本公开提供一种等离子体输出检测方法、装置、介质及设备，该方法包括：通过响应于等离子设备的开启信号，对预设时间范围内等离子设备的电源反馈值进行检测，在确定电源反馈值达到预设阈值的情况下，对等离子设备的真空区域进行光谱检测，生成目标频谱曲线图，在通过目标频谱曲线图确定等离子设备产生辉光现象的情况下，确定等离子设备输出等离子体正常。从而确定等离子设备的真空区域内是否产生辉光现象，从而确定等离子设备输出等离子体是否正常，通过闭环检测的方式确定出等离子设备在工作过程中是否产生有等离子体，从而避免工艺不良导致残次品。良导致残次品。良导致残次品。
【技术实现步骤摘要】
等离子体输出检测方法、装置、介质及设备
[0001]本专利技术涉及智能交互
，特别是涉及一种等离子体输出检测方法、装置、介质及设备。
技术介绍
[0002]真空离子清洗机是由真空发生系统、电气控制系统、等离子发生器。真空腔体、机械等几个部分构成的。可根据实际需求定制需要的真空系统和真空室。通过将待清洗物品放置反应腔室内，真空泵抽气至一定的真空度，电源启动产生等离子体，气体通入到反应腔室，使腔室内的等离子体变成反应等离子体，反应等离子体与待清洗物品表面产生反应，生成可挥发的副产物，并由真空泵抽出，从而实现待清洗物品的清洗过程。
[0003]现有技术中，真空等离子清洗机在使用时是否正常产生等离子体，主要通过监控等离子电源的电源反馈情况，确定设备是否正常输出等离子体。但在不同的工况需求下，需要对真空度、压力值、工艺气体流量等相关参数进行调整，再加上电机由于长期使用的工况条件下，导致接触阻抗会发生变化，从而使电源反馈情况无法真实反映是否产生等离子体，导致监控失效，产生大量的不良产品。
技术实现思路
[0004]有鉴于此，本公开的目的在于提供一种等离子体输出检测方法、装置、介质及设备，以解决相关技术中无法确认等离子设备中是否输出等离子体的技术问题。
[0005]基于上述专利技术目的，本公开的第一方面提供一种等离子体输出检测方法，所述方法包括：
[0006]响应于等离子设备的开启信号，对预设时间范围内所述等离子设备的电源反馈值进行检测；
[0007]在确定所述电源反馈值达到预设阈值的情况下，对所述等离子设备的真空区域进行光谱检测，生成目标频谱曲线图；
[0008]在通过所述目标频谱曲线图确定所述等离子设备产生辉光现象的情况下，确定所述等离子设备输出所述等离子体正常。
[0009]进一步地，所述方法还包括：
[0010]在所述等离子设备停止状态下，对所述真空区域进行光谱检测，生成预设频谱曲线图；
[0011]将所述预设频谱曲线图与所述目标频谱曲线图进行比较，确定所述等离子设备是否产生所述辉光现象。
[0012]进一步地，所述将所述预设频谱曲线图与所述目标频谱曲线图进行比较，确定所述等离子设备是否产生所述辉光现象，包括：
[0013]将所述预设频谱曲线图与所述目标频谱曲线图进行比较；
[0014]在确定所述目标频谱曲线图中存在新增频谱波峰的情况下，确定所述等离子设备
中产生所述辉光现象。
[0015]进一步地，所述方法还包括：
[0016]获取所述等离子设备的工艺气体类型；
[0017]根据所述工艺气体类型确定频谱曲线中产生频谱波峰的波长范围；
[0018]对所述目标频谱曲线图进行识别分析，确定所述目标频谱曲线中频谱波峰对应的目标波长；
[0019]在确定所述目标波长在所述波长范围内的情况下，确定所述等离子设备产生所述辉光现象。
[0020]进一步地，所述对所述等离子设备的真空区域进行光谱检测，生成目标频谱曲线图，包括：
[0021]通过光电感应装置对所述真空区域的光线进行采集，生成电流信号，其中所述光电感应装置包括光敏电阻、光电三极管和光电二极管；
[0022]根据运算放大电路对所述电流信号进行解析，生成所述目标频谱曲线图。
[0023]进一步地，所述对预设时间范围内所述等离子设备的电源反馈值进行检测，包括：
[0024]确定所述预设时间范围内所述等离子设备的电源输出功率和电源反射功率；
[0025]根据所述电源输出功率和所述电源反射功率的比值，确定所述电源反馈值。
[0026]本公开的第二方面提供一种等离子体输出检测装置，所述装置包括：
[0027]检测模块，用于响应于等离子设备的开启信号，对预设时间范围内所述等离子设备的电源反馈值进行检测；
[0028]生成模块，用于在确定所述电源反馈值达到预设阈值的情况下，对所述等离子设备的真空区域进行光谱检测，生成目标频谱曲线图；
[0029]确定模块，用于在通过所述目标频谱曲线图确定所述等离子设备产生辉光现象的情况下，确定所述等离子设备输出所述等离子体正常。
[0030]进一步地，所述装置还包括判定模块，所述判定模块用于：
[0031]在所述等离子设备停止状态下，对所述真空区域进行光谱检测，生成预设频谱曲线图；
[0032]将所述预设频谱曲线图与所述目标频谱曲线图进行比较，确定所述等离子设备是否产生所述辉光现象。
