一种CVD涂层尾气管冷凝器清理设备及尾气处理方法技术

本发明专利技术公开了一种CVD涂层尾气管冷凝器清理设备及尾气处理方法；包括清理箱体；丝杆，所述丝杆连接在所述清理箱体的内部并与所述清理箱体的轴线相重合；转动支架，所述转动支架的下部与所述丝杆之间螺纹连接，所述转动支架的上部连接有与所述丝杆传动连接的传动组件；滑动支架，所述转动支架滑动连接在所述转动支架上，所述滑动支架的两侧均设置有喷头组件；该装置通过喷头组件可以吸取清理箱体中的碱性溶液，经过喷头组件喷出后作用在清理箱体的内部，进而使碱性溶液雾化，充分与尾气进行反应，进一步提高装置的清洗效果；同时高压液体直接作用在清理箱体的内壁上后，还可以将附着在内壁上尾气与溶液反应生成的残渣进行清理。在内壁上尾气与溶液反应生成的残渣进行清理。在内壁上尾气与溶液反应生成的残渣进行清理。

【技术实现步骤摘要】
一种CVD涂层尾气管冷凝器清理设备及尾气处理方法


[0001]本专利技术属于尾气处理
，具体涉及一种CVD涂层尾气管冷凝器清理设备及尾气处理方法。

技术介绍

[0002]CVD是Chemical Vapor Deposition的简称，是指高温下的气相反应。硬质合金刀具深加工过程中，高端硬质合金刀具均需进行涂层工序，通常在CVD涂层炉中进行。CVD涂层炉尾气中的主要成为AlCl3和TiCl4，在清理过程中，直接将尾气通入至碱性溶液进行清理，但尾气直接通入到溶液当中并不能完全使尾气中的AlCl3和TiCl4和碱性溶液完全反应；同时尾气与溶液反应后生成的沉淀物附着在设备的内壁上，影响尾气与溶液反应的同时也不好对设备的内部进行清理。

技术实现思路

[0003]为了解决现有技术存在的上述问题，本专利技术目的在于提供一种CVD涂层尾气管冷凝器清理设备及尾气处理方法。
[0004]本专利技术所采用的技术方案为：
[0005]一种CVD涂层尾气管冷凝器清理设备，包括清理箱体；
[0006]丝杆，所述丝杆连接在所述本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种CVD涂层尾气管冷凝器清理设备，其特征在于：包括清理箱体(1)；丝杆(2)，所述丝杆(2)连接在所述清理箱体(1)的内部并与所述清理箱体(1)的轴线相重合；转动支架(3)，所述转动支架(3)的下部与所述丝杆(2)之间螺纹连接，所述转动支架(3)的上部连接有与所述丝杆(2)传动连接的传动组件(5)；滑动支架(4)，所述转动支架(3)滑动连接在所述转动支架(3)上，所述滑动支架(4)的两侧均设置有喷头组件(6)。2.根据权利要求1所述的一种CVD涂层尾气管冷凝器清理设备，其特征在于：所述丝杆(2)的两端均转动连接在所述清理箱体(1)上，所述丝杆(2)的顶端连接有固定组件(7)。3.根据权利要求2所述的一种CVD涂层尾气管冷凝器清理设备，其特征在于：所述固定组件(7)套设在所述丝杆(2)上，所述固定组件(7)包括第一电磁铁(701)，所述第一电磁铁(701)的移动端上固定设置有摩擦垫(702)，所述第一电磁铁(701)的移动端与固定端之间设置有第二弹性件(703)。4.根据权利要求1所述的一种CVD涂层尾气管冷凝器清理设备，其特征在于：所述传动组件(5)包括转动连接在所述转动支架(3)上的传动套筒(501)，所述传动套筒(501)上设置有凸台，所述凸台嵌入滑动连接在所述丝杆(2)的凹槽内。5.根据权利要求4所述的一种CVD涂层尾气管冷凝器清理设备，其特征在于：所述传动套筒(501)上套设有滑动套筒(502)，所述滑动套筒(502)与所述传动套筒(501)之间传动连接，所述滑动套筒(502)的地段固定连接有传动轮(503)，所述滑动套筒(502)与所述传动套筒(501)之间设置有第二电磁铁(504)。6.根据权利要求5所述的一种CVD涂层尾气管冷凝器清理设备，其特征在于：所...

【专利技术属性】
技术研发人员：王以任，徐同康，袁鹏，
申请(专利权)人：湖南富欧科技有限公司，
类型：发明
国别省市：