一种质谱仪的离子源极板清洗装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种质谱仪的离子源极板清洗装置，涉及质谱仪设备技术领域，该清洗装置包括设置在质谱仪的真空腔室之外的激光器和激光扫描调节部件；设置在真空腔室的侧壁上的透光窗口；设置在真空腔室内部的反射元件；激光扫描调节部件用于对激光器输出的激光光束进行方向和/或位置的调节，以使激光光束入射至反射元件上不同位置点并相应反射在离子源极板不同位置点上进行扫描照射。本申请中设置在真空腔室外侧壁上激光器输出的激光光束依次通过激光扫描调节部件、透光窗口、和反射元件入射至离子源极板的表面，实现离子源极板表面更全面的清洗，简化离子源极板清洗难度的基础上，保证了离子源极板的清洗效果。保证了离子源极板的清洗效果。保证了离子源极板的清洗效果。

【技术实现步骤摘要】
一种质谱仪的离子源极板清洗装置


[0001]本技术涉及质谱仪设备
，特别是涉及一种质谱仪的离子源极板清洗装置。

技术介绍

[0002]MALDI
‑
TOF MS(基质辅助激光解析电离飞行时间质谱仪)，是一种新型的软电离生物质谱仪，其原理是用紫外激光照射样品与基质形成的共结晶薄膜，基质从紫外激光中吸收能量传递给生物分子；生物分子得到能量后形成带电碎片离子，该带电碎片离子在加速电场中加速飞出，到达离子检测器并被离子检测器把离子信号放大后传输至采集卡，再经过计算机分析得出离子质荷比，进而实现对生物分子的图谱分析。
[0003]生物分子碎片离子的形成以及加速均是在质谱仪的真空腔室中完成的，在真空腔室的内部设置有一个承载样品的电极板，以及和该电极板之间存在电压差并形成加速电场的离子源极板。生物分子碎片离子在加速电场中加速后可以通过离子源极板上的通孔飞向离子检测器。
[0004]但在实际检测中，也存在部分带电离子未通过离子源极板上的通孔，而是直接飞向离子源极板表面并附着于离子源极板表面；随着生物分子碎片离子的堆积增多，显然会对离子源极板表面的电荷分布产生影响，导致加速电场扭曲，使得该加速电场无法正常为带电的生物分子碎片离子进行加速，进而影响质谱仪的正常工作。
[0005]为此，需要对质谱仪中的离子源极板进行定期清洗，最常规的清洗方式是将真空腔室内离子源极板拆卸出来，完成清洗后再重新组装。但这一过程中需要将真空腔室泄压又重新抽真空，因为质谱仪工作过程中对真空腔室的真空度要求较高，抽真空往往需要耗时5小时以上；并且离子源极板拆卸后重装也需要重新进行整机调试，操作过程也较为繁琐；由此可见，对质谱仪的离子源极板的清洗过程较为的耗时耗力。

