技...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种含有硅粉的氯硅烷废气回收设备，其特征在于：包括冷凝系统和回收处理装置；所述冷凝系统包括多级冷凝器，多级冷凝器的管程依次相连；最后一级冷凝器的壳程中的冷却介质的温度低于其他冷凝器的冷却介质的温度；最后一级冷凝器的管程出口与倒数第二级冷凝器的壳程进口相连，倒数第二级冷凝器的壳程出口与回收处理装置相连。2.根据权利要求1所述的一种含有硅粉的氯硅烷废气回收设备，其特征在于：所述冷凝系统包括第一级冷凝器（1）、第二级冷凝器（2）和第三级冷凝器（3），所述第一级冷凝器（1）的壳程中的冷却介质为循环水，第三级冷凝器（3）的壳程中的冷却介质为冷媒，第二级冷凝器（2）的壳程中的冷却介质为经过第三级冷凝器（3）处理后的不凝废气。3.根据权利要求1或2所述的一种含有硅粉的氯硅烷废气回收设备，其特征在于：还包括依次相连的布袋式过滤器（4）和压缩机（5），所述压缩机（5）的...
【专利技术属性】
技术研发人员：晋正茂，程茂林，马明，张强，
申请(专利权)人：四川永祥能源科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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