【技术实现步骤摘要】
一种柔性离电式三维力传感器及其制备方法
[0001]本专利技术涉及三维力传感器
，更具体的说是涉及一种柔性离电式三维力传感器及其制备方法。
技术介绍
[0002]机器人既是先进制造业的关键支撑装备，也是改善人类生活方式的重要切入点。随着服务型智能机器人技术的发展，智能机器人逐步从固定的生产线环境扩展到助老助残、医疗康复、手术机器人等人类生活环境中。目前智能机器人可代替人手完成一些物体的抓取及操作工作，并可以通过计算机视觉方式实现机器人手与外界环境的交互，但在非结构化环境中由于操作目标物及环境复杂多样，机器人手难以完成实现复杂灵巧操作。因此，在智能机器人手中集成触觉传感器，为机器人提供接触力、滑移、温度以及物体硬度等多模态信息，可以提高机器人与外界环境的交互能力，进而增加机器人手操作灵巧性、精准性和鲁棒性。
[0003]随着柔性电子技术和微纳制造工艺的发展，各种仿生电子皮肤也相继而生，许多电子皮肤可以感知外界环境的温度、湿度和压力等信息，具有触觉感知、数据采集和信息反馈的能力。以触觉传感器为核心的传感过程是机器人...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种柔性离电式三维力传感器，其特征在于，包括依次设置的凸起触头(1)、第一层电极阵列(3)、带有分级微结构(6)的离子凝胶薄膜、第二层电极阵列；所述带有分级微结构(6)的离子凝胶薄膜位于介电层(2)表面。2.根据权利要求1所述的一种柔性离电式三维力传感器，其特征在于，在所述凸起触头(1)和第一层电极阵列(3)之间增加方台凸起(4)。3.根据权利要求2所述的一种柔性离电式三维力传感器，其特征在于，所述方台凸起(4)之间为中空结构，所述中空结构内部填充有空气(5)。4.根据权利要求1所述的一种柔性离电式三维力传感器，其特征在于，所述第一层电极阵列(3)和第二层电极阵列均为3
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3传感电极阵列结构。5.根据权利要求1所述的一种柔性离电式三维力传感器，其特征在于，所述分级微结构(6)包括微半球阵列，所述微半球阵列的每个微半球结构上均设置有微柱阵列(7)。6.一种柔性离电式三维...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵云彪，王启宁，麦金耿，
申请(专利权)人：北京工道风行智能技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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