声学压电薄膜器件结构制造技术

本实用新型专利技术提供一种声学压电薄膜器件结构，包括：支撑体；压电膜层结构，压电膜层结构覆盖支撑体所包围的区域，其周缘固定连接于支撑体上，压电膜层结构包括压电层及覆盖于压电层上下表面的电极层，压电膜层结构包括内部区域和环绕于内部区域的外部区域，内部区域与外部区域之间具有电极分割区，电极分割区将电极层分割成中心电极层与外围电极层。本实用新型专利技术设计的声学压电膜层结构能够降低压电膜层结构的翘曲度以及控制翘曲引起的狭缝区透声通道宽度的增加，并且本实用新型专利技术的电极层全面覆盖压电膜层表面且可以通过纵向多压电层和横向多电极层之间新颖的分割和串联或者并联的电学连接方式，实现压电膜层全区域的机电转换，提高机电转化效率。提高机电转化效率。提高机电转化效率。

【技术实现步骤摘要】
声学压电薄膜器件结构


[0001]本发属于声学传感领域，特别是涉及一种声学压电薄膜器件结构。

技术介绍

[0002]近年来，在智能手机等设备中，运用MEMS(微机电系统)技术生产制造的MEMS声学器件得到越来越广泛的使用。同时，不仅是智能手机，穿戴式产品，运动相机或数码相机等带有通过声音识别周围情况的功能或发声功能的电子设备对于MEMS声学器件的进一步小型化以及信噪比特性提出了更高的要求。MEMS声学器件以其灵敏度高、功耗低、频率响应平坦等诸多优点而备受人们的关注，并成为当今微型声学器件市场的主流。
[0003]目前市面上的MEMS压电换能器分根据应用需求，工作频段和工作模态均有不同，如人耳可听频段(20Hz
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20KHz)以及超声频段(>20KHz),换能器也分发射器(Tx)和接收器(Rx), 根据应用需求，换能器也可以工作在谐振状态或者非谐振状态。但是压电单元主要结构和基本工作原理类似，一般MEMS压电换能器都包括基底、支撑件和压电膜片结构。其中，膜片结构大多由相对独立的扇形，三角形或者其它对称性结构本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种声学压电薄膜器件结构，其特征在于，所述声学压电薄膜器件结构包括：支撑体；压电膜层结构，所述压电膜层结构覆盖所述支撑体所包围的区域，所述压电膜层结构的周缘固定连接于所述支撑体上，所述压电膜层结构包括压电层及覆盖于所述压电层上下表面的电极层，压电膜层结构包括内部区域和环绕于内部区域的外部区域，内部区域与外部区域之间具有电极分割区，所述电极分割区将所述电极层分割成中心电极层与外围电极层。2.根据权利要求1所述的声学压电薄膜器件结构，其特征在于：所述压电膜层结构具有多个狭缝区，所述狭缝区在纵向上贯穿所述压电膜层结构，以将所述压电膜层结构划分成多个压电单元区，所述狭缝区在横向上自所述压电膜层结构的周缘朝所述压电膜层结构的中心点方向延伸并与所述中心点具有间距，以在所述压电膜层结构的中心保留机械连接各所述压电单元区的中心连接部。3.根据权利要求2所述的声学压电薄膜器件结构，其特征在于：所述中心连接部的面积占所述压电膜层结构总面积的比例为5％～95％之间。4.根据权利要求1所述的声学压电薄膜器件结构，其特征在于：所述压电膜层结构在纵向上包括第一压电层和第二压电层，所述第一压电层的上表面全覆盖有第一电极，所述第二压电层的下表面全覆盖有第二电极，所述第一压电层与所述第二压电层之间全覆盖有第三电极，所述压电膜层结构在横向上包括内部区域和环绕于所述内部区域的外部区域，所述内部区域与所述外部区域之间具有电极分割区，所述电极分割区将所述第一电极分割成第一中心电极与第一外围电极，并将所述第二电极分割成第二中心电极与第二外围电极，并将所述第三电极分割为第三中心电极与第三外围电极。5.根据权利要求4所述的声学压电薄膜器件结构，其特征在于：所述压电膜层结构具有多个狭缝区，所述狭缝区在纵向上贯穿所述第一电极、第一压电层、第三电极、第二压电层及第二电极，该狭缝区将所述压电膜层结构物理划分成多个压电单元区，所述狭缝区在横向上自所述压电膜层结构的周缘朝所述压电膜层结构的中心点方向延伸并与所述中心点具有间距，以在所述压电膜层结构的中心保留机械连接各所述压电单元区的中心连接部，所述中心连接部的面积占所述压电膜层结构总面积的比例为5％～95％之间。6.根据权利要求2或5所述的声学压电薄膜器件结构，其特征在于：多个所述压电单元工作在相同的振动相位和振动频率。7.根据权利要求2或5所述的声学压电薄膜器件结构，其特征在于：所述中心连接部的表面具有电极或绝缘。8.根据权利要求2或5所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：张嵩松，
申请(专利权)人：上海新微技术研发中心有限公司，
类型：新型
国别省市：