组合传感器及电子设备制造技术

本实用新型专利技术涉及一种组合传感器及电子设备，组合传感器包括：衬底主体，所述衬底主体具有第一表面和第二表面；衬底主体设有第一传感器，所述第一传感器包括开设于所述第一表面所在的一侧的第一凹槽结构，所述第一凹槽结构的槽底面与第二表面之间的结构形成振膜；所述衬底主体开设有第一镂空结构，所述第一镂空结构内设有第二传感器，所述第二传感器包括悬臂梁和质量块，所述悬臂梁的第一侧与衬底主体连接，所述悬臂梁的第二侧设有质量块；上盖，所述上盖密封扣设于所述第二表面一侧且覆盖所述第一镂空结构；下盖，所述下盖密封扣设于所述第一表面一侧且覆盖所述第一镂空结构。第一表面一侧且覆盖所述第一镂空结构。第一表面一侧且覆盖所述第一镂空结构。

【技术实现步骤摘要】
组合传感器及电子设备


[0001]本技术涉及传感器
，更具体地，本技术涉及一种组合传感器及电子设备。

技术介绍

[0002]随着消费电子设备的兴起，语音通话成为一个最基本也是最重要的功能。技术的进步以及对产品性能的极致追求使得人们对语音通话的质量要求越来越高。对此，相关技术中引入多种不同的麦克风对电子设备进行多麦降噪。
[0003]在电子设备中设置多个种不同的麦克风进行降噪，会造成电子设备整机产品结构复杂、成本高、体积大，不利于产品的便携化和小型化。

