本实用新型专利技术提供一种高效气液混合装置，该装置包括高压气体供给单元、气液混合单元、消泡单元、循环检测单元和控制单元，通过采用高压气体供给单元供给高压气体，有助于促进气液混合过程中气体溶入液体中，提高混合液浓度；通过将消泡单元的出口端与循环检测单元连接、循环检测单元与气液混合单元的进口端连接，构成封闭型循环流路，同时将循环检测单元的输出端与控制单元电连接、控制单元的输出端与高压气体供给单元电连接，便于根据实时混合液浓度对高压气体的供给进行控制，混合液浓度爬升快，工艺稳定，保证了混合液浓度，同时提高了混合液生产效率。合液生产效率。合液生产效率。
【技术实现步骤摘要】
一种高效气液混合装置
[0001]本技术涉及混合液制备
，尤其涉及一种高效气液混合装置。
技术介绍
[0002]臭氧水是目前常见物质中氧化电势最高、氧化性最强的物质，其可以快速分解硅片表面有机污染、以及金属离子污染，结合漂洗工艺，可以有效的去除各类污染物，比常规清洗更有效、能耗和污染更低。
[0003]臭氧水的生产往往采用的是臭氧气体的溶解方式，即将臭氧气体溶解在水中，溶解方式有曝气法、文丘里射流器、静态混合器和乱流方式混合等。想要得到高浓度（大于30ppm）的臭氧水，目前常用的是乱流法溶解或文丘里射流器或者静态混合器混合的方式。乱流法需要较大的气体压力溶解，其可以产生高压臭氧水，适合于需要高压臭氧水清洗的工艺，其他方法溶解臭氧会产生较多的气泡，从而导致难以达到更高浓度。
技术实现思路
[0004]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的臭氧水难以达到更高浓度的缺点，而提出的一种高效气液混合装置。
[0005]为实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种高效气液混合装置，包括高压气体供给单元、气液混合单元、消泡单元、循环检测单元和控制单元，高压气体供给单元、循环检测单元均与气液混合单元的进口端连接，气液混合单元的出口端与消泡单元连接，消泡单元的出口端与循环检测单元连接，控制单元的输入端与循环检测单元的输出端电连接，控制单元的输出端与高压气体供给单元的输入端电连接。
[0006]较佳地，高压气体供给单元包括高压气体发生器，高压气体发生器的出气口设有出气管，出气管上设有气动阀，控制单元的输出端与高压气体发生器的输入端电连接，控制单元的输出端与气动阀的输入端电连接，出气管与气液混合单元的进口端连接。
[0007]进一步地，出气管上还设有单向阀；消泡单元包括消泡装置，消泡装置包括壳体和内管，壳体上设有混合液进口和混合液出口，混合液进口处设有混合液进液管，混合液出口处设有混合液出液管，混合液进液管与气液混合单元的出口端连接，混合液出液管与循环检测单元连接，内管设置在壳体内，内管的一端连接混合液进口，内管的另一端连接混合液出口，混合液进液管和混合液出液管的内径均小于内管的内径，内管的顶端呈倒U型结构，内管顶端靠近壳体顶面的一侧设有排气口，排气口处设有排气管，排气管穿过壳体后与气体处理装置连接。
[0008]再进一步地，循环检测单元包括混合液工艺槽和混合液浓度分析仪，混合液工艺槽的进液口设有进液管，混合液工艺槽的出液口设有出液管，进液管与混合液出液管连接，出液管与气液混合单元的进口端连接，混合液浓度分析仪设置在出液管上，混合液浓度分析仪的输出端与控制单元的输入端电连接。
[0009]更进一步地，循环检测单元还包括水泵，水泵设置在出液管上；气液混合单元包括
气液混合器，气液混合器的进口端分别与出气管、出液管连接，气液混合器的出口端与混合液进液管连接。
[0010]在前述基础上，又进一步地，气液混合器为静态混合器；气液混合器、出气管、出液管通过三通接头连接。
[0011]与现有技术相比，本技术的有益效果为：通过采用高压气体供给单元供给高压气体，有助于促进气液混合过程中气体溶入液体中，提高混合液浓度；通过将消泡单元的出口端与循环检测单元连接、循环检测单元与气液混合单元的进口端连接，构成封闭型循环流路，同时将循环检测单元的输出端与控制单元电连接、控制单元的输出端与高压气体供给单元电连接，便于根据实时混合液浓度对高压气体的供给进行控制，混合液浓度爬升快，工艺稳定，保证了混合液浓度，同时提高了混合液生产效率。
附图说明
[0012]图1为本技术一实施例的一种高效气液混合装置的结构示意图；
[0013]图2为本技术另一实施例的一种高效气液混合装置的结构示意图；
[0014]图3为图2的系统结构示意图；
[0015]图4为图2中一实施例的消泡装置的结构示意图。
具体实施方式
[0016]为使对本技术的目的、构造、特征、及其功能有进一步的了解，兹配合实施例详细说明如下。
