机器人以及包括机器人的基板运送系统技术方案

本发明专利技术提供一种机器人。机器人(100)包括基座(1)、臂(3)和手(8)，所述基座(1)具有多个侧部，所述臂(3)可旋转地连接在基座(1)，所述手(8)连接在臂(3)。臂(3)与基座(1)的连接部分从俯视来看最接近于第一侧部(11a)配置着。基座(1)收纳有控制部品。在第二侧部(11b)设置有维护部(12)，该维护部(12)配置有第一板(24)等维护部品，用于对维护部品进行维护。用于对维护部品进行维护。用于对维护部品进行维护。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】机器人以及包括机器人的基板运送系统


[0001]这里公开的技术涉及机器人以及包括机器人的基板运送系统。

技术介绍

[0002]至今为止，包括基座、臂以及末端执行器的机器人被众所周知。例如，在专利文献1中记载的机器人包括基座、臂以及末端执行器，被配置在筐体内，该臂可旋转地连接在基座，该末端执行器连接在臂。在该机器人中，基座的一部分配置在筐体外。因此，提高了基座中的伸出筐体外的部分的可维护性。
[0003]专利文献1：日本特开2013
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157561号公报

技术实现思路

[0004]像这样，有时机器人被配置在筐体等的内部使用。此时，由于筐体等的内部空间受到限制，因此难以进行机器人的维护。
[0005]虽然如专利文献1那样，将机器人的一部分配置在筐体外是提高可维护性的对策之一，但是在筐体内等被限制的空间内提高可维护性也具有可改善的余地。
[0006]鉴于上述内容，这里所公开的技术的目的在于，提高被限制的空间内的机器人的可维护性。
[0007]这里所公开的机器人包括基座、臂以及末端执行器本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种机器人，其特征在于：所述机器人包括基座、臂以及末端执行器，所述基座具有多个侧部，所述臂可旋转地连接在所述基座，所述末端执行器连接在所述臂，所述臂与所述基座的连接部分从俯视来看最接近于作为所述多个侧部中的一个侧部的第一侧部配置着，所述基座收纳与所述臂和所述末端执行器的至少一方的控制相关连的部品，在所述多个侧部中的、不是与所述第一侧部平行的第二侧部设置有维护部，该维护部配置有所述部品的至少一部分部品，用于对所述至少一部分部品进行维护。2.根据权利要求1所述的机器人，其特征在于：所述基座的多个侧部包括所述第一侧部、所述第二侧部、与所述第一侧部对着的第三侧部以及与所述第二侧部对着的第四侧部，所述基座从俯视来看形成为四角形。3.根据权利要求1或2所述的机器人，其特征在于：配置在所述维护部的部品是电气部品。4.根据权利要求1到3中任意一项所述的机器人，其特征在于：所述基座具有风扇，所述风扇设置在所述第二侧部，排出所述基座内部的空气，在所述第二侧部可装卸地安装有覆盖所述维护部的盖子，所述风扇配置在所述第二侧部中的所述盖子之外的部分。5.根据权利要求1到4中任意一项所述的机器人，其特征在于:所述末端执行器是保持基板的手。6.根据权利要求5所述的机器人，其特征在于:所述手将半导体晶圆作为基板保持，所述臂以及所述手在容器与处理装置之间运送半导体晶圆，所述容器收纳半导体晶圆，所述处理装置处理半导体晶圆。7.一种基板运送系统，其特征在于:所述基板运送系统包括筐体和机器人，所述机器人配置在所述筐体内，运送基板，所述筐体具有在规定的第一方向上对着的第一侧壁以及第三侧壁和在作为与所述第一方向不同的方向的第二方向上对着的第二侧壁以及第四侧壁，在所述第二侧壁设置有用于维护所述机器人的开闭部，所述机器人具有基座、臂和末端执行器，所述基座具有多个侧部，所述臂可旋转地连接在所述基座，所述末端执行器连接在所述臂，所述基座收纳与所述臂以...

【专利技术属性】
技术研发人员：松冈淳一，山崎大，田中优一郎，
申请(专利权)人：川崎重工业株式会社，
类型：发明
国别省市：