一种分体式直拉单晶炉泄压方法技术

本发明专利技术公开了一种分体式直拉单晶炉泄压方法，属于光伏技术领域。本发明专利技术提出的方法为：首先，利用连接件将泄压门与主炉腔体扣合锁紧；泄压门安装在分体式直拉单晶炉的主炉腔体上，通过连接件与主炉腔体扣合锁紧后形成完整且密封的分体式直拉单晶炉；然后，通过分体式直拉单晶炉进行直拉法制备单晶；之后，当分体式直拉单晶炉中发生爆炸时，主炉腔体中的压力增高，泄压门受压力作用向外打开，高温气体流出，使得主炉腔体中的压力迅速降低。本发明专利技术通过将完整的一体式直拉单晶炉腔更改为由泄压门和主炉腔体构成的分体式直拉单晶炉腔，当炉体发生爆炸，泄压门可以迅速打开泄压，从而避免了炉盖脱离炉体，炉中高温气流逸散，造成人员伤亡的问题。员伤亡的问题。员伤亡的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种分体式直拉单晶炉泄压方法


[0001]本专利技术涉及光伏
，特别是一种分体式直拉单晶炉泄压方法。

技术介绍

[0002]目前光伏行业内，单晶硅产业发展迅速。单晶硅是晶体材料的重要组成部分，处于新材料发展的前沿，常用于光伏与半导体行业制备硅片。硅片的制备首先需要实现由多晶硅到单晶硅的转变，主要是将多晶硅由固态加热转化为熔融态，再由熔融态硅重新结晶转化为单晶硅固态的过程。其主要制造设备：直拉单晶炉，为光伏行业产能的快速扩张提供了基础。然而，由于行业发展极为迅速，关于安全风险防范的措施相对缺乏，每年由于直拉单晶炉爆炸，导致的人员伤亡事故层出不穷。
[0003]在现有的直拉单晶炉结构中，通常都设有防爆装置，但防爆效果普遍较差，不能完全达到泄压防爆的目的，在实际生产中，炉体爆炸的案例依旧很多。而炉体爆炸时，炉体内压力急剧增加，会导致炉盖与炉体脱迅速脱离，大量高温物质从炉体中以极高速度爆发出来，从而造成人员伤亡。
[0004]因此，在光伏与半导体硅片生产
十分有必要开发一种分体式直拉单晶炉泄压方法，以解决直拉法制单晶硅过程中炉体爆炸导致严重的人员伤亡的问题。