[0033]本公开的第三方面提供一种计算机存储介质，所述计算机存储介质上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器运行时执行如第一方面中任一项所述等离子体输出检测方法的步骤。
[0034]本公开的第四方面提供一种电子设备，包括计算机程序，其特征在于，该计算机程序被处理器执行时实现如第一方面中任一项所述等离子体输出检测方法的步骤。
[0035]本公开至少可以达到以下有益效果：
[0036]通过响应于等离子设备的开启信号，对预设时间范围内所述等离子设备的电源反馈值进行检测，在确定所述电源反馈值达到预设阈值的情况下，对所述等离子设备的真空区域进行光谱检测，生成目标频谱曲线图，在通过所述目标频谱曲线图确定所述等离子设备产生辉光现象的情况下，确定所述等离子设备输出所述等离子体正常。从而在确定等离子设备的电源反馈值达到预设阈值时，对等离子设备的真空区域进行光谱检测，生成频谱
曲线图，通过对频谱曲线图进行分析，确定该真空区域内是否产生辉光现象，从而确定等离子设备输出等离子体是否正常，通过闭环检测的方式确定出等离子设备在工作过程中是否产生有等离子体，从而避免工艺不良导致残次品。
附图说明
[0037]图1为根据一示例性实施例示出的一种等离子体输出检测方法的流程图。
[0038]图2是根据一示例性实施例示出的一种目标频谱曲线的示例图。
[0039]图3是根据一示例性实施例示出的一种辉光现象的确认方法的流程图。
[0040]图4是根据一示例性实施例示出的一种氩气频谱曲线的示例图。
[0041]图5是根据一示例性实施例示出的一种氧气频谱曲线的示例图。
[0042]图6是根据一示例性实施例示出的一种氮气频谱曲线的示例图。
[0043]图7是根据一示例性实施例示出的一种等离子体输出检测装置的结构图。
具体实施方式
[0044]为使本专利技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本专利技术的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本专利技术。但是本专利技术能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本专利技术内涵的情况下做类似改进，因此本专利技术不受下面公开的具体实施例的限制。
[0045]在本专利技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种等离子体输出检测方法，其特征在于，所述方法包括：响应于等离子设备的开启信号，对预设时间范围内所述等离子设备的电源反馈值进行检测；在确定所述电源反馈值达到预设阈值的情况下，对所述等离子设备的真空区域进行光谱检测，生成目标频谱曲线图；在通过所述目标频谱曲线图确定所述等离子设备产生辉光现象的情况下，确定所述等离子设备输出所述等离子体正常。2.根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于，所述方法还包括：在所述等离子设备停止状态下，对所述真空区域进行光谱检测，生成预设频谱曲线图；将所述预设频谱曲线图与所述目标频谱曲线图进行比较，确定所述等离子设备是否产生所述辉光现象。3.根据权利要求2所述的检测方法，其特征在于，所述将所述预设频谱曲线图与所述目标频谱曲线图进行比较，确定所述等离子设备是否产生所述辉光现象，包括：将所述预设频谱曲线图与所述目标频谱曲线图进行比较；在确定所述目标频谱曲线图中存在新增频谱波峰的情况下，确定所述等离子设备中产生所述辉光现象。4.根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于，所述方法还包括：获取所述等离子设备的工艺气体类型；根据所述工艺气体类型确定频谱曲线中产生频谱波峰的波长范围；对所述目标频谱曲线图进行识别分析，确定所述目标频谱曲线中频谱波峰对应的目标波长；在确定所述目标波长在所述波长范围内的情况下，确定所述等离子设备产生所述辉光现象。5.根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于，所述对所述等离子设备的真空区域进行光谱检测，生成目标频谱曲线图，包括：通过光电感应装置对所述真空区域的光线进行采集，生成电流信号，其中所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：邹军，
申请(专利权)人：深圳市普拉斯玛自动化设备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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