一种用于模组测试的自动探针台制造技术

技术编号:34970725 阅读:37 留言:0更新日期:2022-09-21 14:10
本实用新型专利技术提供了一种用于模组测试的自动探针台,属于晶圆测试领域,该自动探针台包括支撑体、固定设置在支撑体上的控制单元以及受控制单元控制在支撑体上平移的送料机构和探针检测装置,探针检测装置的移动方向与送料机构的移动方向垂直;送料机构包括在支撑体上平移的检测台、固定设置在检测台上的定位夹具以及用于驱动检测台在支撑体上平移的第一平移机构;探针检测装置包括用于与模组接触的探针、用于图像采集的摄像头、用于驱动探针和摄像头在支撑体上平移的第二平移机构以及用于驱动探针和摄像头在第二平移机构上纵向移动的第三平移机构。该自动探针台可自动化完成通讯模组的检测工作,效率高,适于通讯模组的批量化生产,降低检测成本。降低检测成本。降低检测成本。

【技术实现步骤摘要】
一种用于模组测试的自动探针台


[0001]本技术属于晶圆测试
,尤其涉及一种用于模组测试的自动探针台。

技术介绍

[0002]光通信模组组装完成之后,需要对模组内的功能模块化测试,以提前鉴别出不合格的模组,防止对不合格模组封盖,提高生产效率。但目前市场上未有一款自动检测模组测试装置,在传统检测中,使用手工测试台进行模组检测,检测效率低、人工成本高,很难满足光通信模组的大批量生产。

