一种基于电容传感器的柔性六维力传感器制造技术

本发明专利技术涉及一种基于电容传感器的柔性六维力传感器,解决现有的六维力传感器结构复杂、安装要求高，使用局限性大的问题。本装置包括正方形的胶块，所述胶块三组相对的侧面之间分别设置有压力传感器，所述压力传感器为变距离式电容传感器，所述胶块同一顶点的三个侧面内设置有扭矩传感器。本发明专利技术摈弃了复杂的机械连接结构，利用胶块受压力和扭转力矩产生的变形，转换为电容传感器的电容变化信号进行输出，结构简单，加工精度要求低，成本低，使用寿命可靠，且方便更换。且方便更换。且方便更换。

【技术实现步骤摘要】
一种基于电容传感器的柔性六维力传感器


[0001]本专利技术属于传感器领域，涉及一种六维力传感器，涉及一种基于电容传感器的柔性六维力传感器。

技术介绍

[0002]传感器是科学研究中普遍应用的测量工具，常用的传感器有温度传感器、距离传感器、压力传感器等。电容传感器是一种可变电容器，将被测量对象的尺寸、压力变化转化为电容变化，经过换算出测量值。
[0003]六维力传感器是一种测量X、Y、Z轴三个方向压力分量以及三个方向力矩分量的传感器。现有的六维力传感器一般为梁式框架结构，在各个节点上分别设置不同方向的压力传感器和扭力传感器，如公开号为CN113739976A的一种整体式结构解耦六维力传感器，公开号为CN113739975A的一种结构解耦六维力传感器。以上传感器结构复杂、安装精度要求高，局限性较大。也有其他类型的六维力传感器如公开号为CN113607313A的基于C形梁的层积式光纤光栅六维力
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力矩传感器，通常也是通过复杂的机械连接结构来安放各个方向的力矩、扭力传感器。

技术实现思路

[0004]本专利技本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于电容传感器的柔性六维力传感器，其特征在于：包括正方形的胶块，所述胶块三组相对的侧面之间分别设置有压力传感器，所述压力传感器为变距离式电容传感器，每个压力传感器包括相对设置的两个平面电极片，两平面电极片分别嵌设在胶块相对的两侧面、相互平行且对齐；所述胶块同一顶点的三个侧面内设置有扭矩传感器，所述扭矩传感器在对应侧面居中设置，所述扭矩传感器为变面积式电容传感器，扭矩传感器包括两组存在间距且相互对齐的扇形电极片，两组扇形电极片埋设于胶块内且随胶块扭转，两组扇形电极片均与胶块对应侧面平行。2.根据权利要求1所述的一种基于电容传感器的柔性六维力传感器，其特征在于：所述胶块在预埋压力传感器和扭矩传感器后浇筑成型。3.根据权利要求1所述的一种基于电容传感器的柔性六维力传感器，其特征在于：各压力传感器的平面电极片和各扭矩传感器的扇形电极片分别通过引线连接至电容计算电路板，所述电容计算电路板设置在胶块的外侧。4.根据权利要求1所述的一种基于电容传感器的柔性六维力传感器，其特征在于：所述平面电极片...

【专利技术属性】
技术研发人员：洪嘉昱，魏毅天，周奇有，张家鹏，
申请(专利权)人：浙江机电职业技术学院，
类型：发明
国别省市：