技术实现思路

[0004]本技术的一个目的是提供一种组合传感器及电子设备的新技术方案。
[0005]根据本技术的第一方面，提供一种组合传感器，组合传感器包括：
[0006]衬底主体，所述衬底主体具有第一表面和第二表面；
[0007]衬底主体设有第一传感器，所述第一传感器包括开设于所述第一表面所在的一侧的第一凹槽结构，所述第一凹槽结构的槽底面与第二表面之间的结构形成振膜；
[0008]所述衬底主体开设有第一镂空结构，所述第一镂空结构内设有第二传感器，所述第二传感器包括悬臂梁和质量块，所述悬臂梁的第一侧与衬底主体连接，所述悬臂梁的第二侧设有质量块；
[0009]上盖，所述上盖密封扣设于所述第二表面一侧且覆盖所述第一镂空结构；
[0010]下盖，所述下盖密封扣设于所述第一表面一侧且覆盖所述第一镂空结构。
[0011]可选地，所述振膜的位于第二表面的一侧设有四组第一压阻，四组所述第一压阻组成惠斯通电桥结构。
[0012]可选地，四组所述第一压阻分别位于所述振膜四侧边缘的其中一个的中心位置。
[0013]可选地，所述悬臂梁的位于所述第二表面的一侧设有四组第二压阻，四组所述第二压阻组成惠斯通电桥结构。
[0014]可选地，四组所述第二压阻分别位于所述悬臂梁四侧边缘的其中一个的中心位置。
[0015]可选地，所述悬臂梁和所述质量块与所述衬底主体一体成型。
[0016]可选地，所述上盖的朝向所述衬底主体的一侧开设有第二凹槽结构，所述下盖的朝向所述衬底主体的一侧开设有第三凹槽结构。
[0017]可选地，所述第二凹槽结构的底部设有第一凸起，所述第三凹槽结构内设有第二凸起，所述第一凸起和所述第二凸起位于所述质量块的两侧。
[0018]可选地，述下盖覆盖所述第一表面，所述下盖开设有第二镂空结构，所述第二镂空结构与所述第一凹槽结构的开口贯通。
[0019]根据本技术的第二方面，提供一种电子设备，电子设备包括如第一方面任意一项所述的组合传感器。
[0020]本技术的一个技术效果在于，通过将第一传感器和第二传感器成型于衬底主体上，形成组合传感器，达到一个组合传感器实现同时设置第一传感器和第二传感器两个传感器具有的效果，简化了传感器结构，减小了体积和成本。
[0021]通过以下参照附图对本技术的示例性实施例的详细描述，本技术的其它特征及其优点将会变得清楚。
附图说明
[0022]构成说明书的一部分的附图描述了本技术的实施例，并且连同说明书一起用于解释本技术的原理。
[0023]图1是本申请实施例中的组合传感器的结构示意图。
[0024]图2是本申请实施例中的组合传感器的工艺流程图。
[0025]1、衬底主体；10、第一镂空结构；11、第一表面；12、第二表面；13、焊盘；2、振膜；20、第一凹槽结构；21、第一压阻；3、悬臂梁；30、第四凹槽结构；31、第二压阻；32、第五凹槽结构；4、质量块；5、上盖；51、第二凹槽结构；52、第一凸起；6、下盖；60、第二镂空结构；61、第三凹槽结构；62、第二凸起。
具体实施方式
[0026]现在将参照附图来详细描述本技术的各种示例性实施例。应注意到：除非另外具体说明，否则在这些实施例中阐述的部件和步骤的相对布置、数字表达式和数值不限制本技术的范围。
[0027]以下对至少一个示例性实施例的描述实际上仅仅是说明性的，决不作为对本技术及其应用或使用的任何限制。
[0028]对于相关领域普通技术人员已知的技术和设备可能不作详细讨论，但在适当情况下，所述技术和设备应当被视为说明书的一部分。
[0029]在这里示出和讨论的所有例子中，任何具体值应被解释为仅仅是示例性的，而不是作为限制。因此，示例性实施例的其它例子可以具有不同的值。
[0030]应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步讨论。
[0031]根据本申请的一个实施例，提供了一种组合传感器，如图1所示，组合传感器包括：
[0032]衬底主体1，所述衬底主体1具有第一表面11和第二表面12。
[0033]衬底主体1设有第一传感器，所述第一传感器包括开设于所述第一表面11所在的一侧的第一凹槽结构20，所述第一凹槽结构20的槽底面与第二表面12之间的结构形成振膜2。振膜2用于第一传感器接收声音信号。
[0034]所述衬底主体1开设有第一镂空结构10，所述第一镂空结构10内设有第二传感器，所述第二传感器包括悬臂梁3和质量块4，所述悬臂梁3的第一侧与衬底主体1连接，所述悬臂梁3的第二侧设有质量块4。悬臂梁3和质量块4配合，使悬臂梁3用于第二传感器接收声音信号。
[0035]上盖5，所述上盖5密封扣设于所述第二表面12一侧且覆盖所述第一镂空结构10。
[0036]下盖6，所述下盖6密封扣设于所述第一表面11一侧且覆盖所述第一镂空结构10。
[0037]在本申请实施例中，通过将第一传感器和第二传感器成型于衬底主体1上，形成组合传感器，达到一个组合传感器实现同时设置第一传感器和第二传感器两个传感器具有的效果，简化了传感器结构，减小了体积和成本。
[0038]该组合传感器中第一传感器的振膜2的结构和第二传感器的悬臂梁3以及质量块4均成型于衬底主体1上，能够通过第一传感器上拾取通过空气传播混有低频噪声的声波，第二传感器能够拾取通过振动传播的低频段声音，两路信号通过算法将第一传感器拾取的声音低频部分去除并与第二传感器拾取的低频部分融合形成成完整的无噪音频。例如，第一传感器为压阻传感器，振膜2感应空气中传播的声波。第二传感器为加速度传感器，感应振动时，质量块4保持惯性对悬臂梁3产生应力，以使第二传感器能够拾取振动传播的低频段声音。
[0039]在一个实施例中，如图1所示，所述振膜2的位于第二表面12的一侧设有四组第一压阻21，四组所述第一压阻21组成惠斯通电桥结构。
[0040]在本申请实施例中，振膜2感应到空气中的声波后产生振动，振动时振膜2发生形变，形变时产生的最大应力作用至第一压阻21进而转换成电阻值的变化。四组第一压阻21连接成惠斯通电桥结构，使第一传感器具有信号易于处理、灵敏度高及能抑制温漂的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种组合传感器，其特征在于，包括：衬底主体，所述衬底主体具有第一表面和第二表面；衬底主体设有第一传感器，所述第一传感器包括开设于所述第一表面所在的一侧的第一凹槽结构，所述第一凹槽结构的槽底面与第二表面之间的结构形成振膜；所述衬底主体开设有第一镂空结构，所述第一镂空结构内设有第二传感器，所述第二传感器包括悬臂梁和质量块，所述悬臂梁的第一侧与衬底主体连接，所述悬臂梁的第二侧设有质量块；上盖，所述上盖密封扣设于所述第二表面一侧且覆盖所述第一镂空结构；下盖，所述下盖密封扣设于所述第一表面一侧且覆盖所述第一镂空结构。2.根据权利要求1所述的组合传感器，其特征在于，所述振膜的位于第二表面的一侧设有四组第一压阻，四组所述第一压阻组成惠斯通电桥结构。3.根据权利要求2所述的组合传感器，其特征在于，四组所述第一压阻分别位于所述振膜四侧边缘的其中一个的中心位置。4.根据权利要求1所述的组合传感器，其特征在于，所述悬臂梁的位于所述第二表面的一侧设...

【专利技术属性】
技术研发人员：张强，陈磊，朱恩成，王栋杰，
申请(专利权)人：青岛歌尔智能传感器有限公司，
类型：新型
国别省市：