技术实现思路

[0003]本技术实施例提供一种用于模组测试的自动探针台,旨在解决
技术介绍
中提出的问题。
[0004]本技术实施例是这样实现的,一种用于模组测试的自动探针台,该自动探针台包括支撑体、固定设置在所述支撑体上的控制单元以及受所述控制单元控制在所述支撑体上平移的送料机构和探针检测装置,所述探针检测装置的移动方向与所述送料机构的移动方向垂直;
[0005]所述送料机构包括在所述支撑体上平移的检测台、固定设置在所述检测台上的定位夹具以及用于驱动所述检测台在所述支撑体上平移的第一平移机构;
[0006]所述探针检测装置包括用于与模组接触的探针、用于图像采集的摄像头、用于驱动所述探针和所述摄像头在所述支撑体上平移的第二平移机构以及用于驱动所述探针和所述摄像头在所述第二平移机构上纵向移动的第三平移机构。
[0007]优选的,所述探针检测装置至少设置有一个。
[0008]优选的,所述第一平移机构包括固定设置在所述支撑体内部的第一移动架、滑动安装在所述第一移动架上的第一滑块、转动安装在所述第一移动架上用于驱动所述第一滑块在所述第一移动架上移动的第一移动轴以及固定安装在所述第一移动架的一端用于带动所述第一移动轴旋转的第一伺服电机,所述检测台固定设置在所述第一滑块上。
[0009]优选的,所述第二平移机构包括固定设置在所述支撑体内部的第二移动架、滑动安装在所述第二移动架上的第二滑块、转动安装在所述第二移动架上用于驱动所述第二滑块在所述第二移动架上移动的第二移动轴以及固定安装在所述第二移动架的一端用于驱动所述第二移动轴旋转的第二伺服电机,所述第二移动架垂直于所述第一移动架,所述第二伺服电机固定安装在所述第二移动架远离所述第一移动架的一端。
[0010]优选的,所述第三平移机构包括固定安装在第二滑块上的第三移动架、滑动安装在所述第三移动架上的第三滑块、转动安装在所述第三移动架上用于驱动所述第三滑块在所述第三移动架上移动的第三移动轴以及固定安装在所述第三移动架远离所述第二移动架的一端用于驱动所述第三移动轴旋转的第三伺服电机,所述探针和所述摄像头安装在所述第三滑块上。
[0011]优选的,所述第一移动轴、第二移动轴和所述第三移动轴均为丝杠,所述第一移动轴、第二移动轴和所述第三移动轴分别贯穿于所述第一滑块、第二滑块和所述第三滑块,且与分别与所述第一滑块、第二滑块和所述第三滑块螺纹连接。
[0012]优选的,所述摄像头至少设置有一个。
[0013]优选的,所述探针和所述摄像头与所述第三滑块之间分别设置有第一固定架和第二固定架,所述探针和所述摄像头分别设置在所述第一固定架和所述第二固定架远离所述第三滑块的一端。
[0014]优选的,所述第二固定架上设置有用于将所述摄像头锁紧在所述第二固定架上的锁紧机构。
[0015]优选的,所述锁紧机构包括固定在所述第二固定架远离所述第三滑块一端的支撑块、横向贯穿于所述支撑块的固定杆、贯穿于所述支撑块的一面并延伸至所述支撑块的内部与所述固定杆接触的紧锢销;
[0016]所述固定杆与所述第二固定架远离所述第三滑块的一端平行,所述摄像头固定在所述固定杆远离所述支撑块的一端;
[0017]所述紧固销垂直于所述固定杆,且螺接在所述支撑块上。
[0018]该自动探针台能够对光通信模组进行自动化检测,仅需人工放料、取料,可有效的降低通信模组检测的人力投入,降低检测成本,同时提高检测效率,适应通讯模组的批量化生产,满足市场需求。
附图说明
[0019]图1是一种用于模组测试的自动探针台的结构示意图;
[0020]图2是一种用于模组测试的自动探针台中送料机构的结构示意图;
[0021]图3是一种用于模组测试的自动探针台中探针检测装置的结构示意图;
[0022]图4是一种用于模组测试的自动探针台中摄像头的安装结构示意图;
[0023]图5是一种用于模组测试的自动探针台的系统架构图。
具体实施方式
[0024]为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合附图及实施例,对本技术进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术,并不用于限定本技术。
[0025]本技术提供一种用于模组测试的自动探针台,如图1所示,该自动探针台包括支撑体1、固定设置在所述支撑体1上的控制单元 4以及受所述控制单元4控制在所述支撑体1上平移的送料机构2和探针检测装置3,所述探针检测装置3的移动方向与所述送料机构2 的移动方向垂直;
[0026]所述送料机构2包括在所述支撑体1上平移的检测台21、固定设置在所述检测台21上的定位夹具22以及用于驱动所述检测台21 在所述支撑体1上平移的第一平移机构23;
[0027]所述探针检测装置3包括用于与模组接触的探针31、用于图像采集的摄像头32、用于驱动所述探针31和所述摄像头32在所述支撑体1上平移的第二平移机构33以及用于驱动所述探针31和所述摄像头32在所述第二平移机构33上纵向移动的第三平移机构34。
[0028]工作时,将待测试模组放置在检测台21上,通过定位夹具22将待测试模组固定在检测台21上,控制系统4控制第一平移机构23驱动检测台21移动至探针31和摄像头32的平移线下方位置处;当检测台21移动至特定位置后,控制系统4控制第二平移机构33驱动探针31和摄像头32移动靠近待测模组上方,此时,摄像头32实时采集图像,并将采集图像回传至控制系统4,控制系统4将采集到的图像与系统内预存的图像进行比对,判断是否采集到待测模组图像;当摄像头32采集到待测模组图像时(表示探针31和摄像头32处于待测模组的上方),控制系统4控制第三平移机构3驱动探针31和摄像头32向下移动,使得探针31与待测模组接触进行检测,此时,由摄像头32采集探针31与待测模组接触的图像,并将该图像回传至控制系统4,控制系统4将该图像与预存图像进行比对,判断探针31 的变型程度,从而判断探针31是否与待测模组充分接触;当探针31 与待测模组充分接触后,控制第三平移机构34停止移动,通过检测台21检测模组的射频性能,检测时,当有不合格产品时,检测台21 向控制系统4反馈信号提醒工作人员。
[0029]其中,为方便模组定位,定位夹具22采用气动夹具。为了方便模组检测,在此探针台上所述探针检测装置3至少设置有一个。而为了方便图像采集,保证图像对比的准确性,所述摄像头32至少设置有一个,多本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于模组测试的自动探针台,其特征在于,包括支撑体(1)、固定设置在所述支撑体(1)上的控制单元(4)以及受所述控制单元(4)控制在所述支撑体(1)上平移的送料机构(2)和探针检测装置(3),所述探针检测装置(3)的移动方向与所述送料机构(2)的移动方向垂直;所述送料机构(2)包括在所述支撑体(1)上平移的检测台(21)、固定设置在所述检测台(21)上的定位夹具(22)以及用于驱动所述检测台(21)在所述支撑体(1)上平移的第一平移机构(23);所述探针检测装置(3)包括用于与模组接触的探针(31)、用于图像采集的摄像头(32)、用于驱动所述探针(31)和所述摄像头(32)在所述支撑体(1)上平移的第二平移机构(33)以及用于驱动所述探针(31)和所述摄像头(32)在所述第二平移机构(33)上纵向移动的第三平移机构(34)。2.如权利要求1所述的用于模组测试的自动探针台,其特征在于,所述探针检测装置(3)至少设置有一个。3.如权利要求1所述的用于模组测试的自动探针台,其特征在于,所述第一平移机构(23)包括固定设置在所述支撑体(1)内部的第一移动架(231)、滑动安装在所述第一移动架(231)上的第一滑块(232)、转动安装在所述第一移动架(231)上用于驱动所述第一滑块(232)在所述第一移动架(231)上移动的第一移动轴(233)以及固定安装在所述第一移动架(231)的一端用于带动所述第一移动轴(233)旋转的第一伺服电机(234),所述检测台(21)固定设置在所述第一滑块(232)上。4.如权利要求3所述的用于模组测试的自动探针台,其特征在于,所述第二平移机构(33)包括固定设置在所述支撑体(1)内部的第二移动架(331)、滑动安装在所述第二移动架(331)上的第二滑块(332)、转动安装在所述第二移动架(331)上用于驱动所述第二滑块(332)在所述第二移动架(331)上移动的第二移动轴(333)以及固定安装在所述第二移动架(331)的一端用于驱动所述第二移动轴(333)旋转的第二伺服电机(334),所述第二移动架(331)垂直于所述第一移动架(231),所述第二伺服电机(334)固定安装在所述第二移动架(331)远离所述第一移动架(231)的一端。5.如权利要求4所述的用于模组测试的自动探针台,其特征在于,所述第三平移机构...

【专利技术属性】
技术研发人员:张哲远
申请(专利权)人:上海帆测科技发展有限公司
类型:新型
国别省市:

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