下载一种柔性离电式三维力传感器及其制备方法的技术资料

文档序号:34949801

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本发明公开了一种柔性离电式三维力传感器及其制备方法,涉及三维力传感器技术领域,包括依次设置的凸起触头、第一层电极阵列、带有分级微结构的离子凝胶薄膜、第二层电极阵列;所述带有分级微结构的离子凝胶薄膜位于介电层表面,在所述凸起触头和第一层电极阵...
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