一种转架检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种转架检测装置，包括：支架，用于在检测时竖直固定于腔体的门框上；测距单元，水平设于所述支架上，并朝向所述腔体内设有的旋转中心设置；其中，在所述转架安装于所述旋转中心上并处于转动状态时，通过所述测距单元获取所述转架的圆周上竖直设有的挂杆经过时的距离值，作为判断所述挂杆在所述转架上是否安装到位的依据。本实用新型专利技术固定、拆卸方便快捷，检测精度和效率较高，适于推广使用。广使用。广使用。

【技术实现步骤摘要】
一种转架检测装置


[0001]本技术涉及镀膜设备测试
，特别是涉及一种转架检测装置。

技术介绍

[0002]转架应用于PVD镀膜设备的腔体中，用于携带装载的产品，并在旋转中进行镀膜工艺。
[0003]参考图1。现有的转架10一般采用立柱式筒形结构。转架10设有环形的上盘12和下盘11，上盘12和下盘11之间通过竖直设置的多个支撑柱13相连接；同时，在上盘12和下盘11之间安装有多个挂杆14，挂杆14上用于安装夹具，以便将产品通过夹具装载在挂杆14上。下盘11上设有与腔体内的转动中心配合的安装部15。其中，挂杆14在上盘12和下盘11之间的安装数量及位置可以调节。
[0004]在将装配好的上述转架10安装到腔体中时，需要对转架10在腔体转动中心上的转动状态进行确认，一般需要确认转架10是否存在不同心或偏心现象。
[0005]然而，由于转架10体积较大，且又是装入设备腔体内部，目前缺少与之配套的大型检测量具，检测比较困难。而如果使用铅垂线的简易方法测量转架10的同心度，肉眼又很难精确判断，且效率很低。

