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本实用新型提供一种声学压电薄膜器件结构，包括：支撑体；压电膜层结构，压电膜层结构覆盖支撑体所包围的区域，其周缘固定连接于支撑体上，压电膜层结构包括压电层及覆盖于压电层上下表面的电极层，压电膜层结构包括内部区域和环绕于内部区域的外部区域，内部...
该专利属于上海新微技术研发中心有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海新微技术研发中心有限公司授权不得商用。

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