技术实现思路

[0005]本专利技术主要目的在于，提供一种分体式直拉单晶炉泄压方法，以解决直拉法制单晶硅过程中炉体爆炸导致严重的人员伤亡的问题。
[0006]本专利技术是通过如下技术方案实现的：
[0007]本专利技术实施例的第一方面公开了一种分体式直拉单晶炉泄压方法，所述方法包括：
[0008]通过连接件将泄压门与主炉腔体扣合锁紧，所述泄压门安装在分体式直拉单晶炉的所述主炉腔体上，可以活动打开，通过所述连接件与所述主炉腔体扣合锁紧后形成完整且密封的所述分体式直拉单晶炉；
[0009]所述分体式直拉单晶炉进行直拉法制备单晶；
[0010]当所述分体式直拉单晶炉中发生爆炸时，所述主炉腔体中的压力增高，所述泄压门受压力作用向外打开，高温气体流出，使得所述主炉腔体中的压力迅速降低。
[0011]优选地，所述泄压门的内表面积占所述主炉腔体总面积的1
‑
50％。
[0012]优选地，所述泄压门的内表面积占所述主炉腔体总面积的40
‑
50％。
[0013]优选地，所述泄压门的安装位置靠近所述分体式直拉单晶炉中的坩埚的安装位置。
[0014]优选地，所述泄压门受压力作用向外打开，高温气体流出，包括：
[0015]所述泄压门受压力作用向外打开，所述高温气体延泄压保护挡板引导的方向流出，避免所述高温气体迅速向人工操作区域扩散；
[0016]所述泄压保护挡板为L型，安装在所述主炉腔体上的所述泄压门开门侧，所述泄压保护挡板将所述泄压门前方的泄压区域与所述人工操作区域分隔开。
[0017]优选地，通过连接件将泄压门与主炉腔体扣合锁紧，包括：
[0018]将所述泄压门延密封圈扣合紧密，通过所述连接件将所述泄压门与所述主炉腔体锁紧，所述密封圈安装在所述泄压门门框处，用以封堵所述泄压门与所述主炉腔体之间的缝隙，使所述分体式直拉单晶炉具有良好的气密性。
[0019]优选地，通过所述连接件将所述泄压门与所述主炉腔体锁紧，包括：
[0020]通过锁扣将所述泄压门与所述主炉腔体扣合锁紧，所述连接件包括铰链合页和锁扣，所述铰链合页安装所述泄压门的固定侧，使所述泄压门固定在所述主炉腔体上，所述锁扣安装在所述泄压门的开门侧，使所述泄压门通过所述锁扣扣合锁紧。
[0021]优选地，所述方法还包括：
[0022]将所述泄压门扣合后，在所述分体式直拉单晶炉中的压强低于10000Pa的状态下，当安装于所述分体式直拉单晶炉中的压强感应器检测到所述分体式直拉单晶炉内压强的增长速度大于1000Pa/min时，发送关门异常报警，停止进行所述直拉法制备单晶。
[0023]优选地，所述泄压门的材质与厚度同所述主炉腔体的材质与厚度保持一致。
[0024]本专利技术提供了一种分体式直拉单晶炉泄压方法，首先，通过利用连接件将泄压门与主炉腔体扣合锁紧，泄压门安装在分体式直拉单晶炉的主炉腔体上，可以活动打开，通过连接件与主炉腔体扣合锁紧后形成完整且密封的分体式直拉单晶炉；然后，通过分体式直拉单晶炉开始进行直拉法制备单晶；当分体式直拉单晶炉中发生爆炸时，主炉腔体中的压力增高，泄压门受压力作用向外打开，高温气体流出，使得主炉腔体中的压力迅速降低。本专利技术通过将完整的一体式直拉单晶炉更改为由泄压门和主炉腔体构成的分体式直拉单晶炉，当炉体发生爆炸时，泄压门可以打开泄压，减少对人员的伤害。
[0025]与现有技术相比，本专利技术具体的有益效果如下：
[0026]1)提升防爆效果。本专利技术通过将完整的一体式直拉单晶炉更改为由泄压门和主炉腔体构成的分体式直拉单晶炉，将泄压门安装在主炉腔体上，相比于现有的安装在排气管上的泄压防爆装置而言，距离爆炸源更加接近。由此当爆炸发生时，泄压门受压力作用迅速打开，从而使得直拉单晶炉中的压力迅速下降，避免了炉盖受力脱离炉体的情况。
[0027]2)控制高温气流的泄出方向。本专利技术通过设置泄压门，当炉体中发生爆炸时，泄压门受压力作用向外打开，炉体中的高温气流从打开的泄压门处流出，从而控制了高温气流的泄出方向，避免了高温气流从炉体其余缝隙或出口流出，使周围的工作人员受到伤害。
[0028]3)方法简单。本专利技术仅需要将炉体进行简单的更改，从原来完整的一体式炉体更改为由泄压门与主炉腔体共同组成的分体式炉体，结构简单，无需增加组件。对于不同厂家不同型号的直拉单晶炉而言，都可以按照此方案进行修改以达到更好的防爆效果。
附图说明
[0029]为了更清楚地说明本专利技术实施例的技术方案，下面将对本专利技术实施例的描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0030]图1是本专利技术实施例提供的一种分体式直拉单晶炉泄压方法的步骤流程图；
[0031]图2是本专利技术实施例提供的一种分体式直拉单晶炉结构示意图；
[0032]附图说明：A
‑
主炉腔体，B
‑
泄压门，C
‑
连接件，D
‑
泄压保护挡板。
具体实施方式
[0033]下面将结合本专利技术实施例中的附图更详细地描述本专利技术的示例性实施例。虽然附图中显示了本专利技术的示例性实施例，然而应当理解，可以以各种形式实现本专利技术而不应被这里阐述的实施例所限制。相反，提供这些实施例是为了能够更透彻地理解本专利技术，并且能够将本专利技术的范围完整的传达给本领域的技术人员。
[0034]为了便于理解本专利技术提出的技术方案，在此先对直拉法、等半导体技术等相关技术做简要说明。
[0035]直拉法又称为切克劳斯基法，它是由切克劳斯基(Czochralski)建立起来的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种分体式直拉单晶炉泄压方法，其特征在于，所述方法包括：通过连接件将泄压门与主炉腔体扣合锁紧，所述泄压门安装在分体式直拉单晶炉的所述主炉腔体上，可以活动打开，通过所述连接件与所述主炉腔体扣合锁紧后形成完整且密封的所述分体式直拉单晶炉；所述分体式直拉单晶炉进行直拉法制备单晶；当所述分体式直拉单晶炉中发生爆炸时，所述主炉腔体中的压力增高，所述泄压门受压力作用向外打开，高温气体流出，使得所述主炉腔体中的压力迅速降低。2.根据权利要求1所述分体式直拉单晶炉泄压方法，其特征在于，所述泄压门的内表面积占所述主炉腔体总面积的1
‑
50％。3.根据权利要求1所述分体式直拉单晶炉泄压方法，其特征在于，所述泄压门的内表面积占所述主炉腔体总面积的40
‑
50％。4.根据权利要求1所述分体式直拉单晶炉泄压方法，其特征在于，所述泄压门的安装位置靠近所述分体式直拉单晶炉中的坩埚的安装位置。5.根据权利要求1所述分体式直拉单晶炉泄压方法，其特征在于，所述泄压门受压力作用向外打开，高温气体流出，包括：所述泄压门受压力作用向外打开，所述高温气体延泄压保护挡板引导的方向流出，避免所述高温气体迅速向人工操作区域扩散；所述泄压保护挡板为L型，安装在所述主炉腔体上的所述泄压门开门侧，所述泄压保...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘海，彭亦奇，王人松，周子义，
申请(专利权)人：连城凯克斯科技有限公司，
类型：发明
国别省市：