技术实现思路

[0006]本技术的目的是为了克服现有技术的不足，提供一种转架检测装置。
[0007]本技术实现上述目的的一种技术方案是：
[0008]一种转架检测装置，包括：
[0009]支架，用于在检测时竖直固定于腔体的门框上；
[0010]测距单元，水平设于所述支架上，并朝向所述腔体内设有的旋转中心设置；
[0011]其中，在所述转架安装于所述旋转中心上并处于转动状态时，通过所述测距单元获取所述转架的圆周上竖直设有的挂杆经过时的距离值，作为判断所述挂杆在所述转架上是否安装到位的依据。
[0012]进一步地，所述支架的上下两端上分设有定位固定板和夹持机构，两个所述定位固定板分别用于与所述门框的上下端的外侧面相搭接，两个所述夹持机构分别用于与对应侧的所述定位固定板配合，将所述支架的上下两端夹紧在所述门框的上下两端上。
[0013]进一步地，所述定位固定板以正交方式与所述支架的端部相连，并相对所述支架横向伸出。
[0014]进一步地，所述定位固定板上设有紧固机构。
[0015]进一步地，所述紧固机构包括紧固销钉。
[0016]进一步地，所述夹持机构包括位于所述定位固定板内侧的快速夹钳，所述快速夹钳设有与所述定位固定板相对的活动夹头。
[0017]进一步地，所述测距单元为三个，分别用于检测所述挂杆的上部、中部和下部的距
离值。
[0018]进一步地，所述测距单元包括激光测距器。
[0019]相比现有技术，本技术具有以下优点：
[0020](1)装置固定、拆卸方便快捷，检测效率高。
[0021](2)采用激光检测，精确度高。
附图说明
[0022]图1为现有的一种转架的结构示意图。
[0023]图2为本技术一较佳实施例的一种转架检测装置的结构示意图。
[0024]图3为本技术一较佳实施例的一种转架检测装置的局部放大结构示意图。
[0025]图4为本技术一较佳实施例的一种转架检测装置的使用状态示意图。
具体实施方式
[0026]为了能更好地对本技术的技术方案进行理解，下面通过具体的实施方式对本技术进行详细的说明。
[0027]参考图2
‑
图3。本技术的一种转架检测装置20，包括支架24和安装在支架24上的测距单元23。
[0028]其中，支架24用于在检测时竖直固定于腔体的门框30上。测距单元23水平安装在支架24上，并朝向腔体内设有的旋转中心设置。
[0029]以针对图1所示的一种转架10进行检测为例。在转架10安装于设备腔体内的旋转中心上，并处于转动状态时，通过测距单元23获取转架10的圆周上竖直设有的挂杆14经过测距单元23时相对于测距单元23的距离值，作为判断挂杆14在转架10上是否安装到位的依据，也即判断转架10是否安装合格的依据。
[0030]在一较佳实施例中，为了方便将支架24固定到门框30上，可在支架24的上下两端上分设定位固定板22和夹持机构21。
[0031]参考图2
‑
图3并结合参考图4。以应用于一种PVD镀膜设备为例。PVD镀膜设备的腔体上设有例如矩形的门框30。两个定位固定板22分别用于与门框30的上下端的外侧面相搭接；两个夹持机构21分别用于与对应侧的定位固定板22配合，将支架24的上下两端夹紧在门框30的上下两端上。
[0032]在一较佳实施例中，每个定位固定板22以正交方式与支架24的端部相连，并相对支架24横向伸出。即定位固定板22与竖直方向的支架24之间呈相互垂直的安装状态。
[0033]根据门框30的表面形态，定位固定板22可具有与之对应的内侧轮廓。
[0034]在一较佳实施例中，夹持机构21可包括位于定位固定板22内侧的快速夹钳。并且，在将快速夹钳安装到支架24上时，使得快速夹钳上的活动夹头211位于与定位固定板22相对的方位上。这样，当将支架24通过定位固定板22搭接在门框30的上下两端上时，只需扳动快速夹钳上的活动扳手，即可使快速夹钳上的活动夹头211朝向对应侧的定位固定板22方向移动，直至抵靠在对应的门框30内侧上，从而通过活动夹头211和定位固定板22将门框30夹紧，使支架24及其携带的测距单元23以垂直方向被牢固地锁定在门框30上。
[0035]在一较佳实施例中，在定位固定板22上可设有紧固机构221。例如，紧固机构221可
以包括紧固销钉。当利用快速夹钳将支架24固定到门框30上后，进一步通过将紧固销钉朝向门框30方向拧紧，可保证定位固定板22不会从门框30上滑落。
[0036]在一较佳实施例中，在支架24上可安装三个测距单元23，分别用于检测挂杆14的上部、中部和下部相对测距单元23的距离值。
[0037]在一较佳实施例中，测距单元23可包括激光测距器。
[0038]在一较佳实施例中，支架24可采用铝型材框架结构。
[0039]快速夹钳和激光测距器可采用市售商品，并与支架24进行安装。
[0040]本技术使用时，先把支架24安放到腔体门框30上。然后使定位固定板22和腔体门框30配合上，再用快速夹钳夹持住。此时可启动腔体内的转架10，例如图1示例的转架10，让转架10旋转起来。接着，把激光测距器打开。当激光测距器发出的激光束231依次扫描到挂杆14，例如16根六棱杆形挂杆14时，激光测距器记入到16根六棱杆的距离后，可将数据传输到设备控制系统上。控制系统根据激光测距器传送过来的数据，与距离设定标准进行对比，并当检测值超标时进行提示或报警，表明某根或多根挂杆14没有安装到位。根据距离检测值与距离设定标准之间的差值大小，可获知挂杆14相对旋转中心的正负偏移量，即可方便地对挂杆14在转架1本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种转架检测装置，其特征在于，包括：支架，用于在检测时竖直固定于腔体的门框上；测距单元，水平设于所述支架上，并朝向所述腔体内设有的旋转中心设置；其中，在所述转架安装于所述旋转中心上并处于转动状态时，通过所述测距单元获取所述转架的圆周上竖直设有的挂杆经过时的距离值，作为判断所述挂杆在所述转架上是否安装到位的依据。2.根据权利要求1所述的转架检测装置，其特征在于，所述支架的上下两端上分设有定位固定板和夹持机构，两个所述定位固定板分别用于与所述门框的上下端的外侧面相搭接，两个所述夹持机构分别用于与对应侧的所述定位固定板配合，将所述支架的上下两端夹紧在所述门框的上下两端上。3.根据权利要求2所述的转架...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐长亮，冯柳君，
申请(专利权)人：纳峰真空镀膜上海有限公司，
类型：新型
国别省市：