下载一种含有硅粉的氯硅烷废气回收设备的技术资料

文档序号:35072653

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本实用新型涉及废气处理技术领域,特别是涉及一种含有硅粉的氯硅烷废气回收设备,包括冷凝系统和回收处理装置;所述冷凝系统包括多级冷凝器,多级冷凝器的管程依次相连;最后一级冷凝器的壳程中的冷却介质的温度低于其他冷凝器的冷却介质的温度;最后一级冷凝...
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