技术实现思路

[0006]本技术的目的是提供一种质谱仪的离子源极板清洗装置，能够在一定程度上简化离子源极板的清洗难度，降低清洗成本，并保证清洗效果。
[0007]为解决上述技术问题，本技术提供一种质谱仪的离子源极板清洗装置，包括设置在质谱仪的真空腔室之外的激光器和激光扫描调节部件；设置在所述真空腔室的侧壁上的透光窗口；设置在所述真空腔室内部的反射元件；
[0008]其中，所述激光扫描调节部件位于所述激光器的输出光路上；所述透光窗口和所述反射元件依次位于所述激光扫描调节部件的输出光路上；所述质谱仪的离子源极板位于所述反射元件的输出光路上；
[0009]所述激光扫描调节部件用于对所述激光器输出的激光光束进行方向和/或位置的调节，以使所述激光光束入射至所述反射元件上不同位置点并相应反射在所述离子源极板不同位置点上进行扫描照射。
[0010]在本申请的一种可选地实施例中，所述激光扫描调节部件包括第一反射元件、第二反射元件、以及分别和所述第一反射元件以及所述第二反射元件相连接的驱动部件，所述驱动部件用于分别驱动所述第一反射元件和第二反射元件运动。
[0011]在本申请的一种可选地实施例中，还包括设置在所述激光扫描调节部件的输出光路上的聚焦镜片，且所述离子源极板位于所述聚焦镜片的焦平面上。
[0012]在本申请的一种可选地实施例中，所述激光器为红外脉冲激光器。
[0013]在本申请的一种可选地实施例中，所述红外脉冲激光器为脉冲宽度可调激光器。
[0014]本技术所提供的一种质谱仪的离子源极板清洗装置，该清洗装置包括设置在质谱仪的真空腔室之外的激光器和激光扫描调节部件；设置在真空腔室的侧壁上的透光窗口；设置在真空腔室内部的反射元件；其中，激光扫描调节部件位于激光器的输出光路上；透光窗口和反射元件依次位于激光扫描调节部件的输出光路上；质谱仪的离子源极板位于反射元件的输出光路上；激光扫描调节部件用于对激光器输出的激光光束进行方向和/或位置的调节，以使激光光束入射至反射元件上不同位置点并相应反射在离子源极板不同位置点上进行扫描照射。
[0015]本申请中在质谱仪的真空腔室的外侧壁上设置激光器，并且在真空腔室的侧壁上设置透光窗口，使得激光器输出的激光光束可以通过该透光窗口入射至真空腔室内部，并通过反射元件反射入射至离子源极板的表面，使得离子源极板表面堆积的带电离子在激光光斑的照射下被清除；此外，为了使得离子源极板上各个不同位置附着的带电离子均能够被更全面的清洗，本申请中还进一步地在真空腔室的外侧壁上，激光器的输出光路上设置激光扫描调节部件，通过该激光扫描调节部件对激光器输出的激光光束的方向以及位置进行调节，使得该激光光束经过反射元件反射至离子源极板上的位置也相应的不同，最终实现对离子源极板上各个不同位置的扫描照射，进而实现离子源极板的全面清洗；无需对离子源极板进行拆卸，且激光器等部件在真空腔室之外工作，降低激光器等部件的工作要求，在简化离子源极板清洗难度的基础上，保证了离子源极板的清洗效果。
附图说明
[0016]为了更清楚的说明本技术实施例或现有技术的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0017]图1为本申请实施例提供的质谱仪的离子源极板清洗装置的结构示意图；
[0018]图2为本申请实施例提供的质谱仪的离子源极板清洗装置的剖面结构示意图；
[0019]图3为本申请实施例提供的激光扫描调节部件及对应的光路示意图。
具体实施方式
[0020]对于质谱仪中离子源极板上附着的带电离子，在高能量密度的激光照射下被清除。为了实现在离子源极板不拆卸的情况下进行清洗，本申请中将真空腔室的外侧壁上设置激光器，并在真空腔室的侧壁上设置允许激光光束入射至真空腔室内的透光窗口，进而在真空腔室保持封闭的状态下，也能够实现对离子源极板的照射，相对于将激光器置于真
空腔室内部而言，激光器在常规大气环境下工作，对激光器的工作要求更低，且便于激光器的故障维修；在此基础上还对激光光束照射离子源极板上的位置进行调节变化，保证离子源极板的清洗效果。
[0021]为了使本
的人员更好地理解本技术方案，下面结合附图和具体实施方式对本技术作进一步的详细说明。显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0022]如图1和图2所示，图1为本申请实施例提供的质谱仪的离子源极板清洗装置的结构示意图，图2为本申请实施例提供的质谱仪的离子源极板清洗装置的剖面结构示意图；图3为本申请实施例提供的激光扫描调节部件及对应的光路示意图。该清洗装置可以包括：
[0023]设置在质谱仪的真空腔室1外的激光器3和激光扫描调节部件4；设置在真空腔室1的侧壁上的透光窗口10；设置在真空腔室1内部的反射元件5；
[0024]其中，激本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种质谱仪的离子源极板清洗装置，其特征在于，包括设置在质谱仪的真空腔室之外的激光器和激光扫描调节部件；设置在所述真空腔室的侧壁上的透光窗口；设置在所述真空腔室内部的反射元件；其中，所述激光扫描调节部件位于所述激光器的输出光路上；所述透光窗口和所述反射元件依次位于所述激光扫描调节部件的输出光路上；所述质谱仪的离子源极板位于所述反射元件的输出光路上；所述激光扫描调节部件用于对所述激光器输出的激光光束进行方向和/或位置的调节，以使所述激光光束入射至所述反射元件上不同位置点并相应反射在所述离子源极板不同位置点上进行扫描照射。2.如权利要求1所述的质谱仪的离子源极板...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈春山，韩乐乐，吴云昭，孙金金，李向广，蔡克亚，
申请(专利权)人：安图实验仪器郑州有限公司，
类型：新型
国别省市：