[0017]请参见图1，本技术的一种高效气液混合装置，包括高压气体供给单元10、气液混合单元20、消泡单元30、循环检测单元40和控制单元50。高压气体供给单元10用以供给高压气体，以促进气液混合过程中气体溶入液体中；气液混合单元20用以将气体与液体混合；消泡单元30用以消除混合液中没有溶解的气体，促进气体溶入液体中，提高混合液浓度；循环检测单元40用以提供混合用液体，并对生成的混合液浓度进行实时监测；控制单元50用以控制高压气体的产生和供给。
[0018]高压气体供给单元10、循环检测单元40均与气液混合单元20的进口端连接，以向气液混合单元20提供高压气体和混合用液体，气液混合单元20的出口端与消泡单元30连接，以向消泡单元30输送混合液，消泡单元30的出口端与循环检测单元40连接，以向循环检测单元40输送经过消泡后的混合液，循环检测单元40的输出端与控制单元50的输入端电连接，以将检测到的实时混合液浓度信息传送给控制单元50，控制单元50的输出端与高压气体供给单元10的输入端电连接，以在实时混合液浓度低于所需浓度时，控制高压气体供给单元10生产和提供高压气体；在实时混合液浓度不低于所需浓度时，控制高压气体供给单元10停止生产和提供高压气体。
[0019]本实施例的高效气液混合装置，通过采用高压气体供给单元10供给高压气体，有助于促进气液混合过程中气体溶入液体中，提高混合液浓度；通过将消泡单元30的出口端与循环检测单元40连接、循环检测单元40与气液混合单元20的进口端连接，构成封闭型循环流路，同时将循环检测单元40的输出端与控制单元50电连接、控制单元50的输出端与高压气体供给单元10电连接，便于根据实时混合液浓度对高压气体的供给进行控制，混合液
浓度爬升快，工艺稳定，保证了混合液浓度，同时提高了混合液生产效率。
[0020]请结合参见图2和图3，图2为本技术另一实施例的一种高效气液混合装置的结构示意图。在本实施例中，高压气体供给单元10包括高压气体发生器1，高压气体发生器1的出气口设有出气管11，出气管11上设有气动阀12，控制单元50的输出端与高压气体发生器1的输入端电连接，以控制高压气体的产生，控制单元50的输出端与气动阀12的输入端电连接，以控制高压气体的供给，出气管11与气液混合单元20的进口端连接，以向气液混合单元20供给高压气体。
[0021]在一优选的实施方式中，出气管11上还设有单向阀13，以防止液体回流至出气管11内。
[0022]请结合参见图2和图4，消泡单元30包括消泡装置3，消泡装置3包括壳体31和内管32，壳体31上设有混合液进口311和混合液出口312，混合液进口处311设有混合液进液管313，混合液出口处312设有混合液出液管314，混合液进液管313与气液混合单元20的出口端连接，混合液出液管314与循环检测单元40连接，内管32设本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种高效气液混合装置，其特征在于，包括高压气体供给单元、气液混合单元、消泡单元、循环检测单元和控制单元，所述高压气体供给单元、所述循环检测单元均与所述气液混合单元的进口端连接，所述气液混合单元的出口端与所述消泡单元连接，所述消泡单元的出口端与所述循环检测单元连接，所述控制单元的输入端与所述循环检测单元的输出端电连接，所述控制单元的输出端与所述高压气体供给单元的输入端电连接。2.如权利要求1所述的一种高效气液混合装置，其特征在于，所述高压气体供给单元包括高压气体发生器，所述高压气体发生器的出气口设有出气管，所述出气管上设有气动阀，所述控制单元的输出端与所述高压气体发生器的输入端电连接，所述控制单元的输出端与所述气动阀的输入端电连接，所述出气管与所述气液混合单元的进口端连接。3.如权利要求2所述的一种高效气液混合装置，其特征在于，所述出气管上还设有单向阀。4.如权利要求2所述的一种高效气液混合装置，其特征在于，所述消泡单元包括消泡装置，所述消泡装置包括壳体和内管，所述壳体上设有混合液进口和混合液出口，所述混合液进口处设有混合液进液管，所述混合液出口处设有混合液出液管，所述混合液进液管与所述气液混合单元的出口端连接，所述混合液出液管与所述循环检测单元连接，所述内管设置在所述壳体内，所述内管的一端连接所述混...
【专利技术属性】
技术研发人员：王振交，艾凡凡，江铁军，
申请(专利权)人：苏州晶拓半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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